JP5334743B2 - 着色硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、固体撮像素子、液晶ディスプレイ、有機ｅｌディスプレイ、並びに画像表示デバイス - Google Patents

Description

本発明は、着色硬化性組成物、並びにこれを用いたカラーフィルタ及びその製造方法、固体撮像素子、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、画像表示デバイスに関する。

液晶表示素子（ＬＣＤ等）や固体撮像素子（ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等）に用いられるカラーフィルタを作製する方法として、顔料分散法が広く知られている。

顔料分散法は、顔料を種々の感光性組成物に分散させた着色感光性組成物を用いてフォトリソ法によってカラーフィルタを作製する方法である。これは、フォトリソ法によってパターニングするため、位置精度が高く、大画面、高精細のカラーフィルタを作製するのに好適な方法とされている。顔料分散法によりカラーフィルタを作製する場合、ガラス基板上に感光性組成物をスピンコーターやロールコーター等により塗布して塗膜を形成し、該塗膜をパターン露光・現像することによって着色画素が形成され、この操作を各色毎に繰り返し行なうことでカラーフィルタが得られる。

顔料を用いたカラーフィルタを設けて液晶表示素子や固体撮像素子等の表示素子を作製する場合、コントラスト向上の点から、より微小な粒子サイズの顔料が求められるようになっている。これは、顔料による光の散乱、複屈折等で偏光軸が回転してしまうとの要因によるものである。顔料の微細化が不充分であると、顔料により光が散乱、吸収され、光透過率が低下し、コントラストが低くなり、更にはパターン露光時の硬化感度が低下してしまう。

特に、固体撮像素子用のカラーフィルタにおいては、近年、更なる高精細化が望まれているため、従来より行なわれている顔料分散系では、解像度を更に向上させることが困難な状況にある。つまり、顔料の粗大粒子の影響で色ムラが発生する等の問題がある。そのため、顔料分散系は、固体撮像素子のような画素サイズが１．５〜３．０μｍ角となるような微細パターンが要求される用途には適さなかった。

このような状況に対応して、顔料に代えて染料を使用する技術が従来から提案されている。染料は溶媒に溶解し分子単位で分散するため、従来の顔料分散法に比べて、粗大粒子の影響による色ムラ発生等の問題を回避することができる。

例えば、アミノチアゾールをカップリング成分とするアゾ染料（例えば、特許文献１〜２参照）、イミダゾールをジアゾ成分とする染料（例えば、特許文献３〜４参照）がそれぞれ開示されている。

一方、染料は有機溶媒に可溶であるが故、露光・現像によって形成された微細パターンに有機溶剤を滴下すると、微細パターンに含まれる染料が有機溶剤に溶け出すことがある。カラーフィルタの製造工程では、一色目の微細パターンを形成した後、続けて次色の着色感光性組成物がその上に直接塗布されるが、この時、一色目の微細パターンに含まれる染料が、次色の着色感光性組成物の塗布溶媒に溶け出す現象が生じる場合がある（以下、この現象を「色抜け」と呼ぶ。）

特開昭５４−６５７３０号公報 米国特許５，７８９，５６０号明細書 特開昭５０−１３０８２０号公報 特開昭５５−７１７５４号公報

上述のように、染料を用いた着色感光性組成物を使用することによって顔料の粗大粒子による色ムラ発生等の問題を回避することができるが、次色溶剤への色抜けを起こし易い傾向があることから、その解決が望まれていた。

本発明は、上記に鑑みなされたものであり、着色剤として染料を用いた場合に生じやすい色抜けの発生が防止された着色感光性組成物、並びに、色抜けの発生が抑えられて所望の色相を有するカラーフィルタ及びその製造方法、並びに、色再現性に優れた画像表示が行なえる固体撮像素子、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、及び画像表示デバイスを提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。

前記の課題を解決するための具体的手段は以下の通りである。
＜１＞ （Ａ）下記一般式（１）で表される化合物及びその互変異性体からなる群より選択される少なくとも１種と、（Ｂ）酸の作用によって架橋する架橋剤の少なくとも１種と、（Ｃ）光酸発生剤の少なくとも１種とを含有する着色硬化性組成物である。

一般式（１）において、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５及びＲ^１６は、各々独立に、水素原子又は１価の置換基を表す。Ｒ^１１とＲ^１２、Ｒ^１５とＲ^１６は、各々独立に、互いに結合して環を形成していてもよい。

＜２＞ 前記一般式（１）が下記一般式（２）であることを特徴とする前記＜１＞に記載の着色硬化性組成物である。

一般式（２）において、Ｒ^２１、Ｒ^２２、Ｒ^２４、Ｒ^２５、Ｒ^２６、Ｒ^３１、Ｒ^３２、Ｒ^３４、Ｒ^３５及びＲ^３６は、各々独立に、水素原子又は１価の置換基を表し、Ｌ^１は２価の連結基を表す。Ｒ^２１とＲ^２２、Ｒ^２５とＲ^２６、Ｒ^３１とＲ^３２、Ｒ^３５とＲ^３６は、各々独立に、互いに結合し環を形成していてもよい。

＜３＞ 更に、バインダー樹脂を含有することを特徴とする前記＜１＞又は前記＜２＞に記載の着色硬化性組成物である。
＜４＞ 更に、界面活性剤を含有することを特徴とする前記＜１＞〜＜３＞のいずれか１つに記載の着色硬化性組成物である。
＜５＞ 前記＜１＞〜＜４＞のいずれか１つに記載の着色硬化性組成物を用いて形成されたカラーフィルタである。

＜６＞ 前記＜１＞〜＜４＞のいずれか１つに記載の着色硬化性組成物を支持体上に塗布して塗布層を形成する塗布層形成工程と、前記支持体上に形成された塗布層をマスクを介して露光した後、現像してパターン像を形成するパターン形成工程と、を含むカラーフィルタの製造方法である。
＜７＞ 更に、前記パターン形成工程で形成されたパターン像に紫外線を照射する紫外線照射工程を含むことを特徴とする前記＜６＞に記載のカラーフィルタの製造方法である。
＜８＞ 前記紫外線照射工程は、前記露光時の露光量［ｍＪ／ｃｍ^２］の１０倍以上の照射光量［ｍＪ／ｃｍ^２］の紫外光（ＵＶ光）を照射することを特徴とする前記＜７＞に記載のカラーフィルタの製造方法である。
＜９＞ 前記紫外線照射工程は、２７５ｎｍ以下の波長光を含み、かつ２７５ｎｍ以下の波長光の照射照度［ｍＷ／ｃｍ^２］が紫外光中の全波長光の積分照射照度に対して５％以上である光を照射することを特徴とする前記＜７＞又は前記＜８＞に記載のカラーフィルタの製造方法である。

＜１０＞ 前記＜５＞に記載のカラーフィルタを備えた固体撮像素子である。
＜１１＞ 前記＜５＞に記載のカラーフィルタを備えた液晶ディスプレイである。
＜１２＞ 前記＜５＞に記載のカラーフィルタを備えた有機ＥＬディスプレイである。
＜１３＞ 前記＜５＞に記載のカラーフィルタを備えた画像表示デバイスである。

本発明によれば、着色剤として染料を用いた場合に生じやすい色抜けの発生が防止された着色感光性組成物及びこれを用いたレジスト液を提供することができる。また、
本発明によれば、色抜けの発生が抑えられて所望の色相を有するカラーフィルタ及びその製造方法を提供することができる。さらに、
本発明によれば、色再現性に優れた画像表示が行なえる固体撮像素子、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、及び画像表示デバイスを提供することができる。

以下、本発明の着色硬化性組成物、並びにこれを用いたカラーフィルタ及びその製造方法について詳細に説明する。以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。なお、本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。

−着色硬化性組成物−
本発明の着色硬化性組成物は、（Ａ）着色剤として、以下に示す一般式（１）で表されるアゾ色素化合物（以下、アゾ染料ともいう。）及びその互変異性体からなる群より選択される少なくとも１種と、（Ｂ）酸の作用によって架橋する架橋剤の少なくとも１種と、（Ｃ）光酸発生剤の少なくとも１種とを含有することを特徴とする。また、本発明の着色硬化性組成物は、光により硬化するものであればいずれの態様に構成されていてもよい。また、着色硬化性組成物は、一般には更に溶剤を用いて構成することができ、必要に応じて、更にバインダーなど他の成分を用いて構成することができる。

〔（Ａ）：アゾ染料〕
＜一般式（１）で表されるアゾ色素化合物及びその互変異性体＞
本発明の着色硬化性組成物は、下記一般式（１）で表される化合物及びその互変異性体からなる群より選択される少なくとも１種を含有する。この一般式（１）で表されるアゾ色素化合物は、カップリング成分がアミノチアゾールであり、かつジアゾ成分がイミダゾールであることを特徴とする色素化合物である。

本発明においては、着色剤として用いる染料のうち、特に下記一般式（１）で表される特定構造を持つアゾ色素化合物を、光酸発生剤と酸硬化剤とともに用いて酸で露光部を硬化させる酸硬化系に構成することで、染料を含む既設の着色膜から染料が塗布溶媒に溶け出す色抜けの現象、例えば１色目パターンを形成した後に該パターン上に重ねて次色のパターンを形成するための着色硬化性組成物を付与した場合の１色目パターンの色抜けが抑制され、所望の色相を有する着色パターンの形成が可能である。

前記一般式（１）中、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５及びＲ^１６は、各々独立に、水素原子又は１価の置換基を表す。Ｒ^１１とＲ^１２、Ｒ^１５とＲ^１６は、各々独立に、互いに結合し環を形成していてもよい。

一般式（１）において、Ｒ^１１、Ｒ^１２及びＲ^１４は、各々独立に、水素原子又は１価の置換基を表す。ここでの置換基としては、特に制限はないが、代表的な例として、ハロゲン原子、アルキル基（シクロアルキル基、ビシクロアルキル基をも含む飽和脂肪族基を意味する。）、アルケニル基（シクロアルケニル基、ビシクロアルケニル基をも含む、二重結合を有する不飽和脂肪族基を意味する。）、アルキニル基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、アリールオキシカルボニルオキシ基、アミノ基（アルキルアミノ基、アリールアミノ基、アニリノ基、及びヘテロ環アミノ基を含む。）、アシルアミノ基、アミノカルボニルアミノ基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルファモイルアミノ基、アルキルもしくはアリールスルホニルアミノ基、アルキルチオ基、スルファモイル基、アルキルもしくはアリールスルフィニル基、アルキルもしくはアリールスルホニル基、アシル基、アリールオキシカルボニル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アリールもしくはヘテロ環アゾ基、イミド基を挙げることができる。これらの基は、さらに置換基を有していてもよい。

一般式（１）において、Ｒ^１３、Ｒ^１５及びＲ^１６は、各々独立に、水素原子又は１価の置換基を表す。ここでの置換基としては、特に制限はないが、代表的な例として、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロ環基、アシル基、アリールオキシカルボニル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基を挙げることができる。これらの基は、さらに置換基を有していてもよい。

以下に、１価の置換基と、さらに置換していてもよい置換基に関して詳細に説明する。

ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、及びヨウ素原子が挙げられる。中でも、塩素原子、臭素原子が好ましく、特に塩素原子が好ましい。

前記飽和脂肪族基は、直鎖、分枝又は環状の脂肪族基であり、前述のように、飽和脂肪族基にはアルキル基、シクロアルキル基、ビシクロアルキル基が含まれ、置換基を有してもよい。
アルキル基の炭素数は１〜３０が好ましく、炭素数１〜８がより好ましい。アルキル基の例としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−オクチル基、エイコシル基、２−クロロエチル基、２−シアノエチル基、ベンジル基、及び２−エチルヘキシル基などを挙げることができる。シクロアルキル基としては、置換又は無置換のシクロアルキル基が含まれる。置換又は無置換のシクロアルキル基は、炭素数３〜３０（好ましくは炭素数５〜１８）のシクロアルキル基が好ましい。シクロアルキル基の例としては、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、４−ｎ−ドデシルシクロヘキシル基などを挙げることができる。ビシクロアルキル基としては、炭素数５〜３０（好ましくは炭素数７〜１４）の置換又は無置換のビシクロアルキル基、つまり炭素数５〜３０のビシクロアルカンから水素原子を一個取り去った一価の基を挙げることができる。ビシクロアルキル基の例として、ビシクロ［１．２．２］ヘプタン−２−イル基、ビシクロ［２．２．２］オクタン−３−イル基などを挙げることができる。さらに、環構造が多いトリシクロ構造なども包含するものである。

前記不飽和脂肪族基は、直鎖、分枝又は環状の不飽和脂肪族基であり、アルケニル基、シクロアルケニル基、ビシクロアルケニル基、アルキニル基が含まれ、置換基を有してもよい。
アルケニル基は、直鎖、分岐、環状の置換又は無置換のアルケニル基を表す。アルケニル基としては、炭素数２〜３０（好ましくは炭素数２〜８）の置換又は無置換のアルケニル基が好ましい。アルケニル基の例としては、ビニル基、アリル基、プレニル基、ゲラニル基、オレイル基などを挙げることができる。シクロアルケニル基としては、炭素数３〜３０（好ましくは炭素数５〜１８）の置換又は無置換のシクロアルケニル基、つまり炭素数３〜３０のシクロアルケンの水素原子を一個取り去った一価の基が好ましい。シクロアルケニル基の例としては、２−シクロペンテン−１−イル基、２−シクロヘキセン−１−イル基などが挙げられる。ビシクロアルケニル基としては、置換又は無置換のビシクロアルケニル基が含まれる。ビシクロアルケニル基としては、炭素数５〜３０（好ましくは炭素数７〜１４）の置換又は無置換のビシクロアルケニル基、つまり二重結合を一個持つビシクロアルケンの水素原子を一個取り去った一価の基が好ましい。ビシクロアルケニル基の例として、ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン−１−イル基、ビシクロ［２．２．２］オクト−２−エン−４−イル基などを挙げることができる。アルキニル基は、炭素数２〜３０の置換又は無置換のアルキニル基が好ましく、例えば、エチニル基、及び、プロパルギル基が挙げられる。

