JPH01108459A - テーブル駆動用送りナット支持機構 - Google Patents

テーブル駆動用送りナット支持機構

Info

Publication number
JPH01108459A
JPH01108459A JP26263187A JP26263187A JPH01108459A JP H01108459 A JPH01108459 A JP H01108459A JP 26263187 A JP26263187 A JP 26263187A JP 26263187 A JP26263187 A JP 26263187A JP H01108459 A JPH01108459 A JP H01108459A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nut
feed screw
axis
feed
holder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP26263187A
Other languages
English (en)
Inventor
Shuhei Takasu
高巣 周平
Takao Terabayashi
寺林 隆夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP26263187A priority Critical patent/JPH01108459A/ja
Publication of JPH01108459A publication Critical patent/JPH01108459A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H25/00Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
    • F16H25/18Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
    • F16H25/20Screw mechanisms
    • F16H25/24Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
    • F16H2025/2445Supports or other means for compensating misalignment or offset between screw and nut

Landscapes

  • Transmission Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は、送りねじの回転により、工作機械などのテー
ブルを案内面に沿って一動させるテーブル駆動用送りナ
ツト支持機構に係り、特に、送りねじの軸心と、テーブ
ルに取付けられ前記送りねじと螺合するナツトの中心の
誤差を吸収し、テーブルの良好な直線運動精度を得るに
好適なテーブル駆動用送りナツト支持機構に関するもの
である。
[従来の技術] 工作機械や測定装置などの案内面に沿って直線運動する
テーブルの摺動には、送りねじと螺合するナツトを前記
テーブルに結合させ、その送りねじを旋回させる方式の
−ものが、安価で信頼性が高い故に、一般に多く用いら
れている。    ゛ところで、この方式のテーブル駆
動用送りナラ ゛ト支持機構は、テーブルの摺動方向に
対する送りねじの軸心方向の平行度誤差、送りねじ軸の
振れ回り、送りねじの軸心とナツト中心軸のミスアライ
メントなどにより、送りねじの細心とナツトの中心の誤
差を生じ、テーブルの直線運動精度が損ねれるおそれが
あるので、上記誤差を吸収するための手段が種々提案さ
れている。
従来の、テーブル駆動用送りナツト支持機構を、図面を
用いて説明する。
第6図は、従来のテーブル駆動用送りナツト支持機構の
一例を示す、送りねじと垂直な断面図、第7図は、従来
のテーブル駆動用送りナツト支持機構の他の例を示す、
送りねじと垂直な断面図、第8図は、従来のテーブル駆
動用送りナツト支持機構の、さらに他の例を示す要部正
面図、第9図は、第8図に係るテーブル駆動用送りナツ
ト支持機構の側面図である。
第6図に係るテーブル駆動用送りナツト支持機構は、実
開昭60−178552号公報に記載のものであって、
これは、送りねじ34と螺合するナツト33に固定され
たナツト本体37が、すべり案内面36.36’間に遊
隙をもって、板ばね35.35’により支持されている
このように構成して、送りねじ34の軸方向と垂直なx
y面内における互いに直交する二方向の送りねじの誤差
を、板ばね35,35’の変位で吸収しようとするもの
である。なお、32はテーブルである。
第7図に係るテーブル駆動用送りナツト支持機構は、特
公昭61−46258号公報に記載あものであって、こ
れは、ナツトの上下面、および送り方向の前後の両側面
を静圧摺動面で支持するものであって、ナツト4,3の
上、下面に静圧案内面後にも静圧案内面47を形成し、