アリール基は、炭素数６〜３０（好ましくは炭素数６〜１０）の置換又は無置換のアリール基が好ましく、例えば、フェニル基、ｐ−トリル基、ナフチル基、ｍ−クロロフェニル基、ｏ−ヘキサデカノイルアミノフェニル基が挙げられ、置換基を有してもよいフェニル基が好ましい。

ヘテロ環基は、置換もしくは無置換の芳香族又は非芳香族のヘテロ環化合物から一個の水素原子を取り除いた一価の基であり、それらはさらに縮環していてもよい。これらのヘテロ環基としては、好ましくは５員又は６員のヘテロ環基であり、また、環構成のヘテロ原子としては、酸素原子、硫黄原子、窒素原子が好ましい。さらに好ましくは、炭素数３〜３０（更には炭素数５〜１８）の５員又は６員の芳香族のヘテロ環基である。ヘテロ環基におけるヘテロ環としては、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、キナゾリン環、シンノリン環、フタラジン環、キノキサリン環、ピロール環、インドール環、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピラゾール環、イミダゾール環、ベンズイミダゾール環、トリアゾール環、オキサゾール環、ベンズオキサゾール環、チアゾール環、ベンゾチアゾール環、イソチアゾール環、ベンズイソチアゾール環、チアジアゾール環、イソオキサゾール環、ベンズイソオキサゾール環、ピロリジン環、ピペリジン環、ピペラジン環、イミダゾリジン環、チアゾリン環が挙げられる。

脂肪族オキシ基の代表例としてアルコキシ基があり、置換又は無置換のアルコキシ基が含まれ、炭素数は１〜３０が好ましく、更には炭素数１〜８が好ましい。アルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、イソプロポキシ基、ｎ−オクチルオキシ基、メトキシエトキシ基、ヒドロキシエトキシ基、及び３−カルボキシプロポキシ基などを挙げることができる。

アリールオキシ基は、炭素数６〜３０（好ましくは炭素数６〜１０）の置換又は無置換のアリールオキシ基が好ましい。アリールオキシ基の例として、フェノキシ基、２−メチルフェノキシ基、４−ｔｅｒｔ−ブチルフェノキシ基、３−ニトロフェノキシ基、２−テトラデカノイルアミノフェノキシ基などを挙げることができる。好ましくは、置換基を有してもよいフェニルオキシ基である。

アシルオキシ基は、ホルミルオキシ基、炭素数２〜３０（好ましくは炭素数２〜９）の置換又は無置換のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数６〜３０の置換又は無置換のアリールカルボニルオキシ基が好ましい。アシルオキシ基の例には、ホルミルオキシ基、アセチルオキシ基、ピバロイルオキシ基、ステアロイルオキシ基、ベンゾイルオキシ基、ｐ−メトキシフェニルカルボニルオキシ基などを挙げることができる。

カルバモイルオキシ基は、炭素数１〜３０（好ましくは炭素数１〜１６）の置換又は無置換のカルバモイルオキシ基が好ましい。カルバモイルオキシ基の例には、Ｎ，Ｎ−ジメチルカルバモイルオキシ基、Ｎ，Ｎ−ジエチルカルバモイルオキシ基、モルホリノカルボニルオキシ基、Ｎ，Ｎ−ジ−ｎ−オクチルアミノカルボニルオキシ基、Ｎ−ｎ−オクチルカルバモイルオキシ基などを挙げることができる。

脂肪族オキシカルボニルオキシ基の代表例としてアルコキシカルボニルオキシ基があり、炭素数２〜３０（好ましくは炭素数２〜９）のアルコキシカルボニルオキシ基が好ましく、置換基を有していてもよい。アルコキシカルボニルオキシ基としては、例えば、メトキシカルボニルオキシ基、エトキシカルボニルオキシ基、ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ基、ｎ−オクチルカルボニルオキシ基などを挙げることができる。

アリールオキシカルボニルオキシ基は、炭素数７〜３０（好ましくは炭素数７〜１１）の置換又は無置換のアリールオキシカルボニルオキシ基が好ましい。アリールオキシカルボニルオキシ基の例としては、フェノキシカルボニルオキシ基、ｐ−メトキシフェノキシカルボニルオキシ基、ｐ−ｎ−ヘキサデシルオキシフェノキシカルボニルオキシ基などを挙げることができる。好ましくは、置換基を有してもよいフェノキシカルボニルオキシ基である。

アミノ基は、アミノ基、脂肪族アミノ基（代表としてアルキルアミノ基）、アリールアミノ基及びヘテロ環アミノ基を含む。アミノ基は、炭素数１〜３０（好ましくは炭素数１〜８）の置換もしくは無置換の脂肪族アミノ基（代表例としてアルキルアミノ基）、又は炭素数６〜３０（好ましくは炭素数６〜１０）の置換もしくは無置換のアリールアミノ基が好ましい。アミノ基の例には、例えば、アミノ基、メチルアミノ基、ジメチルアミノ基、アニリノ基、Ｎ−メチル−アニリノ基、ジフェニルアミノ基、ヒドロキシエチルアミノ基、カルボキシエチルアミノ基、スルフォエチルアミノ基、３，５−ジカルボキシアニリノ基、４−キノリルアミノ基などを挙げることができる。

アシルアミノ基は、ホルミルアミノ基、炭素数１〜３０（好ましくは炭素数１〜８）の置換もしくは無置換のアルキルカルボニルアミノ基、又は炭素数６〜３０の置換もしくは無置換のアリールカルボニルアミノ基が好ましい。アシルアミノ基の例には、ホルミルアミノ基、アセチルアミノ基、ピバロイルアミノ基、ラウロイルアミノ基、ベンゾイルアミノ基、３，４，５−トリ−ｎ−オクチルオキシフェニルカルボニルアミノ基などを挙げることができる。

アミノカルボニルアミノ基は、炭素数１〜３０（好ましくは炭素数１〜８）の置換又は無置換のアミノカルボニルアミノ基が好ましい。アミノカルボニルアミノ基の例には、カルバモイルアミノ基、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノカルボニルアミノ基、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノカルボニルアミノ基、モルホリノカルボニルアミノ基などを挙げることができる。
なお、この基における「アミノ」の語は、前記アミノ基における「アミノ」と同じ意味である。

脂肪族オキシカルボニルアミノ基の代表例としてアルコキシカルボニルアミノ基があり、炭素数２〜３０（好ましくは炭素数２〜１２）のアルコキシカルボニルアミノ基が好ましく、置換基を有してもよい。アルコキシカルボニルアミノ基としては、例えば、メトキシカルボニルアミノ基、エトキシカルボニルアミノ基、ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルアミノ基、ｎ−オクタデシルオキシカルボニルアミノ基、Ｎ−メチルーメトキシカルボニルアミノ基などを挙げることができる。

アリールオキシカルボニルアミノ基は、炭素数７〜３０（好ましくは炭素数７〜１４）の置換又は無置換のアリールオキシカルボニルアミノ基が好ましい。アリールオキシカルボニルアミノ基の例には、フェノキシカルボニルアミノ基、ｐ−クロロフェノキシカルボニルアミノ基、ｍ−ｎ−オクチルオキシフェノキシカルボニルアミノ基などを挙げることができる。置換基を有してもよいフェニルオキシカルボニルアミノ基が好ましい。

スルファモイルアミノ基は、炭素数０〜３０（好ましくは炭素数０〜４）の置換又は無置換のスルファモイルアミノ基が好ましい。スルファモイルアミノ基の例には、スルファモイルアミノ基、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノスルホニルアミノ基、Ｎ−ｎ−オクチルアミノスルホニルアミノ基などを挙げることができる。

アルキルスルホニルアミノ基又はアリールスルホニルアミノ基は、炭素数１〜３０（好ましくは炭素数１〜１２）の置換もしくは無置換のアルキルスルホニルアミノ基（脂肪族スルホニルアミノ基）、又は炭素数６〜３０（好ましくは炭素数６〜１０）の置換もしくは無置換のアリールスルホニルアミノ基（好ましくは、置換基を有してもよいフェニルスルホニルアミノ基）が好ましい。アルキル又はアリールスルホニルアミノ基としては、例えば、メチルスルホニルアミノ基、ブチルスルホニルアミノ基、フェニルスルホニルアミノ基、２，３，５−トリクロロフェニルスルホニルアミノ基、ｐ−メチルフェニルスルホニルアミノ基などを挙げることができる。

脂肪族チオ基の代表例としてアルキルチオ基は、炭素数１〜３０（好ましくは炭素数１〜１２）の置換又は無置換のアルキルチオ基が好ましい。アルキルチオ基の例には、メチルチオ基、エチルチオ基、ｎ−ヘキサデシルチオ基などを挙げることができる。

アリールチオ基は、炭素数６〜１２（好ましくは炭素数６〜１０）の置換又は無置換のアリールチオ基が好ましい。アリールチオ基の例には、フェニルチオ基、１−ナフチルチオ基、２−ナフチルチオ基などを挙げることができる。

スルファモイル基は、炭素数０〜３０（好ましくは炭素数０〜４）の置換又は無置換のスルファモイル基が好ましい。スルファモイル基の例には、Ｎ−エチルスルファモイル基、Ｎ−（３−ドデシルオキシプロピル）スルファモイル基、Ｎ，Ｎ−ジメチルスルファモイル基、Ｎ−アセチルスルファモイル基、Ｎ−ベンゾイルスルファモイル基、Ｎ−（Ｎ’−フェニルカルバモイル）スルファモイル）基などを挙げることができる。

アルキルスルフィニル基又はアリールスルフィニル基は、炭素数１〜３０（好ましくは炭素数１〜１２）の置換もしくは無置換のアルキルスルフィニル基（脂肪族スルフィニル基）、又は、炭素数６〜３０（好ましくは炭素数６〜１０）の置換もしくは無置換のアリールスルフィニル基（好ましくは、置換基を有してもよいフェニルスルフィニル基）が好ましい。アルキルスルフィニル基又はアリールスルフィニル基としては、例えば、メチルスルフィニル基、エチルスルフィニル基、フェニルスルフィニル基、ｐ−メチルフェニルスルフィニル基などを挙げることができる。

アルキルスルホニル基又はアリールスルホニル基は、炭素数１〜３０（好ましくは炭素数１〜１２）の置換もしくは無置換のアルキルスルホニル基（脂肪族スルホニル基）、又は炭素数６〜３０の置換もしくは無置換のアリールスルホニル基（好ましくは、置換基を有してもよいフェニルスルホニル基）が好ましい。アルキル又はアリールスルホニル基としては、例えば、メチルスルホニル、エチルスルホニル、フェニルスルホニル、ｐ−トルエンスルホニル基などを挙げることができる。

アシル基は、ホルミル基、炭素数２〜３０（好ましくは炭素数２〜８）の置換もしくは無置換の脂肪族カルボニル基（代表としてアルキルカルボニル基）、炭素数７〜３０（好ましくは炭素数７〜１３）の置換もしくは無置換のアリールカルボニル基（好ましくは置換基を有してもよいフェニルカルボニル基）、又は炭素数４〜３０（好ましくは炭素数４〜１２）の置換もしくは無置換の炭素原子でカルボニル基と結合しているヘテロ環カルボニル基が好ましい。アシル基としては、例えば、アセチル、ピバロイル、２−クロロアセチル、ステアロイル、ベンゾイル、ｐ−ｎ−オクチルオキシフェニルカルボニル、２−ピリジルカルボニル、２−フリルカルボニル基などを挙げることができる。

アリールオキシカルボニル基は、炭素数７〜３０（好ましくは炭素数７〜１４）の置換又は無置換のアリールオキシカルボニル基が好ましい。アリールオキシカルボニル基の例には、フェノキシカルボニル、ｏ−クロロフェノキシカルボニル、ｍ−ニトロフェノキシカルボニル、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェノキシカルボニル基などを挙げることができる。好ましくは、置換基を有してもよいフェニルオキシカルボニル基である。

脂肪族オキシカルボニル基の代表例としてアルコキシカルボニル基があり、アルコキシカルボニル基は炭素数２〜３０（好ましくは炭素数２〜１４）が好ましく、置換基を有してもよい。アルコキシカルボニル基としては、例えば、メトキシカルボニル、エトキシカルボニル、ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル、ｎ−オクタデシルオキシカルボニル基などを挙げることができる。

カルバモイル基は、炭素数１〜３０（好ましくは炭素数１〜８）の置換又は無置換のカルバモイル基が好ましい。カルバモイル基の例には、カルバモイル、Ｎ−メチルカルバモイル、Ｎ，Ｎ−ジメチルカルバモイル、Ｎ，Ｎ−ジ−ｎ−オクチルカルバモイル、Ｎ−（メチルスルホニル）カルバモイル基などを挙げることができる。

アリールもしくはヘテロ環アゾ基として、例えば、フェニルアゾ、４−メトキシフェニルアゾ、４−ピバロイルアミノフェニルアゾ、２−ヒドロキシ−４−プロパノイルフェニルアゾ基などを挙げることができる。

イミド基として、例えば、Ｎ−スクシンイミド基、Ｎ−フタルイミド基などを挙げることができる。

これらの各基は、さらに置換基を有してもよく、このような置換基としては上記の置換基が挙げられる。

前記一般式（１）において、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５及びＲ^１６は、それぞれ下記の（ａ）〜（ｄ）の態様が好ましい。また、前記一般式（１）で表されるアゾ色素化合物の好ましい置換基の組み合わせについては、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５及びＲ^１６で表される基の少なくとも１つが下記（ａ）〜（ｄ）の好ましい基である場合の化合物が好ましく、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５及びＲ^１６で表される基のより多くが下記（ａ）〜（ｄ）の好ましい基である場合の化合物がより好ましく、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５及びＲ^１６で表される基の全てが下記（ａ）〜（ｄ）の好ましい基である場合の化合物が最も好ましい。

（ａ）Ｒ^１１及びＲ^１２は、各々独立に、本発明の効果を効果的に奏しうる観点から、好ましくはシアノ基、置換又は無置換のアルコキシカルボニル基、置換又は無置換のアリールオキシカルボニル基であり、より好ましくはシアノ基、置換又は無置換のアルコキシカルボニル基であり、最も好ましくはシアノ基である。この場合、各基の好ましい炭素数については既述した範囲と同様である。

（ｂ）Ｒ^１３は、より効果的に本発明の効果を奏しうる観点で、好ましくは置換又は無置換のアルキル基、置換又は無置換のアシル基、置換又は無置換のアルコキシカルボニル基、置換又は無置換のアリールオキシカルボニル基、置換又は無置換のカルバモイル基、ヘテロ環基であり、より好ましくは置換又は無置換のアルキル基であり、置換又は無置換のアシル基であり、最も好ましくは置換又は無置換のアルキル基である。この場合、各基の好ましい炭素数については既述した範囲と同様である。

（ｃ）Ｒ^１４は、より効果的に本発明の効果を奏しうる観点で、好ましくは置換又は無置換のアルキル基、置換又は無置換のアリール基、置換又は無置換のヘテロ環基、置換又は無置換のアシルアミノ基であり、より好ましくは置換又は無置換のアルキル基、置換又は無置換のアリール基、２−ピリジル基、３−ピリジル基、４−ピリジル基、２−チエニル基であり、最も好ましくは、無置換のアルキル基、置換又は無置換のフェニル基である。この場合、各基の好ましい炭素数については既述した範囲と同様である。

（ｄ）Ｒ^１５及びＲ^１６は、各々独立に、より効果的に本発明の効果を奏しうる観点で、好ましくは水素原子、置換又は無置換のアルキル基、置換又は無置換のアリール基、置換又は無置換のアシル基であり、より好ましくは、置換又は無置換のアルキル基、置換又は無置換のアリール基であり、最も好ましくは置換又は無置換のアルキル基である。この場合、各基の好ましい炭素数については既述した範囲と同様である。

＜一般式（２）で表されるアゾ色素化合物及びその互変異性体＞
前記一般式（１）で表されるアゾ色素化合物は、より効果的に本発明の効果を奏する観点から、下記の一般式（２）で表されるアゾ色素化合物である場合が好ましい。一般式（２）で表されるアゾ色素化合物は、前記一般式（１）で表されるアゾ色素化合物と同様に、カップリング成分がアミノチアゾールであり、かつジアゾ成分がイミダゾールであることを特徴とし、かつイミダゾール環上のＮ−位を介して連結された二量化構造を有することを特徴とするアゾ色素化合物である。

前記一般式（１）で表される化合物の中でも、一般式（２）で表されるアゾ色素化合物は特に有機溶剤に対する溶解性、光堅牢性、熱堅牢性が高く、経時安定性及び硬化後の耐溶剤性に優れており、更には色相が良好で高透過率特性を有すると共に、光堅牢性、熱堅牢性及び耐溶剤性に優れている。このアゾ色素化合物は、高精細微細化に対応したカラーフィルタ用途に特に優れた性能を示す。

前記一般式（２）において、Ｒ^２１、Ｒ^２２、Ｒ^２４、Ｒ^２５、Ｒ^２６、Ｒ^３１、Ｒ^３２、Ｒ^３４、Ｒ^３５及びＲ^３６は、各々独立に、水素原子又は１価の置換基を表し、Ｌ^１は２価の連結基を表す。Ｒ^２１とＲ^２２、Ｒ^２５とＲ^２６、Ｒ^３１とＲ^３２、Ｒ^３５とＲ^３６は、各々独立に、互いに結合し環を形成していてもよい。

一般式（２）において、Ｒ^２１、Ｒ^２２、Ｒ^２４、Ｒ^３１、Ｒ^３２及びＲ^３４は、各々独立に、水素原子又は１価の置換基を表す。ここでの置換基としては、特に制限はないが、代表例として、ハロゲン原子、アルキル基（シクロアルキル基、ビシクロアルキル基をも含む飽和脂肪族基を意味する。）、アルケニル基（シクロアルケニル基、ビシクロアルケニル基をも含む二重結合を有する不飽和脂肪族基を意味する。）、アルキニル基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、アリールオキシカルボニルオキシ基、アミノ基（アルキルアミノ基、アニリノ基及びヘテロ環アミノ基を含む。）、アシルアミノ基、アミノカルボニルアミノ基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルファモイルアミノ基、アルキルもしくはアリールスルホニルアミノ基、アルキルチオ基、スルファモイル基、アルキルもしくはアリールスルフィニル基、アルキルもしくはアリールスルホニル基、アシル基、アリールオキシカルボニル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アリールもしくはヘテロ環アゾ基、イミド基を挙げることができる。これらの基は、さらに置換基を有していてもよい。

一般式（２）において、Ｒ^２５、Ｒ^２６、Ｒ^３５及びＲ^３６は、各々独立に、水素原子又は１価の置換基を表す。ここでの置換基としては、特に制限はないが、代表例として、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、ヘテロ環基、アシル基、アリールオキシカルボニル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基を挙げることができる。これらの基は、さらに置換基を有していてもよい。

一般式（２）において、Ｌ^１は２価の連結基を表す。ここでの２価の連結基は、特に制限はなく、その代表例として、エチレン、１，２−プロピレン、１，３−プロピレン、１，４−ブチレンなどのアルキレン、ｏ−キシリレン、ｍ―キシリレン、ｐ−キシリレンなどを挙げることができる。これらの基は、さらに置換基を有していてもよい。

Ｒ^２１、Ｒ^２２、Ｒ^３１及びＲ^３２は、各々独立に、より効果的に本発明の効果を奏しうる観点で、好ましくはシアノ基、置換又は無置換のアルコキシカルボニル基、置換又は無置換のアリールオキシカルボニル基であり、より好ましくはシアノ基、置換又は無置換のアルコキシカルボニル基（好ましい炭素数２〜３０、更には２〜８）であり、最も好ましくはシアノ基である。アルコキシカルボニル基の具体例は、前記Ｒ^１１〜Ｒ^１６で表される１価の置換基の項で説明したものと同様の化合物が挙げられる。

Ｒ^２４及びＲ^３４は、各々独立に、より効果的に本発明の効果を奏しうる観点で、好ましくは置換又は無置換のアルキル基（好ましい炭素数１〜３０、更には１〜８）、置換又は無置換のアリール基（好ましい炭素数６〜３０、更には６〜１０）、置換又は無置換のヘテロ環基（好ましい炭素数３〜３０、更には４〜１０）、置換又は無置換のアシルアミノ基（好ましい炭素数１〜３０、更には１〜８）であり、このうち、より好ましくは置換又は無置換のアルキル基、置換又は無置換のアリール基、２−ピリジル基、３−ピリジル基、４−ピリジル基、２−チエニル基であり、最も好ましくは無置換のアルキル基、置換又は無置換のフェニル基である。
なお、アルキル基、アリール基、ヘテロ環基、アシルアミノ基の具体例は、前記Ｒ^１１〜Ｒ^１６で表される１価の置換基の項で説明したものと同様の化合物が挙げられる。

Ｒ^２５、Ｒ^２６、Ｒ^３５及びＲ^３６は、各々独立に、より効果的に本発明の効果を奏しうる観点で、好ましくは水素原子、置換又は無置換のアルキル基（好ましい炭素数１〜３０、更には１〜８）、置換又は無置換のアリール基（好ましい炭素数６〜３０、更には６〜１０）、置換又は無置換のアシル基（好ましい炭素数２〜３０、更には２〜８）であり、このうち、より好ましくは置換又は無置換のアルキル基、置換又は無置換のアリール基であり、最も好ましくは置換又は無置換のアルキル基である。
なお、アルキル基、アリール基、アシル基の具体例は、前記Ｒ^１１〜Ｒ^１６で表される１価の置換基の項で説明したものと同様の化合物が挙げられる。

Ｌ^１は、より効果的に本発明の効果を奏しうる観点で、好ましくは置換又は無置換の炭素数２〜８のアルキレン〔−（ＣＨ_２）_ｎ−［ｎ＝２〜８］〕又はキシリレンであり、より好ましくは置換又は無置換の炭素数３〜６のアルキレン、ｏ−キシリレン、ｍ−キシリレンであり、最も好ましくは無置換の炭素数３〜４のアルキレン又はｏ−キシリレンである。

前記一般式（２）で表されるアゾ色素化合物の好ましい置換基の組み合わせについては、Ｒ^２１、Ｒ^２２、Ｒ^２４、Ｒ^２５、Ｒ^２６、Ｒ^３１、Ｒ^３２、Ｒ^３４、Ｒ^３５及びＲ^３６で表される基の少なくとも１つが前記（ａ）〜（ｄ）の好ましい基である場合の化合物が好ましく、Ｒ^２１、Ｒ^２２、Ｒ^２４、Ｒ^２５、Ｒ^２６、Ｒ^３１、Ｒ^３２、Ｒ^３４、Ｒ^３５及びＲ^３６で表される基のより多くが前記（ａ）〜（ｄ）の好ましい基である場合の化合物がより好ましく、Ｒ^２１、Ｒ^２２、Ｒ^２４、Ｒ^２５、Ｒ^２６、Ｒ^３１、Ｒ^３２、Ｒ^３４、Ｒ^３５及びＲ^３６で表される基の全てが前記（ａ）〜（ｄ）の好ましい基である場合の化合物が最も好ましい。

前記一般式（２）で表されるアゾ色素化合物としては、より効果的に本発明の効果を奏しうる観点から、好ましくは、Ｒ^２１がシアノ基、置換又は無置換のアルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２〜８）、置換又は無置換のアリールオキシカルボニル基（好ましくは炭素数７〜１１）であり、Ｒ^２２がシアノ基、置換又は無置換のアルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２〜８）、置換又は無置換のアリールオキシカルボニル基（好ましくは炭素数７〜１１）であり、Ｒ^２４が置換又は無置換のアルキル基（好ましくは炭素数１〜８）、置換又は無置換のアリール基（好ましくは炭素数６〜１０）、置換又は無置換のヘテロ環基（好ましくは炭素数４〜１０）、置換又は無置換のアシルアミノ基（好ましくは炭素数１〜８）であり、Ｒ^２５が水素原子、置換又は無置換のアルキル基（好ましくは炭素数１〜８）、置換又は無置換のアリール基（好ましくは炭素数６〜１０）、置換又は無置換のアシル基（好ましくは炭素数２〜８）であり、Ｒ^２６が水素原子、置換又は無置換のアルキル基（好ましくは炭素数１〜８）、置換又は無置換のアリール基（好ましくは炭素数６〜１０）、置換又は無置換のアシル基（好ましくは炭素数２〜８）であり、Ｒ^３１がシアノ基、置換又は無置換のアルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２〜８）、置換又は無置換のアリールオキシカルボニル基（好ましくは炭素数７〜１１）であり、Ｒ^３２がシアノ基、置換又は無置換のアルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２〜８）、置換又は無置換のアリールオキシカルボニル基（好ましくは炭素数７〜１１）であり、Ｒ^３４が置換又は無置換のアルキル基（好ましくは炭素数１〜８）、置換又は無置換のアリール基（好ましくは炭素数６〜１０）、置換又は無置換のヘテロ環基（好ましくは炭素数４〜１０）、置換又は無置換のアシルアミノ基（好ましくは炭素数１〜８）であり、Ｒ^３５が水素原子、置換又は無置換のアルキル基（好ましくは炭素数１〜８）、置換又は無置換のアリール基（好ましくは炭素数６〜１０）、置換又は無置換のアシル基（好ましくは炭素数２〜８）であり、Ｒ^３６が水素原子、置換又は無置換のアルキル基（好ましくは炭素数１〜８）、置換又は無置換のアリール基（好ましくは炭素数６〜１０）、置換又は無置換のアシル基（好ましくは炭素数２〜８）であり、Ｌが置換又は無置換の炭素数２〜８のアルキレン、又はキシリレンである組み合わせである。

さらに効果的に本発明の効果を奏しうる観点で、一般式（２）で表されるアゾ色素化合物のより好ましい態様は、Ｒ^２１がシアノ基、置換又は無置換のアルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２〜４）であり、Ｒ^２２がシアノ基、置換又は無置換のアルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２〜４）であり、Ｒ^２４が置換又は無置換のアルキル基（好ましくは炭素数１〜４）、置換又は無置換のアリール基（好ましくは炭素数６〜１０）、２−ピリジル基、３−ピリジル基、４−ピリジル基、２−チエニル基であり、Ｒ^２５が置換又は無置換のアルキル基（好ましくは炭素数１〜４）、置換又は無置換のアリール基（好ましくは炭素数６〜１０）であり、Ｒ^２６が置換又は無置換のアルキル基（好ましくは炭素数１〜４）、置換又は無置換のアリール基（好ましくは炭素数６〜１０）であり、Ｒ^３１がシアノ基、置換又は無置換のアルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２〜４）であり、Ｒ^３２がシアノ基、置換又は無置換のアルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２〜４）であり、Ｒ^３４が置換又は無置換のアルキル基（好ましくは炭素数１〜４）、置換又は無置換のアリール基（好ましくは炭素数６〜１０）、２−ピリジル基、３−ピリジル基、４−ピリジル基、２−チエニル基であり、Ｒ^３５が置換又は無置換のアルキル基（好ましくは炭素数１〜４）、置換又は無置換のアリール基（好ましくは炭素数６〜１０）であり、Ｒ^３６が置換又は無置換のアルキル基（好ましくは炭素数１〜４）、置換又は無置換のアリール基（好ましくは炭素数６〜１０）であり、Ｌが置換又は無置換の炭素数３〜６のアルキレン、ｏ−キシリレン、ｍ−キシリレンである組み合わせである。