この案内面47を介して送りねじ44の回転をテーブル
42へ伝える構造となっている。このように構成して、
送りねじ44とナツト43の中心のX軸方向の誤差は、
ナツト43がX軸方向へ移動して吸収し、y軸方向の誤
差は1機械本体に設けたガイド48゜48′により強制
的に抑制し、テーブル42の真直  :運動精度を確保
しようとするものである。
第8図、第9図に係るテーブル駆動用送りナラ  。
ト支持機構は、特公昭59−8502号公報に記載のも
のであって、これは、ブロック部材22に、  、送り
ねじ20の軸方向と垂直な面内の互いに直交するx、y
軸方向に、それぞれピン30.28を滑動的に接続し、
これら2本のピン30.28を介して、ナツト21をテ
ーブル25へ結合するようにしたものである。
[発明が解決しようとする問題点] 上記従来技術は、第6図に係るテーブル駆動用送りナツ
ト支持機構については、微小な、送りねじ中心とナツト
中心の誤差は、板ばね35,35’の変位で吸収できる
が、上記誤差が大きくなると、すべり案内面36.36
’で接触したり、板ばね35.35’の変位に相当する
ばね力がテーブル32に作用して、その誤差を、十分吸
収しきれなくなる。
また、送りねじ34の旋回方向のモーメントに対する板
ばねの支持剛性が不足するため、送りねじ34の旋回量
に対するテーブル32の位置決め誤差が生ずる、という
問題点があった。
また、第7図に係るテーブル駆動用送りナツト支持機構
は、ナツト43に静圧案内面45.45’。
46.46’を形成しなければならないこと、ナツト4
3が摺動するための案内面を別に設ける必要があること
、y軸方向の送りねじ44とナツト43のアライメント
を高精度に合せる必要があることなど、構造が複雑にな
り、高価であった。
さらにまた、第8図、第9図に係るものは、安価ではあ
るが、テーブル25とピン28との接合部から、送りぬ
し20の軸心までの距離が長くなるので、ナツト支持系
の弾性変形が大きくなって。
送りねじ軸方向の位置決め精度を良好にすることができ
ないものであった。
本発明は、上記した従来技術の問題点を解決して、送り
ねじの細心とナツトの中心の誤差を容易に吸収すること
ができ、旋回方向および軸方向の支持剛性が大きく、構
造簡単なテーブル駆動用送りナツト支持機構の提供を、
その目的とするものである。
[問題点を解決するための手段] 上記問題点を解決するための、テーブル駆動用送りナツ
ト支持機構の第1の発明の構成は、送りねじと螺合する
ナツトを有するナツト部をテーブルに取付け、前記送り
ねじの回転により前記テーブルを案内面に沿って移動さ
せるようにしたテーブル駆動用送りナツト支持機構にお
いて、ナツト部を、ナツトと、このナツトを内側に固定
したナツト本体と、このナツト本体の外側にあって、送
りねじの軸方向(z方向)と垂直な面(xy面)内で、
互いに直交する軸(xey軸)の一方の軸と平行な方向
に、前記ナツト本体との間で摺動部を形成するナツトホ
ルダと、このナツトホルダを取囲むように形成し、前記
送りねじの軸方向(z方向)と垂直な面(xy面)内で
、前記互いに直交する軸(x、y軸)の他方の軸と平行
な方向に。
前記ナツトホルダとの間で摺動部を形成し、テーブルに
固定されたブラケットとを有するナツト部にしたもので
ある。
また、第2の発明の構成は、送りねじと螺合するナツト
を有するナツト部をテーブルに取付け、前記送りねじの
回転により前記テーブルを案内面に沿って移動させるよ
うにしたテーブル駆動用送すナット支持機構において、
ナツト部を、ナツトと、このナツトを内側に固定したナ
ツト本体と。
このナツト本体の外側にあって、送りねじの軸方向(z
方向)と傾斜し、互いに直交する軸(XIy軸)の一方
の軸と平行な面内に、前記ナツト本体との間で摺動部を
形成するナツトホルダと、このナツトホルダを取囲むよ
うに形成し、前記送りねじの軸方向(z方向)と傾斜し
、前記互いに直交する軸(xyy軸)の他方の軸と平行
な面内に。
前記ナツトホルダとの間で摺動部を形成し、テーブルに
固定されたブラケットとを有するナツト部にしたもので
ある。
さらに詳しくは、送りねじの軸心方向と直角な平面内に
おいて、互いに直交するX+’/軸方向の一方と一致す
る方向(たとえばy軸方向)へ移動可能な案内面を、ナ
ツトに固定したナツト本体に形成し、これと直角な方向
(X軸方向)へ移動可能な案内面を、テーブルに固定し
たブラケット内に形成し、前記両案内面と移動可能に係
合するナツトホルダにより、前記ナツトを支持するよう
にしたものである。
[作用] 送りねじの振れ回りや、ミスアライメントなどにより、
送りねじ軸心とナツト中心の誤差が生じた場合、y軸方
向の誤差は、ナツト本体がナツトホルダに沿ってy軸方
向へ移動し、X軸方向の誤差は、ナツトホルダがブラケ
ット内をX軸方向へ移動することにより吸収される。ま
た、ナツト本体およびブラケットに形成されたそれぞれ
の案内面内では、該案内面と直角方向への動きが規制さ
れているので、該支持機構の支持剛性が大きく、テーブ