また更に、一般式（２）で表されるアゾ色素化合物としては、より効果的に本発明の効果を奏しうる観点から、最も好ましくは、Ｒ^２１がシアノ基であり、Ｒ^２２がシアノ基であり、Ｒ^２４が無置換の炭素数１〜４のアルキル基、置換又は無置換のフェニル基であり、Ｒ^２５が置換又は無置換の炭素数１〜２のアルキル基であり、Ｒ^２６が置換又は無置換の炭素数１〜２のアルキル基であり、Ｒ^３１がシアノ基であり、Ｒ^３２がシアノ基であり、Ｒ^３４が無置換の炭素数１〜４のアルキル基、置換又は無置換のフェニル基であり、Ｒ^３５が置換又は無置換の炭素数１〜２のアルキル基であり、Ｒ^３６が置換又は無置換の炭素数１〜２のアルキル基であり、Ｌが無置換の炭素数３〜４のアルキレン、ｏ−キシリレンである組み合わせである。

以下、前記一般式（１）で表される化合物の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。また、下記例示化合物（６１）〜（１０８）は前記一般式（２）の例示化合物でもある。
なお、下記例示化合物１〜６０中に示すＲ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５及びＲ^６はそれぞれ、下記一般式（３）中に表される基である。また、下記例示化合物６１〜１０４中に示すＲ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、及びＬはそれぞれ、下記式（４）中に表される基である。

〜一般式（３）で表される色素化合物〜

〜一般式（３）で表される色素化合物〜

〜一般式（３）で表される色素化合物〜

〜一般式（３）で表される色素化合物〜

〜一般式（４）で表される色素化合物〜

〜一般式（４）で表される色素化合物〜

〜一般式（４）で表される色素化合物〜

これらのアゾ色素化合物は、米国特許第５，７８９，５６０号明細書などに記載の方法に準じて容易に合成することができる。すなわち、本発明における前記一般式（１）で表されるアゾ色素化合物の合成方法は、一般的に行なわれているジアゾカップリング、次いでアルキル化剤を用いたアルキル化により合成することができる。
具体的には、下記一般式（Ａ）で表される２−アミノイミダゾール誘導体のアミノ基をジアゾ化剤を用いて下記一般式（Ｂ）のジアゾニウム塩に変換し、このジアゾニウム塩と下記一般式（Ｃ）で表される２−アミノチアゾール誘導体とをカップリング反応させ、下記一般式（Ｄ）で表される化合物を得る。その後、一般式（Ｄ）を塩基性条件下、下記一般式（Ｅ）などでアルキル化することで容易に合成できる。具体的には、後述する実施例で例示する。なお、一般式（Ａ）〜（Ｅ）中のＲ^１〜Ｒ^６は、前記一般式（１）中のＲ^１〜Ｒ^６と同義である。

（一般式（Ａ）中、Ｒ^１及びＲ^２は、各々独立に水素原子又は１価の置換基を表す。また、Ｒ^１及びＲ^２は互いに結合して環を形成していてもよい。）

（一般式（Ｂ）中、Ｒ^１及びＲ^２は、一般式（Ａ）におけるＲ^１及びＲ^２と同義である。Ｘは、ジアゾニウム塩の対アニオンである。）

（一般式（Ｃ）中、Ｒ^４、Ｒ^５及びＲ^６は、各々独立に水素原子又は１価の置換基を表す。）

（一般式（Ｄ）中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^４、Ｒ^５及びＲ^６は、一般式（Ａ）〜（Ｃ）のＲ^１、Ｒ^２、Ｒ^４、Ｒ^５及びＲ^６と同義である。）

（一般式（Ｅ）中、Ｒ^３は１価の置換基を表し、Ｙは脱離基（例えばハロゲン原子、トシル基など）を表す。）

前記一般式（Ａ）で表される化合物の多くは、市販品として入手可能である（例えば、東京化成化学工業製カタログ番号Ａ１２９２など）。前記一般式（Ｃ）で表される化合物は、従来公知方法で合成することができる（例えば、Ｊ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．Ｐｅｒｋｉｎ Ｔｒａｎｓ．１（１９８４年）２巻１４７〜１５３頁など）。前記一般式（Ｅ）で表される化合物の多くは、市販品として入手可能である（例えば、東京化成化学工業製カタログ番号Ｂ０４１１など）。

前記一般式（１）で表されるアゾ色素化合物の着色硬化性組成物中における総濃度は、分子量及びモル吸光係数によって異なるが、該組成物の全固形成分に対して、０．５〜８０％質量％が好ましく、０．５〜７０％質量％がより好ましく、１〜７０％質量％が特に好ましい。

〔（Ｂ）酸の作用によって架橋する架橋剤〕
本発明の着色硬化性組成物は、酸の作用によって架橋する架橋剤（以下、「酸架橋剤」と呼ぶ。）の少なくとも一種を含有する。

酸架橋剤としては、酸の作用によって架橋反応を起こし、膜硬化を行なえるものであれば特に限定はなく、例えば、（ａ）エポキシ樹脂、（ｂ）メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、メラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物、ウレア化合物、（ｃ）メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物又はヒドロキシアントラセン化合物、が挙げられる。

前記（ａ）エポキシ樹脂としては、エポキシ基を有し、かつ架橋性を有するものであればいずれであってもよく、例えば、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ブタンジオールジグリシジルエーテル、へキサンジオールジグリシジルエーテル、ジヒドロキシビフェニルジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアニリン等の２価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリメチロールフェノールトリグリシジルエーテル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡトリグリシジルエーテル等に代表される３価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、テトラメチロールビスフェノールＡ テトラグリシジルエーテル等に代表される４価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、ジペンタエリスリトールペンタグリシジルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサグリシジルエーテル等の多価グリシジル基含有低分子化合物、ポリグリシジル（メタ）アクリレート、２，２−ビス（ヒドロキシメチル）−１−ブタノールの１，２−エポキシ−４−（２−オキシラニル）シクロヘキサン付加物等に代表されるグリシジル基含有高分子化合物、等が挙げられる。

前記酸架橋剤（ｂ）に含まれるメチロール基、アルコキシメチル基、アシロキシメチル基が置換している数としては、メラミン化合物の場合２〜６、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物の場合は２〜４であるが、好ましくはメラミン化合物の場合５〜６、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物の場合は３〜４である。
以下、前記（ｂ）のメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物及びウレア化合物を総じて、（ｂ）に係る化合物（メチロール基含有化合物、アルコキシメチル基含有化合物、又はアシロキシメチル基含有化合物）という。

前記（ｂ）に係るメチロール基含有化合物は、メラミン・グアナミン・グリコールウリル・ウレアを原料に用い、これを水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド等の塩基性触媒の存在下でホルムアルデヒドと縮合反応させることにより得られる。前記（ｂ）に係るアルコキシメチル基含有化合物は、（ｂ）に係るメチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒存在下、加熱することにより得られる。また、前記（ｂ）に係るアシロキシメチル基含有化合物は、（ｂ）に係るメチロール基含有化合物を塩基性触媒存在下、アシルクロリドと混合攪拌することにより得られる。

以下、前記置換基を有する（ｂ）に係る化合物の具体例を挙げる。
前記メラミン化合物として、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の１〜５個がメトキシメチル化した化合物又はその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の１〜５個がアシロキシメチル化した化合物又はその混合物、などが挙げられる。

前記グアナミン化合物として、例えば、テトラメチロールグアナミン、テトラメトキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの１〜３個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物又はその混合物、テトラメトキシエチルグアナミン、テトラアシロキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの１〜３個のメチロール基をアシロキシメチル化した化合物又はその混合物などが挙げられる。

前記グリコールウリル化合物としては、例えば、テトラメチロールグリコールウリル、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の１〜３個をメトキシメチル化した化合物又はその混合物、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の１〜３個をアシロキシメチル化した化合物又はその混合物、などが挙げられる。

前記ウレア化合物として、例えば、テトラメチロールウレア、テトラメトキシメチルウレア、テトラメチロールウレアの１〜３個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物又はその混合物、テトラメトキシエチルウレア、などが挙げられる。
これら（ｂ）に係る化合物は、単独で使用してもよく、組合わせて使用してもよい。

前記酸架橋剤（ｃ）、即ち、メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物又はヒドロキシアントラセン化合物を総じて、（ｃ）に係る化合物（メチロール基含有化合物、アルコキシメチル基含有化合物、又はアシロキシメチル基含有化合物） ということがある。

前記架橋剤（ｃ）に含まれるメチロール基、アシロキシメチル基又はアルコキシメチル基の数としては、一分子当り最低２個必要であり、酸架橋性及び保存安定性の観点から、骨格となるフェノール化合物の２位，４位が全て置換されている化合物が好ましい。また、骨格となるナフトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物も、ＯＨ基のオルト位、パラ位が全て置換されている化合物が好ましい。前記フェノール化合物の３位又は５位は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
前記ナフトール化合物においても、ＯＨ基のオルト位以外は、未置換であっても置換基を有していてもよい。

前記（ｃ）に係るメチロール基含有化合物は、フェノール性ＯＨ基のオルト位又はパラ位（２位又は４位）が水素原子である化合物を原料に用い、これを水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド等の、塩基性触媒の存在下でホルムアルデヒドと縮合反応させることにより得られる。前記（ｃ）に係るアルコキシメチル基含有化合物は、（ｃ）に係るメチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱することにより得られる。また、前記（ｃ）に係るアシロキシメチル基含有化合物は、（ｃ）に係るメチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得られる。

架橋剤（ｃ）における骨格化合物としては、フェノール性ＯＨ 基のオルト位又はパラ位が未置換の、フェノール化合物、ナフトール、ヒドロキシアントラセン化合物等が挙げられ、例えば、フェノール、クレゾールの各異性体、２，３−キシレノール、２，５−キシレノール、３，４−キシレノール、３，５−キシレノール、ビスフェノールＡなどのビスフェノール類、４，４’−ビスヒドロキシビフェニル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡ（本州化学工業（株）製） 、ナフトール、ジヒドロキシナフタレン、２，７−ジヒドロキシアントラセン、等が使用される。
架橋剤（ｃ）の具体例としては、フェノール化合物又はナフトール化合物として、例えば、トリメチロールフェノール、トリ（メトキシメチル）フェノール、トリメチロールフェノールの１〜２個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、トリメチロール−３−クレゾール、トリ（メトキシメチル）−３−クレゾール、トリメチロール−３−クレゾールの１〜２個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、２，６−ジメチロール−４−クレゾール等のジメチロールクレゾール、テトラメチロールビスフェノールＡ、テトラメトキシメチルビスフェノールＡ、テトラメチロールビスフェノールＡ の１〜３個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、テトラメチロール−４，４’−ビスヒドロキシビフェニル、テトラメトキシメチル−４，４’−ビスヒドロキシビフェニル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメチロール体、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメトキシメチル体、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメチロール体の１〜５ 個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、ビスヒドロキシメチルナフタレンジオール、等が挙げられる。また、ヒドロキシアントラセン化合物として、例えば、１，６−ジヒドロキシメチル−２，７−ジヒドロキシアントラセン等が挙げられる。また、アシロキシメチル基含有化合物として、例えば、上記メチロール基含有化合物のメチロール基を、一部又は全部アシロキシメチル化した化合物等が挙げられる。

これらの化合物の中で好ましいものとしては、トリメチロールフェノール、ビスヒドロ
キシメチル−ｐ−クレゾール、テトラメチロールビスフェノールＡ 、ＴｒｉｓＰ−ＰＡ（本州化学工業（株）製）のヘキサメチロール体又はそれらのメチロール基がアルコキシメチル基及びメチロール基とアルコキシメチル基の両方で置換されたフェノール化合物が挙げられる。
これら（ｃ）に係る化合物は、単独で使用してもよく、組合わせて使用してもよい。

本発明の着色硬化性組成物に使用する酸架橋剤としては、上記（ａ）〜（ｃ）に係る化合物のうち、（ａ）に係る化合物もしくは（ｂ）に係る化合物を用いることが好ましく、更に（ｂ）に係る化合物を用いることがより好ましく、（ｂ）に係るメラミン化合物を用いることが最も好ましい。

着色硬化性組成物の全固形分中における（Ｂ）酸架橋剤の含有量（２種以上の場合は総含有量）としては、特に限定はなく、本発明の効果をより効果的に得る観点から、１０質量％〜８０質量％が好ましく、１５質量％〜７５質量％がより好ましく、２０質量％〜６０質量％が特に好ましい。

〔（Ｃ）光酸発生剤〕
本発明の着色硬化性組成物は、（Ｃ）光酸発生剤の少なくとも一種を含有する。
光酸発生剤は、光照射によって酸を発生する化合物であり、露光領域で（Ｃ）光酸発生剤から発生した酸が触媒となって（Ｂ）酸架橋剤の架橋反応が進行して露光領域が硬化し、露光領域が現像液に不溶化することでネガ像が得られる。このとき、好ましくは露光後現像前に後加熱する工程（Post Exposure Bake＝ＰＥＢ工程）が設けられ、このＰＥＢ工程において、前記（Ｂ）酸架橋剤の架橋反応を効率よく進行させることができる。この点から、光照射によってスルホン酸もしくはそれ以上の強酸を発生する光酸発生剤を用いることが好ましい。

光酸発生剤としては、下記一般式（Ｃ−１）又は（Ｃ−２）で表されるオキシムスルホネート化合物が好ましい。

前記一般式（Ｃ−１）及び（Ｃ−２）において、ｎは１又は２であり、ｍは０又は１である。以下において、「Ｃ」は炭素を表し、例えば「Ｃ_８」は炭素数８を表す。
ｎ＝１の場合、Ｒ_１は、水素原子（但し、Ｒ_２は同時に水素ではない）、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリール（これらは全て、場合により１個以上のＣ_１〜Ｃ_１８アルキル、Ｃ_１〜Ｃ_８ハロアルキル、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキル、１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ_２３−、−Ｏ（ＣＯ）−もしくはＮＲ_２３（ＣＯ）−により中断されているＣ_３〜Ｃ_３０シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−ＮＯ_２、−ＣＮ、−Ａｒ_１、−（ＣＯ）Ｒ_１９、−（ＣＯ）ＯＲ_２０、−（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ_１９、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ_２０、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＮＲ_２３（ＣＯ）Ｒ_１９、−ＮＲ_２３（ＣＯ）ＯＲ_２０、−ＯＲ_２０、−ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＳＲ_２３、−ＳＯＲ_１９、−ＳＯ_２Ｒ_１９及び／もしくはＯＳＯ_２Ｒ_１９で置換されており、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ_１９、−（ＣＯ）ＯＲ_２０、−（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ_１９、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ_２０、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＮＲ_２３（ＣＯ）Ｒ_１９、−ＮＲ_２３（ＣＯ）ＯＲ_２０、−ＯＲ_２０、−ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＳＲ_２３、−ＳＯＲ_１９、−ＳＯ_２Ｒ_１９及び／又は−ＯＳＯ_２Ｒ_１９は、基Ｒ_１９、Ｒ_２０、Ｒ_２１、Ｒ_２２及び／もしくはＲ_２３を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリルもしくはヘテロアリール環の更なる置換基、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリルもしくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員、６員もしくは７員環を形成する）であるか；又は

Ｒ_１は、Ｃ_１〜Ｃ_１８アルキルであるか、又は１個以上のＣ_３〜Ｃ_３０シクロアルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ_２３−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ_２３（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ_２−もしくはＯＳＯ_２−により中断されているＣ_２〜Ｃ_１８アルキル（場合によりＣ_１〜Ｃ_１８アルキル及びＣ_２〜Ｃ_１８アルキルは、１個以上のＣ_１〜Ｃ_８ハロアルキル、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ_２、−ＣＮ、−Ａｒ_１、−（ＣＯ）Ｒ_１９、−（ＣＯ）ＯＲ_２０、−（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ_１９、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ_２０、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＮＲ_２３（ＣＯ）Ｒ_１９、−ＮＲ_２３（ＣＯ）ＯＲ_２０、−ＯＲ_２０、−ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＳＲ_２３、−ＳＯＲ_１９、−ＳＯ_２Ｒ_１９及び／もしくはＯＳＯ_２Ｒ_１９で置換されている）であるか；又は
Ｒ_１は、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキル（場合により１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ_２３−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−もしくは−ＮＲ_２３（ＣＯ）−により中断され、非置換であるか、又は１個以上のＣ_１〜Ｃ_１８アルキル、Ｃ_１〜Ｃ_８ハロアルキル、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ_２、−ＣＮ、−Ａｒ_１、−（ＣＯ）Ｒ_１９、−（ＣＯ）ＯＲ_２０、−（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ_１９、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ_２０、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＮＲ_２３（ＣＯ）Ｒ_１９、−ＮＲ_２３（ＣＯ）ＯＲ_２０、−ＯＲ_２０、−ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＳＲ_２３、−ＳＯＲ_１９、−ＳＯ_２Ｒ_１９及び／もしくはＯＳＯ_２Ｒ_１９で置換されている）であるか；又は
Ｒ_１は、Ｃ_１〜Ｃ_８ハロアルキル、Ｃ_２〜Ｃ_１２アルケニル、Ｃ_４〜Ｃ_３０シクロアルケニル、カンホリルであるか；或いは、

ｍ＝０の場合、Ｒ_１は、更に、ＣＮ、Ｃ_２〜Ｃ_６アルコキシカルボニル又はフェノキシカルボニル（ここで、Ｃ_２〜Ｃ_６アルコキシカルボニル及びフェノキシカルボニルは、場合により１個以上のＣ_１〜Ｃ_１８アルキル、Ｃ_１〜Ｃ_８ハロアルキル、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキル、１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ_２３−、−Ｏ（ＣＯ）−もしくはＮＲ_２３（ＣＯ）−により中断されているＣ_３〜Ｃ_３０シクロアルキルで置換されているか、又はハロゲン、−ＮＯ_２、−ＣＮ、−Ａｒ_１、−（ＣＯ）Ｒ_１９、−（ＣＯ）ＯＲ_２０、−（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ_１９、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ_２０、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＮＲ_２３（ＣＯ）Ｒ_１９、−ＮＲ_２３（ＣＯ）ＯＲ_２０、−ＯＲ_２０、−ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＳＲ_２３、−ＳＯＲ_１９、−ＳＯ_２Ｒ_１９及び／もしくはＯＳＯ_２Ｒ_１９で置換されている）である。

前記一般式（Ｃ−１）及び（Ｃ−２）において、ｎ＝２の場合、
Ｒ_１は、フェニレン、ナフチレン、下記式：

ジフェニレン、オキシジフェニレン、又は下記式：

であるか（ここで、これらの基は、非置換であるか、又は１個以上のＣ_１〜Ｃ_１８アルキル、Ｃ_１〜Ｃ_８ハロアルキル、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ_２、−ＣＮ、−Ａｒ_１、−（ＣＯ）Ｒ_１９、−（ＣＯ）ＯＲ_２０、−（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ_１９、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ_２０、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＮＲ_２３（ＣＯ）Ｒ_１９、−ＮＲ_２３（ＣＯ）ＯＲ_２０、−ＯＲ_２０、−ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＳＲ_２３、−ＳＯＲ_１９、−ＳＯ_２Ｒ_１９及び／もしくはＯＳＯ_２Ｒ_１９で置換されている）；又は

Ｒ_１は、単結合、下記式：

で表される基ある。
ここで、Ｒ_１は全て、水素及び単結合である場合を除いて、酸の作用で切断される−Ｏ−Ｃ−結合又は−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基により、更に置換されることができる。
Ａ_１は、単結合、Ｃ_１〜Ｃ_１８アルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ_２３−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ_２３（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ_２−又は−ＯＳＯ_２−である。
Ａ_２は、単結合、Ｃ_１〜Ｃ_１８アルキレンであるか、又は１個以上のＣ_３〜Ｃ_３０シクロアルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ_２３−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ_２３（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ_２−、−ＯＳＯ_２−もしくはＡｒ_２−により中断されているＣ_２〜Ｃ_１８アルキレン（場合により、Ｒ_１で表されるＣ_１〜Ｃ_１８アルキル又はシクロアルキレン等により中断されているＣ_２〜Ｃ_１８アルキルが置換されている場合の該置換基と同じ基で置換されている）であるか；又は
Ａ_２は、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキレン（場合により、Ｒ_１で表されるＣ_３〜Ｃ_３０シクロアルキルが置換されている場合の該置換基と同じ基で置換されている）であるか；又は
Ａ_２は、フェニレン、ナフチレン（ここで、これらの基は、場合により１個以上のＣ_１〜Ｃ_１８アルキル、Ｃ_１〜Ｃ_８ハロアルキル、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ_２、−ＣＮ、−Ａｒ_１、−（ＣＯ）Ｒ_１９、−（ＣＯ）ＯＲ_２０、−（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ_１９、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ_２０、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＮＲ_２３（ＣＯ）Ｒ_１９、−ＮＲ_２３（ＣＯ）ＯＲ_２０、−ＯＲ_２０、−ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＳＲ_２３、−ＳＯＲ_１９、−ＳＯ_２Ｒ_１９及び／もしくはＯＳＯ_２Ｒ_１９で置換されている）である。

Ｒ_２は、Ｒ_１の意味のうちの１つを有するか、又はＣ_２〜Ｃ_１８アルカノイルであるか、非置換又は１個以上のＣ_１〜Ｃ_１８アルキル、Ｃ_１〜Ｃ_８ハロアルキル、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ_２、−ＣＮ、−Ａｒ_１、−（ＣＯ）Ｒ_１９、−（ＣＯ）ＯＲ_２０、−（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ_１９、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ_２０、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＮＲ_２３（ＣＯ）Ｒ_１９、−ＮＲ_２３（ＣＯ）ＯＲ_２０、−ＯＲ_２０、−ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＳＲ_２３、−ＳＯＲ_１９、−ＳＯ_２Ｒ_１９及び／もしくはＯＳＯ_２Ｒ_１９で置換されているベンゾイルであるか；又は
Ｒ_２は、ＮＯ_２であるか、又はＲ_２は、Ｓ（Ｏ）_ｐＣ_１〜Ｃ_１８アルキル、Ｓ（Ｏ）_ｐ−Ｃ_６〜Ｃ_１２アリール、ＳＯ_２Ｏ−Ｃ_１〜Ｃ_１８アルキル、ＳＯ_２Ｏ−Ｃ_６〜Ｃ_１０アリール、ジフェニル−ホスフィノイル（これらは全て、場合により、Ｒ_１で表されるＣ_２〜Ｃ_６アルコキシカルボニル又はフェノキシカルボニルが置換されている場合の該置換基と同じ基で置換されている）であるか；或いは

Ｒ_１及びＲ_２は、一緒になって、５員、６員もしくは７員環（これは、非置換であるか、又はＲ_１で表されるＣ_２〜Ｃ_６アルコキシカルボニル又はフェノキシカルボニルが置換されている場合の該置換基と同じ基で置換されており、前記５員、６員もしくは７員環は、Ｃ_１〜Ｃ_１８アルキレン、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキレン、Ｃ_１〜Ｃ_８ハロアルキレン、Ｃ_２〜Ｃ_１２アルケニレン、Ｃ_４〜Ｃ_３０シクロアルケニレン、フェニレン、ナフタレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ_２３−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−、−ＮＲ_２３（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ_２−又は−ＯＳＯ_２−で更に中断されていてもよく、前記５員、６員もしくは７員環には、場合により１個以上のベンゾ基が縮合している）を形成し；
ｐは、１又は２である。

Ｘは、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリール（これらは全て、場合によりＲ_１で表されるＣ_２〜Ｃ_６アルコキシカルボニル又はフェノキシカルボニルが置換されている場合の該置換基と同じ基で置換されており、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ_１９、−（ＣＯ）ＯＲ_２０、−（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ_１９、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ_２０、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＮＲ_２３（ＣＯ）Ｒ_１９、−ＮＲ_２３（ＣＯ）ＯＲ_２０、−ＯＲ_２０、−ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＳＲ_２３、−ＳＯＲ_１９、−ＳＯ_２Ｒ_１９及び／又は−ＯＳＯ_２Ｒ_１９は、基Ｒ_１９、Ｒ_２０、Ｒ_２１、Ｒ_２２及び／もしくはＲ_２３を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリルもしくはヘテロアリール環の更なる置換基とか、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリルもしくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員、６員もしくは７員環を形成する）であるか；又は
Ｘは、Ｃ_１〜Ｃ_１８アルキルであるか、又は１個以上のＣ_３〜Ｃ_３０シクロアルキレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ_２３−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＮＲ_２３（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ_２−もしくはＯＳＯ_２−により中断されているＣ_２〜Ｃ_１８アルキル（場合によりＲ_１で表されるＣ_１〜Ｃ_１８アルキル又はシクロアルキレン等により中断されているＣ_２〜Ｃ_１８アルキルが置換されている場合の該置換基と同じ基で置換されている）であるか；又は
Ｘは、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキル（場合により、Ｒ_１で表されるＣ_３〜Ｃ_３０シクロアルキルが置換されている場合の該置換基と同じ基で置換されている）であるか；又は
Ｘは、Ｃ_１〜Ｃ_８ハロアルキル、Ｃ_２〜Ｃ_１２アルケニル、Ｃ_４〜Ｃ_３０シクロアルケニル、カンホリルである；

Ｒ_３は、Ｒ_１で示された意味のうちの１つを有するか、又は
Ｒ_３は、Ｃ_２〜Ｃ_１８アルカノイルであるか、場合により１個以上のＣ_１〜Ｃ_１８アルキル、Ｃ_１〜Ｃ_８ハロアルキル、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ_２、−ＣＮ、−Ａｒ_１、−（ＣＯ）Ｒ_１９、−（ＣＯ）ＯＲ_２０、−（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ_１９、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ_２０、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＮＲ_２３（ＣＯ）Ｒ_１９、−ＮＲ_２３（ＣＯ）ＯＲ_２０、−ＯＲ_２０、−ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＳＲ_２３、−ＳＯＲ_１９、−ＳＯ_２Ｒ_１９及び／もしくはＯＳＯ_２Ｒ_１９で置換されているベンゾイルであるか；又は
Ｒ_３は、ＮＯ_２であるか、又は
Ｒ_３は、Ｓ（Ｏ）_ｐＣ_１〜Ｃ_１８アルキル、Ｓ（Ｏ）_ｐ−Ｃ_６〜Ｃ_１２アリール、ＳＯ_２Ｏ−Ｃ_１〜Ｃ_１８アルキル、ＳＯ_２Ｏ−Ｃ_６〜Ｃ_１０アリール、ジフェニル−ホスフィノイル（これらは全て、場合によりＲ_１で表されるＣ_２〜Ｃ_６アルコキシカルボニル又はフェノキシカルボニルが置換されている場合の該置換基と同じ基で置換されている）であり；