ルの高精度な位置決めをすることができる。
[実施例] 以下1本発明を実施例によって説明する。
第1図は、第1の発明の一実施例に係るテーブル駆動用
送りナツト支持機構の要部を示す縦断面図(第3図のT
−1矢視断面図)、第2図は、第1図の■−■矢視断面
図、第3図は、第1図の■−■矢視断面図である。
このテーブル駆動用送りナツト支持機構の概要を1図面
を用いて説明すると、このテーブル駆動用送りナツト支
持機構は、送りねじ3と螺合するナツト2を有するナツ
ト部N(詳細後述)をテーブル1に取付け、送りねじ3
の回転によりテーブル1を案内面(図示せず)に沿って
移動させるようにしたものであって、前記ナツト部Nを
、ナツト2と、このナツト2を内側に固定したナツト本
体4と、このナツト本体4の外側にあって、送りねじ3
の軸方向(z方向)と垂直な面(xy面)内で、互いに
直交する軸(Xsy軸)の一方の軸に係るy軸と平行な
方向に、ナツト本体4との間で摺動部Syを形成するナ
ツトホルダ6と、このナツトホルダ6を取囲むように形
成し、送りねじ3の軸方向(z方向)と垂直な面(xy
面)内で。
前記互いに直交する軸(X*V軸)の他方の軸に係るX
軸と平行な方向に、ナツトホルダ6との間で摺動部Sx
を形成し、テーブル1に固定されたブラケット5とを有
するナツト部Nにしたものである。
以下、詳細に説明する。
第1図に示すように、テーブル1の下面にブラケット5
が固定され、このブラケット5内の上下に、送りねじ3
の軸心と垂直な面内のX軸方向(紙面と垂直方向)へこ
ろがり案内するレール8a。
8a’、8b、8b’が取付けられ、これと対をなして
、鋼球9を介して、ナツトホルダ6を挟むようにして該
ナツトホルダ6にレール7a、7a’、7b、7bが、
固定されている。
また、ブラケット5に固定したレール8a、8a’、8
b、8bは、それぞれの固定用のねじのほかに、そのね
じと直交する方向に締め付けねじ10でも固定するよう
にしたので、″がた。1は全く生じない。
ナツトホルダ6は、第3図に示すように、ナツト本体4
を取囲んだ4つの側面に、レール7a。
7a’、7b、7b’、7c、7c’、7d、7d’が
取付けられ、上下のレール7a、7a’、7b、7b’
は、上記したように、ブラケット5内の上下のし球9を
介して挟持され、側面のレール7c、7c’。
7d、7dは、第2図に示すように、ナツト本体4に取
付けられたレール8 c 、 8 c’、 8 d 、
 8 d’により鋼球9を介して挟持されている。これ
らレール8 c 、 8 c’、 8 d 、 8 d
’も、固定用ねじのほかに、締付けねじ10でも固定さ
れている。
このようにして、ナツト2を固定したナツト本体4は、
y方向へ移動可能な、レール7 c 17 c’s7d
、7dと鋼球9とレール8 c 、 8 c’、 8 
d 。
8dとから構成される摺動部Syのころがり案内を介し
てナツトホルダ6に取付けられ、X方向へ移動可能な、
Lt−Az7a、7a’、7b、7b’と鋼球9とL/
−)Lt8a、8a’、8b、8b’とがら構成される
摺動部Sxのころがり案内を介してブラケット5に取付
けられている。
このように構成したので、送りねじ3の振れ回り、ミス
アライメントなどにより、送りねじ軸心とナツト中心に
誤差が生じても、X軸方向の誤差は、ナツトホルダ6が
ブラケット5に対しX軸方向へ移動し、y軸方向の誤差
は、ナツト本体4がナツトホルダ6に対しy軸方向へ移
動して、それぞれの誤差を吸収することができる。
また、前記レール、11球で構成される摺動部Sx、S
yのころがり案内は、ナツト本体4の旋回方向および、
送りねじ3の軸方向の支持剛性が大きく、精度の良いテ
ーブルの位置決めができる。
以上説明した第1図に係る実施例によれば、次の効果が
ある。
■、送りねじ3の軸心とナツト2の中心の誤差を吸収す
ることができるので、テーブル1の良好な直線運動精度
を得ることができる。
◎、ナツト本体4の旋回方向、および送りねじ3の軸心
方向の支持剛性が大きいので、テーブル1を高精度に位
置決めすることができる。
θ、構造が簡単であるから安価である。
次に、第2の発明の詳細な説明する。
第4図は、第2図の発明の一実施例に係るテーブル駆動
用送りナツト支持機構の要部を示す縦断面図、第5図は
、第4図の■−■矢視断面図である。
図において、第1図と同一番号を付したものは同一部分
である。
このテーブル駆動用送りナツト支持機構は、送りねじ3
と螺合するナツト2を有するナツト部N(詳細後述)を
テーブル1に取付け、送りねじ3の回転により前記テー
ブル1を案内面(図示せず)に沿って移動させるように
したものであって、ナツト部N′を、ナツト2と、この
ナツト2を内側に固定したナット4A本体と、このナツ
ト4Aの外側にあって、送りねじ3の軸方向(z方向)
と傾斜し、互いに直交する軸(xt y軸)の一方の軸
に係るy軸と平行な面内に、ナツト本体4Aとの間で摺
動部S’y (詳細後述)を形成するナツトホルダ6A
と、このナツトホルダ6Aを取囲むように形成し、送り