Ｒ_４は、Ｒ_２で示された意味のうちの１つを有するか、又は
Ｒ_３及びＲ_４は、一緒になって、５員、６員もしくは７員環（これは、場合によりＲ_１で表されるＣ_２〜Ｃ_６アルコキシカルボニル又はフェノキシカルボニルが置換されている場合の該置換基と同じ基で置換されており、前記５員、６員もしくは７員環は、場合によりＣ_１〜Ｃ_１８アルキレン、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキレン、Ｃ_１〜Ｃ_８ハロアルキレン、Ｃ_２〜Ｃ_１２アルケニレン、Ｃ_４〜Ｃ_３０シクロアルケニレン、フェニレン、ナフタレン、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ_２３−、−（ＣＯ）−、−Ｏ（ＣＯ）−、−ＮＲ_２３（ＣＯ）−、−Ｓ（ＣＯ）−、−ＳＯ−、−ＳＯ_２−又は−ＯＳＯ_２−で更に中断されており、場合により１個以上のベンゾ基が、前記５員、６員もしくは７員環に縮合している）を形成する。

Ｒ_５及びＲ_６は、互いに独立して、水素、Ｃ_１〜Ｃ_１８アルキル、Ｃ_１〜Ｃ_８ハロアルキル、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキル、１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ_２３−、−Ｏ（ＣＯ）−もしくはＮＲ_２３（ＣＯ）−で中断されているＣ_３〜Ｃ_３０シクロアルキルであるか、
又はＲ_５及びＲ_６は、ハロゲン、−ＮＯ_２、−ＣＮ、−Ａｒ_１、−（ＣＯ）Ｒ_１９、−（ＣＯ）ＯＲ_２０、−（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ_１９、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ_２０、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＮＲ_２３（ＣＯ）Ｒ_１９、−ＮＲ_２３（ＣＯ）ＯＲ_２０、−ＯＲ_２０、−ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＳＲ_２３、−ＳＯＲ_１９、−ＳＯ_２Ｒ_１９及び／もしくはＯＳＯ_２Ｒ_１９であるか；又は
Ｒ_５及びＲ_６は、一緒になって、−Ｃ（Ｒ_３０）＝Ｃ（Ｒ_３１）−Ｃ（Ｒ_３２）＝Ｃ（Ｒ_３３）−もしくは（ＣＯ）ＮＲ_２３（ＣＯ）−であり；

Ｇは、−Ｓ−、−Ｏ−、−ＮＲ_２３−、又は下記式Ｚ_１、Ｚ_２、Ｚ_３もしくはＺ_４：

で表される基であり；

Ｒ_１９は、水素原子、フェニル、ナフチル、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキル、Ｃ_１〜Ｃ_１８アルキル、Ｃ_１〜Ｃ_８ハロアルキル、Ｃ_２〜Ｃ_１２アルケニル、Ｃ_４〜Ｃ_３０シクロアルケニル、１個以上の−Ｏ−で中断されているＣ_２〜Ｃ_１８アルキル、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ_２３−、−Ｏ（ＣＯ）−もしくはＮＲ_２３（ＣＯ）−で中断されているＣ_３〜Ｃ_３０シクロアルキルを表す（これらは全て、場合により１個以上のＡｒ_１、ＯＨ、Ｃ_１〜Ｃ_１８アルキル、Ｃ_１〜Ｃ_８ハロアルキル、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ_２、−ＣＮ、Ｃ_１〜Ｃ_１２アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、−ＮＲ_２１Ｒ_２２、Ｃ_１〜Ｃ_１２アルキルチオ、Ｃ_２〜Ｃ_１２アルコキシカルボニル、Ｃ_２〜Ｃ_８ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ_１〜Ｃ_１２アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ_１〜Ｃ_１２アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ、Ｃ_２〜Ｃ_１２アルカノイル、Ｃ_２〜Ｃ_１２アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び／もしくはベンゾイルオキシで置換されている）。

Ｒ_２０は、水素、フェニル、ナフチル、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキル、Ｃ_１〜Ｃ_１８アルキル、Ｃ_１〜Ｃ_８ハロアルキル、Ｃ_２〜Ｃ_１２アルケニル、Ｃ_４〜Ｃ_３０シクロアルケニル、１個以上の−Ｏ−で中断されているＣ_２〜Ｃ_１８アルキル、１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ_２３−、−Ｏ（ＣＯ）−もしくはＮＲ_２３（ＣＯ）−で中断されているＣ_３〜Ｃ_３０シクロアルキル、Ｃ_２〜Ｃ_１８アルカノイル、ベンゾイル、Ｃ_１〜Ｃ_１８アルキルスルホニルを表す（これらは全て、場合によりＲ_１９が置換されている場合の該置換基と同じ基で置換されている）、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルを表す。

Ｒ_２１、Ｒ_２２及びＲ_２３は、互いに独立して、水素、フェニル、ナフチル、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキル、Ｃ_１〜Ｃ_１８アルキル、Ｃ_１〜Ｃ_８ハロアルキル、Ｃ_２〜Ｃ_１２アルケニル、Ｃ_４〜Ｃ_３０シクロアルケニルであるか、又は１個以上の−Ｏ−で中断されているＣ_２〜Ｃ_１８アルキルであるか、又は１個以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ_２３−、−Ｏ（ＣＯ）−もしくはＮＲ_２３（ＣＯ）−で中断されているＣ_３〜Ｃ_３０シクロアルキルであるか；又はＣ_２〜Ｃ_１８アルカノイル、ベンゾイルもしくはＣ_１〜Ｃ_１８アルキルスルホニルであるか（これらは全て、場合によりＲ_１９が置換されている場合の該置換基と同じ基で置換されている）；又は
Ｒ_２１、Ｒ_２２及びＲ_２３は、互いに独立して、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、ナフチルスルホニル、アントラシルスルホニル又はフェナントリルスルホニルであるか；或いは
Ｒ_２１及びＲ_２２は、それらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により−Ｏ−又は−ＮＲ_２３−により中断されている５員、６員もしくは７員環を形成する。

Ｒ_３０、Ｒ_３１、Ｒ_３２及びＲ_３３は、互いに独立して、水素、ハロゲン、Ｃ_１〜Ｃ_１８アルキル、Ｃ_１〜Ｃ_１８アルコキシ、Ｃ_１〜Ｃ_８ハロアルキル、ＣＮ、ＮＯ_２、Ｃ_２〜Ｃ_１８アルカノイル、ベンゾイル、フェニル、−Ｓ−フェニル、ＯＲ_２０、ＳＲ_２３、ＮＲ_２１Ｒ_２２、Ｃ_２〜Ｃ_６アルコキシカルボニル、フェノキシカルボニル、Ｓ（Ｏ）_ｐＣ_１〜Ｃ_１８アルキル、非置換もしくはＣ_１〜Ｃ_１８アルキル置換Ｓ（Ｏ）_ｐ−Ｃ_６〜Ｃ_１２アリール、ＳＯ_２Ｏ−Ｃ_１〜Ｃ_１８アルキル、ＳＯ_２Ｏ−Ｃ_６〜Ｃ_１０アリール又はＮＨＣＯＮＨ_２であり；
Ｒ_３４及びＲ_３５は、互いに独立して、Ｒ_５で示された意味のうちの１つを有するか；又は、Ｒ_３４及びＲ_３５は、一緒になって、−ＣＯ−ＮＲ_２３ＣＯ−であるか；又は、Ｒ_３４及びＲ_３５は、一緒になって、−Ｃ（Ｒ_３０）＝Ｃ（Ｒ_３１）−Ｃ（Ｒ_３２）＝Ｃ（Ｒ_３３）−であり；

Ａｒ_１は、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリール（これらは全て、場合により、Ｒ_１で表されるＣ_２〜Ｃ_６アルコキシカルボニル又はフェノキシカルボニルが置換されている場合の該置換基と同じ基（−Ａｒ_１を除く）又は−フェニルで置換されており、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ_１９、−（ＣＯ）ＯＲ_２０、−（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ_１９、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ_２０、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＮＲ_２３（ＣＯ）Ｒ_１９、−ＮＲ_２３（ＣＯ）ＯＲ_２０、−ＯＲ_２０、−ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＳＲ_２３、−ＳＯＲ_１９、−ＳＯ２Ｒ_１９及び／又は−ＯＳＯ_２Ｒ_１９は、基Ｒ_１９、Ｒ_２０、Ｒ_２１、Ｒ_２２及び／もしくはＲ_２３を介して、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリルもしくはヘテロアリール環の更なる置換基とか、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリルもしくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの１個と、５員、６員もしくは７員環を形成する）であり；

Ａｒ_２は、フェニレン、ナフチレン、下記式：

ジフェニレン、オキシジフェニレン又は下記式：

（ここで、これらの基は、場合により１個以上のＣ_１〜Ｃ_１８アルキル、Ｃ_１〜Ｃ_８ハロアルキル、Ｃ_３〜Ｃ_３０シクロアルキル、ハロゲン、−ＮＯ_２、−ＣＮ、−Ａｒ_１、−（ＣＯ）Ｒ_１９、−（ＣＯ）ＯＲ_２０、−（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ_１９、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ_２０、−Ｏ（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＮＲ_２３（ＣＯ）Ｒ_１９、−ＮＲ_２３（ＣＯ）ＯＲ_２０、−ＯＲ_２０、−ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＳＲ_２３、−ＳＯＲ_１９、−ＳＯ_２Ｒ_１９及び／又は−ＯＳＯ_２Ｒ_１９で置換されており、場合により置換基−（ＣＯ）Ｒ_１９、−（ＣＯ）ＯＲ_２０、−（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−Ｏ（ＣＯ）Ｒ_１９、−Ｏ（ＣＯ）ＯＲ_２０、−（ＣＯ）ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＮＲ_２３（ＣＯ）Ｒ_１９、−ＮＲ_２３（ＣＯ）ＯＲ_２０、−ＯＲ_２０、−ＮＲ_２１Ｒ_２２、−ＳＲ_２３、−ＳＯＲ_１９、−ＳＯ_２Ｒ_１９及び／又は−ＯＳＯ_２Ｒ_１９は、基Ｒ_１９、Ｒ_２０、Ｒ_２１、Ｒ_２２及び／もしくはＲ_２３を介して、これらの基の更なる置換基とか、又はこれらの基の炭素原子のうちの１個と、５員、６員もしくは７員環を形成する）であり；

Ｑ_１は、−ＣＲ_３５−又は−Ｎ−であり；
Ｑ_２は、−ＣＨ_２−、−Ｓ−、−Ｏ−又は−ＮＲ_２３−である。〕

前記一般式（Ｃ−１）又は（Ｃ−２）で表されるオキシムスルホネート系の光酸発生剤は、例えば、特許第３８７５２７１号公報、特許第３９７５４１１号公報、特表２００４−５１０１８９号公報、特表２００５−５０４０１３号公報、特表２００５−５１７０２６号公報、特表２００６−５１７９５０号公報等にて既知の化合物であり、これら文献に記載の方法で合成することが可能である。

前記一般式（Ｃ−１）又は（Ｃ−２）で表されるオキシムスルホネート系の光酸発生剤として、特に好ましい化合物を以下に示す。

前記式中、ＲはＣ１〜Ｃ１２アルキル、Ｃ１〜Ｃ８フルオロアルキル、カンホニル、フェニル、トリル、ニトロフェニル、クロロフェニル、トリフルオロメチルフェニル、アルコキシフェニル、２，４，６−トリメチルフェニル、ペンタフルオロフェニル基を表す。なお、「Ｃ」は炭素を表し、「Ｃ１」は炭素数１を表す。

本発明の着色硬化性組成物に用いることができる酸発生剤としては、上述のオキシムスルホネート系の化合物以外に、下記一般式（ＺＩ）で表されるスルホニウム塩、下記一般式（ＺII）で表されるヨードニウム塩、更に下記一般式（ＺIII）で表されるジアゾジスルホン化合物を用いることもできる。

前記一般式（ＺＩ）において、Ｒ_２０１、Ｒ_２０２及びＲ_２０３は、各々独立に、有機基を表す。Ｒ_２０１、Ｒ_２０２及びＲ_２０３としての有機基の炭素数は、一般的に１〜３０、好ましくは１〜２０である。また、Ｒ_２０１〜Ｒ_２０３のうち２つが結合して環構造を形成してもよく、環内に酸素原子、硫黄原子、エステル結合、アミド結合、カルボニル基を含んでいてもよい。Ｒ_２０１〜Ｒ_２０３の内の２つが結合して形成する基としては、アルキレン基（例えば、ブチレン基、ペンチレン基）を挙げることができる。
また、Ｚ⁻は、スルホン酸アニオンを表す。Ｚ⁻で表されるスルホン酸アニオンとしては、例えば、脂肪族スルホン酸アニオン、芳香族スルホン酸アニオン、カンファースルホン酸アニオンなどが挙げられる。

前記一般式（ＺII）、（ＺIII）において、Ｒ_２０４〜Ｒ_２０７は、各々独立に、アリール基、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。Ｒ_２０４〜Ｒ_２０７で表されるアリール基としては、フェニル基、ナフチル基が好ましく、更に好ましくはフェニル基である。
Ｒ_２０４〜Ｒ_２０７で表されるアルキル基及びシクロアルキル基としては、好ましくは、炭素数１〜１０の直鎖又は分岐アルキル基（例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基）、炭素数３〜１０のシクロアルキル基（シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ノルボニル基）を挙げることができる。Ｒ_２０４〜Ｒ_２０７で表されるアリール基、アルキル基、シクロアルキル基は、置換基を有していてもよい。
また、Ｚ⁻は、スルホン酸アニオンを表し、前記一般式（ＺＩ）におけるＺ⁻の非求核性アニオンと同様のものを挙げることができる。

前記一般式（ＺＩ）〜（ＺIII）で表される光酸発生剤として好ましく用いられる化合物を以下に示す。

本発明の着色硬化性組成物に用いることができる光酸発生剤としては、上述の化合物以外にもトリアジン系化合物、アセトフェノン誘導体化合物、オルトニトロベンジルスルホネート化合物、トリアリールホスホニウム塩、鉄アレーン錯体といった既知の光酸発生剤を用いることも可能である。

（Ｃ）光酸発生剤は、上述のような化合物を１種単独で或いは２種以上を組み合わせて含有することができる。
着色硬化性組成物の全固形分中における（Ｃ）光酸発生剤の含有量（２種以上の場合は総含有量）は、本発明の効果をより効果的に得る観点から、１質量％〜２０質量％が好ましく、２質量％〜１２質量％がより好ましく、４質量％〜１０質量％が特に好ましい。

以下、本発明の着色硬化性組成物に更に含有され得る成分について説明する。
＜バインダー＞
着色硬化性組成物は、バインダーの少なくとも一種を含有することが好ましい。前記バインダーとしては、アルカリ可溶性であれば特には限定されないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
アルカリ可溶性のバインダーとしては、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶性で弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、特開２００８−２９２９７０号公報の段落番号［０２２７］〜［０２３４］に記載の重合体が挙げられる。

＜溶剤＞
本発明の着色硬化性組成物を調製する際には、一般に溶剤を含有することができる。
溶剤は、該組成物の各成分の溶解性や感光性着色硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的に特には限定されないが、特にバインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。

前記溶剤の例としては、特開２００８−２９２９７０号公報の段落番号［０２７２］に記載の溶剤が挙げられる。中でも、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等がより好ましい。

＜各種添加物＞
本発明の着色硬化性組成物には、必要に応じて各種添加物、例えば充填剤、上記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかできる。これらの例としては、特開２００８−２９２９７０号公報の［０２７４］〜［０２７６］に記載の添加物を挙げることができる。

〜着色硬化性組成物の調製方法〜
本発明の着色硬化性組成物の調製に際しては、組成物の上述の各成分を一括配合してもよいし、各成分を溶剤に溶解した後に逐次配合してもよい。また、配合する際の投入順序や作業条件は特に制約を受けない。全成分を同時に溶剤に溶解して組成物を調製してもよいし、必要に応じては各成分を適宜２つ以上の溶液としておいて、使用時（塗布時）にこれらの溶液を混合して組成物として調製してもよい。
上記のようにして調製された組成物は、好ましくは孔径０．０１〜３．０μｍ，より好ましくは孔径０．０５〜０．５μｍ程度のミリポアフィルタなどを用いて濾別した後、使用に供することもできる。

本発明の着色硬化性組成物は、液晶表示素子（ＬＣＤ）や固体撮像素子（例えば、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等）に用いられるカラーフィルタなどの着色画素形成用として好適に用いることができる。特に、ＣＣＤ、及びＣＭＯＳ等の固体撮像素子用の着色画素形成用として好適に用いることができる。

本発明の着色硬化性組成物は、着色パターンが微少サイズで薄膜に形成され、しかも良好な矩形の断面プロファイルが要求される固体撮像素子用のカラーフィルタの形成に特に好適である。
具体的には、カラーフィルタを構成する画素パターンサイズ（基板法線方向からみた画素パターンの辺長）が２μｍ以下である場合（例えば０．５〜２．０μｍ）は、着色剤量が増大したり、更には色相が青色系であること等により、線幅感度が悪くなり、ＤＯＦマージンが狭くなる結果、パターン形成性が損なわれやすい。これは、特に画素パターンサイズが１．０〜１．７μｍ（更に１．２〜１．５μｍ）の場合に顕著になる。また、厚み１μｍ以下の薄膜である場合、着色剤を除くフォトリソ性に寄与する成分の膜中の量が相対的に減少し、着色剤量の増大で他成分の量は更に減少して、低感度化し、低露光量領域ではパターンが剥離しやすくなる。この場合、ポストベーク等の熱処理を施した際に熱ダレを起こし易い。これらは、特に膜厚が０．００５μｍ〜０．９μｍ（更に０．１μｍ〜０．７μｍ）の場合に顕著である。
一方、本発明の着色硬化性組成物を用いれば、上記のような２μｍ以下の画素パターンサイズでも、パターン形成に優れ、良好な断面プロファイルを有するカラーフィルタを作製することができる。

−カラーフィルタ及びその製造方法−
本発明のカラーフィルタは、既述の本発明の着色硬化性組成物を用いて作製したものであり、本発明の着色硬化性組成物を用いること以外には制限はなく、例えば、特開２００８−２９２９７０号公報の段落番号［０２７７］〜［０２８４］に記載の方法によりカラーフィルタ（着色層）を作製することができる。本発明のカラーフィルタは、好ましくは後述する本発明のカラーフィルタの製造方法により作製される。

本発明のカラーフィルタの製造方法は、既述の本発明の着色硬化性組成物を支持体上に塗布して塗布層を形成する塗布層形成工程と、前記支持体上に形成された塗布層をマスクを介して露光した後、現像してパターン像を形成するパターン形成工程と、を設けて構成されたものである。

＜塗布層形成工程＞
前記塗布層形成工程では、本発明の着色硬化性組成物を支持体上に塗布して塗布層を形成する。例えば、着色硬化性組成物を支持体上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して感光ないし感放射線性の塗布層を形成する。

支持体としては、例えば、液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。

＜パターン形成工程＞
前記パターン形成工程では、支持体上に形成された塗布層をマスクを介して露光する露光工程を施した後、露光後の塗布層を現像する現像工程を施し、所望のパターン像を形成する。前記塗布層形成工程で形成された塗布層に対して所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像することでネガ型の着色パターンが形成される。露光の際に用いられる光もしくは放射線としては、特にｇ線、ｈ線、ｉ線等の紫外線が好ましい。

露光は、プロキシミティ方式、ミラープロジェクション方式、及びステッパー方式のいずれの方式で露光を行なってもよいが、特にステッパー方式（縮小投影露光機を用いた縮小投影露光方式）で露光を行なうのが好ましい。ステッパー方式は、露光量を段階的に変動しながら露光を行なうことによってパターンを形成するものであり、ステッパー露光を行なった際に特にパターンの矩形性を良好にすることができる。
また、ステッパー露光に用いる露光装置としては、例えば、ｉ線ステッパー（商品名：ＦＰＡ−３０００ｉ５＋、キャノン（株）製）等を用いることができる。

前記現像液としては、本発明の着色硬化性組成物（未硬化部）を溶解する一方、照射された硬化部を溶解しない組成よりなるものであればいかなるものも用いることができる。具体的には、種々の有機溶剤の組み合わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。前記有機溶剤としては、本発明の着色硬化性組成物を調製する際に使用される前述の有機溶剤が挙げられる。アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム，硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−〔５．４．０〕−７−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜１質量％となるように溶解してなるアルカリ性水溶液が好適である。
なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合は、一般に、現像後水で洗浄する。

このようにして、カラーフィルタを作製することができる。
カラーフィルタの作製に際しては、必要に応じて、露光後に後加熱する工程が設けられてもよい。
本発明の着色硬化性組成物を用いてパターン形成を行なう際は、露光後現像前にホットプレートやオーブンを用いて後加熱する工程を設けた態様が好ましい（露光後に加熱（Post Exposure Bake）する工程＝ＰＥＢ工程）。ＰＥＢ工程において、露光領域で発生した酸を触媒として（Ｂ）酸架橋剤の架橋反応が進行し、露光領域が硬化する。ＰＥＢ工程の温度と時間は、露光部における（Ｂ）酸架橋剤の架橋反応を進行させるに充分なものであれば特に限定されないが、通常は７０℃〜１８０℃で０．５分間〜１５分間程度であることが好ましい。

また、本発明においては、着色硬化性組成物を用いて塗布工程、露光工程、ＰＥＢ工程及び現像工程を経て形成したパターンに対して、更に、後硬化工程として、後加熱及び／又は後露光によりパターンの硬化を実施することが好ましい。後硬化工程として行なう前記後露光は、現像後のパターンに所定量の紫外線を照射する紫外線照射工程を設けることが好ましい。

後硬化工程としての後加熱は、例えば、ホットプレート、各種ヒーター、オーブンなどのパターンの加熱が行なえる方法により行なうことができる。加熱温度としては、硬化を効率よく行なう点で、１６０〜２６０℃が好ましく、１８０〜２２０℃がより好ましい。加熱処理の時間は、加熱温度で異なるが、一般に３〜１０分間行なうことが好ましい。中でも、１６０〜２２０℃の温度で３〜１０分間行なうのがより好ましい。
特に紫外線照射工程で紫外線照射した後のパターンに加熱処理する態様が好ましい。

＜紫外線照射工程＞
紫外線照射工程は、前記パターン形成工程で現像処理を行なった後のパターンに、現像前の露光処理における露光量［ｍＪ／ｃｍ^２］の１０倍以上の照射光量［ｍＪ／ｃｍ^２］の紫外光（ＵＶ光）を照射する。パターン形成工程での現像処理と後述の加熱処理との間に、現像後のパターンにＵＶ光を所定時間、照射することにより、後に加熱された際に色移りするのを効果的に防止できる。

ＵＶ光を照射する光源としては、例えば、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、低圧水銀灯、ＤＥＥＰ ＵＶランプなどを用いることができる。中でも、照射される紫外光中に２７５ｎｍ以下の波長光を含み、かつ２７５ｎｍ以下の波長光の照射照度［ｍＷ／ｃｍ^２］が紫外光中の全波長光の積分照射照度に対して５％以上である光を照射できるものが好ましい。紫外光中の２７５ｎｍ以下の波長光の照射照度を５％以上とすることで、着色画素間や上下層への色移りの抑制効果及び耐光性の向上効果をより効果的に高めることができる。この点から、前記パターン形成工程での露光に用いられるｉ線等の輝線などの光源と異なる光源、具体的には高圧水銀灯、低圧水銀灯などを用いて行なうことが好ましい。中でも、前記同様の理由から、紫外光中の全波長光の積分照射照度に対して７％以上が好ましい。また、２７５ｎｍ以下の波長光の照射照度の上限は、２５％以下が望ましい。

なお、積分照射照度とは、分光波長ごとの照度（単位面積を単位時間に通過する放射エネルギー；［ｍＷ／ｍ^２］）を縦軸とし、光の波長［ｎｍ］を横軸とした曲線を引いた場合に照射光に含まれる各波長光の照度の和（面積）をいう。

ＵＶ光の照射は、前記パターン形成工程での露光時の露光量の１０倍以上の照射光量［ｍＪ／ｃｍ^２］として行なうことが好ましい。本工程での照射光量が１０倍以上であると、着色画素間や上下層間における色移りが防止される。中でも、ＵＶ光の照射光量は、パターン形成工程での露光時の露光量の１２倍以上２００倍以下が好ましく、１５倍以上１００倍以下がより好ましい。

この場合、照射される紫外光における積分照射照度が２００ｍＷ／ｃｍ^２以上であることが好ましい。積分照射照度が２００ｍＷ／ｃｍ^２以上であると、着色画素間や上下層への色移りの抑制効果及び耐光性の向上効果をより効果的に高めることができる。中でも、２５０〜２０００ｍＷ／ｃｍ^２が好ましく、３００〜１０００ｍＷ／ｃｍ^２がより好ましい。後加熱は、ホットプレートやオーブンを用いて、１００℃〜３００℃で実施することが好ましく、更に好ましくは、１５０℃〜２５０℃である。後加熱時間は、３０秒〜３００００秒が好ましく、更に好ましくは、６０秒〜１０００秒である。

後露光は、ｇ線、ｈ線、ｉ線、ＫｒＦ、ＡｒＦ、ＵＶ光、電子線、Ｘ線等により行なうことができるが、ｇ線、ｈ線、ｉ線、ＵＶ光が好ましく、特に、ＵＶ光が好ましい。ＵＶ光を照射（ＵＶキュア）を行う際は、２０℃以上５０℃以下（好ましくは２５℃以上４０℃以下）の低温で行うことが好ましい。ＵＶ光の波長は、２００〜３００ｎｍの範囲の波長を含んでいることが好適であり、光源としては、例えば、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ等を使用することができる。照射時間としては、１０〜１８０秒、好ましくは２０〜１２０秒、更に好ましくは３０〜６０秒である。

後露光と後加熱は、いずれを先に行なってもよいが、後加熱に先立って、後露光を実施することが好ましい。後露光で硬化を促進させることにより、後加熱過程で見られるパターンの熱ダレやすそ引きによる形状の変形を抑止するためである。

このようにして得られた着色パターンがカラーフィルタにおける画素を構成することになる。複数の色相の画素を有するカラーフィルタの作製においては、前記パターン形成工程（及び必要に応じて硬化工程）を所望の色数に合わせて繰り返すことにより、所望数の色相に構成されたカラーフィルタを作製することができる。

本発明のカラーフィルタは、さらに透明導電膜として、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）層を有していてもよい。ＩＴＯ層の形成方法としては、例えば、インライン低温スパッタ法や、インライン高温スパッタ法、バッチ式低温スパッタ法、バッチ式高温スパッタ法、真空蒸着法、及びプラズマＣＶＤ法などが挙げられ、特にカラーフィルタに対するダメージを少なくするため、低温スパッタ法が好ましく用いられる。