ねじ3の軸方向(z方向)と傾斜し、前記互いに直交す
る軸(xsy軸)の他方の軸に係るX軸と平行な面内に
、前記ナツトホルダ6Aとの間で摺動部S’x(詳細後
述)を形成し、テーブル1に固定されたブラケット5A
とを有するナツト部Nにしたものである。
前記摺動部S/yは、ナツト本体4Aの案内面4c、4
c’、4d、4dとローラ11とナツトホルダ6Aの案
内面6c、6c’、6d、6dとから構成されており、
また前記摺動部S’xは、ブラケット5Aの案内面5a
、5a’、5b、5b’とローラ11とナツトホルダ6
Aの案内面6a、6a’、6b、6b’とから構成され
ている。
このように構成したので、X軸方向の誤差は、ナツトホ
ルダ6Aがブラケット5Aに対しX軸方向へ移動し、y
軸方向の誤差は、ナツト本体4Aナツトホルダ6Aに対
しy軸方向へ移動して、それぞれの誤差を吸収すること
ができる。
以上説明した第4図に係る実施例によれば、前記第1図
に係る実施例と同様の効果を奏するとともに、テーブル
駆動用送りナツト支持機構を小形にすることができ、大
荷重に耐え、支持剛性をさらに大きくすることができる
という効果がある。
[発明の効果] 以上詳細に説明したように本発明によれば、送りねじの
軸心とナツトの中心の誤差を容易に吸収することができ
、旋回方向および軸方向の支持剛性が大きく、構造簡単
なテーブル駆動用送りナツト支持機構を提供することが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、第1の発明の一実施例に係るテーブル駆動用
送りナツト支持機構の要部を示す縦断面図(第3図の1
−1矢視断面図)、第2図は、第1図の■−■矢視断面
図、第3図は、第1図の■−m矢視断面図、第4図は、
第2の発明の一実施例に係るテーブル駆動用送りナツト
支持機構の要部を示す縦断面図、第5図は、第4図の■
−■矢視断面図、第6図は、従来のテーブル駆動用送り
ナツト支持機構の一例を示す、送りねじと垂直な断面図
、第7図は、従来のテーブル駆動用送りナツト支持機構
の他の例を示す、送りねじと垂直な断面図、第8図は、
従来のテーブル駆動用送りナツト支持機構の、さらに他
の例を示す要部正面図、第9図は、第8図に係るテーブ
ル駆動用送りナツト支持機構の側面図である。 1・・・テーブル、2・・・ナツト、3・・・送りねじ
、4.4A・・・ナツト本体、5,5A・・・ブラケッ
ト。 6.6A・・・ナツトホルダ、N、N・・・ナツト部、
S x HS’x + S y * S’y ・=摺動
部。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、送りねじと螺合するナットを有するナット部をテー
    ブルに取付け、前記送りねじの回転により前記テーブル
    を案内面に沿って移動させるようにしたテーブル駆動用
    送りナット支持機構において、ナット部を、ナットと、
    このナットを内側に固定したナット本体と、このナット
    本体の外側にあって、送りねじの軸方向(z方向)と垂
    直な面(xy面)内で、互いに直交する軸(x、y軸)
    の一方の軸と平行な方向に、前記ナット本体との間で摺
    動部を形成するナットホルダと、このナットホルダを取
    囲むように形成し、前記送りねじの軸方向(z方向)と
    垂直な面(xy面)内で、前記互いに直交する軸(x、
    y軸)の他方の軸と平行な方向に、前記ナットホルダと
    の間で摺動部を形成し、テーブルに固定されたブラケッ
    トとを有するナット部にしたことを特徴とするテーブル
    駆動用送りナット支持機構。 2、送りねじと螺合するナットを有するナット部をテー
    ブルに取付け、前記送りねじの回転により前記テーブル
    を案内面に沿って移動させるようにしたテーブル駆動用
    送りナット支持機構において、ナット部を、ナットと、
    このナットを内側に固定したナット本体と、このナット
    本体の外側にあって、送りねじの軸方向(z方向)と傾
    斜し、互いに直交する軸(x、y軸)の一方の軸と平行
    な面内に、前記ナット本体との間で摺動部を形成するナ
    ットホルダと、このナットホルダを取囲むように形成し
    、前記送りねじの軸方向(z方向)と傾斜し、前記互い
    に直交する軸(x、y軸)の他方の軸と平行な面内に、
    前記ナットホルダとの間で摺動部を形成し、テーブルに
    固定されたブラケットとを有するナット部にしたことを
    特徴とるすテーブル駆動用送りナット支持機構。
JP26263187A 1987-10-20 1987-10-20 テーブル駆動用送りナット支持機構 Pending JPH01108459A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26263187A JPH01108459A (ja) 1987-10-20 1987-10-20 テーブル駆動用送りナット支持機構