〜カラーフィルタの用途〜
本発明のカラーフィルタは、例えば、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、液晶プロジェクタ、ゲーム機、携帯電話などの携帯端末、デジタルカメラ、カーナビなどの画像表示、特にカラー画像表示の用途に特に制限なく好適に適用できる。また、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、内視鏡、携帯電話などに使用されるＣＣＤイメージセンサー，ＣＭＯＳイメージセンサーなどの固体撮像素子用のカラーフィルタとして好適に用いることができる。特に１００万画素を超えるような高解像度のＣＣＤ素子やＣＭＯＳ素子等に好適である。固体撮像素子の構成としては、本発明のカラーフィルタを備え、固体撮像素子として機能する構成であれば限定はなく、例えば、次の構成が挙げられる。
すなわち、支持体上に、受光エリアを構成するフォトダイオード及びポリシリコン等からなる転送電極を有し、カラーフィルタ層を設け、次いでマイクロレンズを積層したような構成である。
本発明のカラーフィルタを備えるカメラシステムは、色材の光褪色性の観点から、カメラレンズやＩＲカット膜がダイクロコートされたカバーガラス、マイクロレンズ等を備えており、その材料の光学特性は、４００ｎｍ以下のＵＶ光の一部又は全部を吸収するものであることが望ましい。また、カメラシステムの構造としては、色剤の酸化褪色を抑止するため、カラーフィルタへの酸素透過性が低減されるような構造になっていることが好ましく、例えば、カメラシステムの一部又は全体が窒素ガスで封止されていることが好ましい。

−固体撮像素子その他−
本発明の固体撮像素子は、本発明のカラーフィルタを設けて構成されたものである。本発明の着色硬化性組成物を用いたカラーフィルタを備えるので、色再現性に優れる。また、本発明の液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、及び画像表示デバイスは、本発明のカラーフィルタを設けて構成されたものである。本発明の着色硬化性組成物を用いたカラーフィルタを備えるので、色再現性に優れている。

固体撮像素子の構成としては、本発明のカラーフィルタを備え、固体撮像素子として機能する構成であれば、特に限定はなく、例えば以下のような構成が挙げられる。
支持体上に、ＣＣＤイメージセンサー（固体撮像素子）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる転送電極を有し、前記フォトダイオード及び前記転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口したタングステン等からなる遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面及びフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、前記デバイス保護膜上に、本発明のカラーフィルタを有する構成である。
さらに、前記デバイス保護層上であってカラーフィルタの下（支持体に近い側）に集光手段（例えばマイクロレンズ等。以下同様。）を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。

以下、実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、試薬、割合、機器、操作等は本発明の範囲から逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、実施例において、特に断りのない限り、「部」は「質量部」を表す。

（実施例１）
−１．着色硬化性組成物の調製−
下記組成中の各成分を混合して溶解し、着色硬化性組成物を調製した。
<組成>
・シクロヘキサノン・・・８１．６１４部
・ベンジルメタクリレート７０ｍｏｌ％とメタクリル酸３０ｍｏｌ％の共重合体（分子量３０，０００）・・・４．５００部
・メラミン樹脂（酸架橋剤）・・・５．５３６部
（Poly(melamine-co-formaldehyde), methylated 84質量% 1-ブタノール溶液、Ａｌｄｒｉｃｈ社製）
・フッ素系界面活性剤（ＣＷ−１、ゼネカ製）１質量％シクロヘキサノン溶液・・・２．５００部
・下記光酸発生剤（Ａ）（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）・・・０．６００部
・染料（一般式（１）で表されるアゾ色素化合物の例示化合物４）・・・５．２５０部

−２．カラーフィルタの作製及び色抜けの評価−
上記１．で得られた着色硬化性組成物をガラス基板の上に、塗布膜の乾燥膜厚が０．６μｍになるように塗布した。そして、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行なった。その後、ガラス基板上の塗膜を露光装置によって３６５ｎｍの光で１０００ｍＪ／ｃｍ^２の露光量にて全面露光した。露光後の塗膜を１１０℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱（ＰＥＢ）した。続いて、ＰＥＢ後の塗膜を２００℃のホットプレートを用いて５分間加熱（ポストベーク）した。ポストベーク後の塗膜を室温まで自然冷却し、色抜け評価用のカラーフィルタを作製した。
作製した色抜け評価用のカラーフィルタ上にシクロヘキサノンを０．１ｍｌ滴下して５分間放置した。シクロヘキサノン滴下前後でのカラーフィルタの色度差（ΔＥ＊ａｂ）を測定し、シクロヘキサノンに対する色抜け耐性を評価する指標とした。なお、ΔＥ＊ａｂの値が小さいほど、色抜け耐性が良好であることを示す。評価結果を下記表１に示す。

（実施例２〜３９）
実施例１において、着色硬化性組成物の組成中の染料（例示化合物４）を下記表１に示す染料に、メラミン樹脂を下記表１に示す酸架橋剤に、光酸発生剤（Ａ）を下記表１に示す光酸発生剤にそれぞれ代え、更に各成分の配合量を下記表１に示す量に変更したこと以外は、実施例１と同様にして、着色硬化性組成物を調製した。また、得られた着色硬化性組成物について、実施例１と同様にして色抜け評価を行なった。評価結果をまとめて下記表１に示す。

下記表１中の化合物の詳細については下記の通りである。
・光酸発生剤Ｂ：前記構造の酸発生剤（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）
・エポキシ樹脂：下記構造の酸架橋剤（ＥＨＰＥ３１５０、ダイセル化学工業社製；２，２−ビス（ヒドロキシメチル）−１−ブタノールの１，２−エポキシ−４−（２−オキシラニル）シクロヘキサン付加物）
・フェノール系架橋剤：下記構造の酸架橋剤（ＴｒｉｓＰ−ＰＡ（本州化学工業社製）のヘキサメトキシメチル体

（比較例１）
実施例８において、光酸発生剤（Ａ）及びメラミン樹脂（酸架橋剤）を、下記光重合開始剤（Ａ）及び下記モノマー（Ａ）に代え、ラジカル重合反応によって膜硬化する組成系に変更したこと以外は、実施例８と同様にして、着色硬化性組成物を調製した。また、得られた着色硬化性組成物について、実施例１における色抜け評価の前記手順からＰＥＢ工程を抜いたこと以外は、実施例１と同様にして色抜け評価を行なった。評価結果を下記表１に示す。

・モノマー（Ａ）：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
・光重合開始剤（Ａ）：

（比較例２〜３）
実施例１において、染料（例示化合物４）を下記の比較用色素に代えたこと以外は、実施例１と同様にして、着色硬化性組成物を調製した。また、得られた着色硬化性組成物について、色移りの評価を行なうと共に、実施例１における色抜け評価の前記手順と同様にして色抜け評価を行なった。

・比較色素１：

・比較色素２：シー・アイ・アシッド・レッド ８７

前記表１から明らかなように、前記一般式（１）で表されるアゾ色素化合物（染料）と光酸発生剤及び酸架橋剤とを併用した実施例では、シクロヘキサノン（有機溶剤）に対する色抜け耐性、色移り耐性に優れていた。

（実施例４０）
６ｉｎｃｈシリコンウエハを２００℃のオーブン中で３０分間、加熱処理した。次いで、このシリコンウエハ上に、以下に示す組成中の各成分を混合し、溶解したレジスト液を乾燥膜厚１．０μｍとなるように塗布し、更に２２０℃のオーブン中で１時間乾燥させて下塗り層を形成した。このようにして、下塗り層付シリコンウエハを得た。

<レジスト液の組成>
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（PGMEA）・・・１９．２０部
・乳酸エチル・・・３６．６７部
・バインダー：メタクリル酸ベンジル／メタクリル酸／メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル共重合体（モル比＝６０／２０／２０）の４１質量％ＥＬ溶液・・・３０．５１部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート・・・１２．２０部
・ｐ−メトキシフェノール（重合禁止剤）・・・０．００６１部
・フッ素系界面活性剤・・・０．８３部
・ＴＡＺ−１０７（みどり化学社製；光重合開始剤）・・・０．５８６部

得られた下塗り層付シリコンウエハの下塗り層上に、実施例１〜３９で調製した着色硬化性組成物を各々の塗布膜の乾燥膜厚が０．６μｍになるようにそれぞれ塗布し、光硬化性の塗布膜（着色硬化性組成物層）を形成した。そして、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行なった。次いで、ｉ線ステッパー（ＦＰＡ−３０００ｉ５＋、Ｃａｎｏｎ（株）製の露光装置）を使用して、パターンが１．２μｍ四方のアイランドパターンマスクを通して、３６５ｎｍの波長光を１００ｍＪ／ｃｍ^２〜２５００ｍＪ／ｃｍ^２の露光量の範囲で１００ｍＪ／ｃｍ^２ずつ変化させて着色硬化性組成物層に照射した。その後、１１０℃のホットプレートを用いて１２０秒間、ＰＥＢ（Post Exposure Bake）を行なった。その後、塗膜を室温まで冷えるのを待ってから、着色硬化性組成物層が形成されている下塗り層付シリコンウエハをスピン・シャワー現像機（ＤＷ−３０型；（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、ＣＤ−２０００（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて２３℃で６０秒間、パドル現像を行なった。このようにして、シリコンウエハにマゼンタ色の着色パターンを形成した。

次いで、マゼンタ色の着色パターンが形成されたシリコンウエハを真空チャック方式で水平回転テーブルに固定し、回転装置によって該シリコンウエハを回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行なった後、スプレー乾燥した。その後、パターンが形成されたシリコンウエハ全体に、高圧水銀灯を用いて１０，０００［ｍＪ／ｃｍ^２］の照射量にて紫外線を照射した。照射後、２２０℃で３００秒間、ホットプレートでポストベーク処理し、シリコンウエハ上に着色パターンを形成した。なお、高圧水銀灯からの照射光に含まれる２７５ｎｍ以下の波長光は、１０％である。
以上のようにして、カラーフィルタを得た。

形成されたマゼンタ色の着色パターンは、露光量が２００〜６００ｍＪ／ｃｍ^２の範囲でいずれも、シリコンウエハの法線方向からみた形状は正方形であり、該法線方向と平行は平面で切断した断面は矩形状の良好なプロファイルを示した。このように、得られたカラーフィルタは、固体撮像素子用途に好適なものであった。

−色移りの評価−
上記のようにして作製したカラーフィルタの着色パターン形成面に、乾燥膜厚が１μｍとなるようにＣＴ−２０００Ｌ溶液（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製；下地透明剤）を塗布し、乾燥させて、マゼンタ色の着色パターンに隣接させて透明膜を形成した後、２００℃で５分間、加熱処理を行なった。加熱終了後、着色パターンに隣接する透明膜の吸光度をＭＣＰＤ−３０００（大塚電子（株）製）にて測定した。得られた透明膜の吸光度の値の、同様に加熱前に測定した着色パターンの吸光度に対する割合［％］を算出し、色移りを評価する指標とした。前述の色移り評価の指標が５％未満である場合は○、５％以上１０％未満の場合を△、１０％以上の場合を×として、色移りの評価結果をまとめて前記表１に示した。

Claims (11)

1. （Ａ）下記一般式（１）で表される化合物及びその互変異性体からなる群より選択される少なくとも１種と、（Ｂ）酸の作用によって架橋する架橋剤の少なくとも１種と、（Ｃ）光酸発生剤の少なくとも１種とを含有する着色硬化性組成物。
   
   
   〔一般式（１）中、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５及びＲ^１６は、各々独立に、水素原子又は１価の置換基を表す。Ｒ^１１とＲ^１２、Ｒ^１５とＲ^１６は、各々独立に、互いに結合して環を形成していてもよい。〕
2. 前記一般式（１）が下記一般式（２）であることを特徴とする請求項１に記載の着色硬化性組成物。
   
   
   〔一般式（２）中、Ｒ^２１、Ｒ^２２、Ｒ^２４、Ｒ^２５、Ｒ^２６、Ｒ^３１、Ｒ^３２、Ｒ^３４、Ｒ^３５及びＲ^３６は、各々独立に、水素原子又は１価の置換基を表し、Ｌ^１は２価の連結基を表す。Ｒ^２１とＲ^２２、Ｒ^２５とＲ^２６、Ｒ^３１とＲ^３２、Ｒ^３５とＲ^３６は、各々独立に、互いに結合して環を形成していてもよい。〕
3. 請求項１又は請求項２に記載の着色硬化性組成物を用いて作製されたカラーフィルタ。
4. 請求項１又は請求項２に記載の着色硬化性組成物を支持体上に塗布して塗布層を形成する塗布層形成工程と、
   前記支持体上に形成された塗布層をマスクを介して露光した後、現像してパターン像を形成するパターン形成工程と、
   を含むカラーフィルタの製造方法。
5. 更に、前記パターン形成工程で形成されたパターン像に紫外線を照射する紫外線照射工程を含むことを特徴とする請求項４に記載のカラーフィルタの製造方法。
6. 前記紫外線照射工程は、前記露光時の露光量［ｍＪ／ｃｍ^２］の１０倍以上の照射光量［ｍＪ／ｃｍ^２］の紫外光（ＵＶ光）を照射することを特徴とする請求項５に記載のカラーフィルタの製造方法。
7. 前記紫外線照射工程は、２７５ｎｍ以下の波長光を含み、かつ２７５ｎｍ以下の波長光の照射照度［ｍＷ／ｃｍ^２］が紫外光中の全波長光の積分照射照度に対して５％以上である光を照射することを特徴とする請求項５又は請求項６に記載のカラーフィルタの製造方法。
8. 請求項３に記載のカラーフィルタを備えた固体撮像素子。
9. 請求項３に記載のカラーフィルタを備えた液晶ディスプレイ。
10. 請求項３に記載のカラーフィルタを備えた有機ＥＬディスプレイ。
11. 請求項３に記載のカラーフィルタを備えた画像表示デバイス。