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26263187A JPH01108459A (ja) 1987-10-20 1987-10-20 テーブル駆動用送りナット支持機構

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01108459A true JPH01108459A (ja) 1989-04-25

Family

ID=17378473

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP26263187A Pending JPH01108459A (ja) 1987-10-20 1987-10-20 テーブル駆動用送りナット支持機構

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01108459A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0439353U (ja) * 1990-07-30 1992-04-03
JP2010252464A (ja) * 2009-04-14 2010-11-04 Mitsutoyo Corp 同期移動装置および画像測定装置
CN111577851A (zh) * 2020-06-01 2020-08-25 珠海格力智能装备有限公司 螺旋传动机构

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0439353U (ja) * 1990-07-30 1992-04-03
JP2010252464A (ja) * 2009-04-14 2010-11-04 Mitsutoyo Corp 同期移動装置および画像測定装置
CN111577851A (zh) * 2020-06-01 2020-08-25 珠海格力智能装备有限公司 螺旋传动机构

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4219398B2 (ja) ステージ装置
US6677691B2 (en) Stage apparatus and method of using the same
KR950008798B1 (ko) 볼나사 가이드 유닛 및 이를 이용한 이송테이블
CN2909173Y (zh) 影像测量仪
JP4160824B2 (ja) 昇降用案内ユニット及びそれを組み込んだステージ装置
JP3331755B2 (ja) リニアガイドレールの高精度取付け方法
KR940006117B1 (ko) 위치결정테이블
CN113334096A (zh) 龙门滑台柔性铰链支撑组件及其龙门双驱装置
JPH01108459A (ja) テーブル駆動用送りナット支持機構
CN109140146B (zh) 一种基于柔性铰链的高精度升降平台
CN215469516U (zh) 龙门滑台柔性铰链支撑组件及其龙门双驱装置
JP4636928B2 (ja) 測定部支持機構およびそれを備えた薄板の表面形状測定装置
JPH1128630A (ja) Xyテーブル
JPH05166B2 (ja)
CN1003735B (zh) 坐标测量仪
CN216885227U (zh) 一种基于双丝杆的移动装置及3d打印机
TWI605203B (zh) 交叉滾子導引組件及具有交叉滾子導引元件之切割裝置
JPH0452519Y2 (ja)
CN218003809U (zh) 一种采用柔性导向的xy两轴手动调节精密位移机构
CN114290678A (zh) 一种基于双丝杆的移动装置及3d打印机
JPS609686Y2 (ja) 測長装置
CN108120587B (zh) 用于光学元件性能检测的试验台及试验台安装方法
JPH09211337A (ja) 載物台
JPH0767579B2 (ja) 工作機械の可動テーブル移動機構
KR0175636B1 (ko) 볼스크루의 구동오차흡수장치