JP5329737B2 - 多層パッケージ、多層セラミックパッケージ、及び多層パッケージにおいて高周波マッチングを実現する方法 - Google Patents
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- 多層パッケージであって、
積層された複数の層と、
前記複数の層のうち少なくとも1つの層に設けられた接地平面部であって、前記複数の層のうち前記接地平面部が設けられた1つの層または複数の層のそれぞれについては、上面または下面の一方の面に1つの前記接地平面部が設けられている、接地平面部と、
最上の層の上面に設置されたコプレーナ導波路と、
最下の層の下面に設置されたボールグリッドアレイと、
前記コプレーナ導波路と前記ボールグリッドアレイとの間に設けられ、前記複数の層を上下に貫通する信号ビアと、
前記接地平面部が剥離されて形成され、前記信号ビアが貫通する中心剥離部であって、当該中心剥離部の周囲が前記信号ビアとは接触しない中心剥離部と、
前記中心剥離部の周囲に所定間隔で配置された複数のスタブ形成用剥離部であって、各スタブ形成用剥離部は、前記接地平面部が剥離された領域として前記中心剥離部につながっており、各スタブ形成用剥離部は、前記中心剥離部から離れる方向に向かって放射状に開いた形状を有し、前記中心剥離部から所定の距離の位置で終端する、複数のスタブ形成用剥離部と、
隣接する2つの前記スタブ形成用剥離部および前記中心剥離部に囲まれた領域に、前記接地平面部が剥離されていない領域として形成される複数のラジアルスタブと、
を備えることを特徴とする多層パッケージ。 - 請求項1に記載の多層パッケージにおいて、最上の層から数えて2番目の層の下面に設けられた1番目の前記接地平面部、および最上の層から数えて4番目の層の下面に設けられた2番目の前記接地平面部が、前記中心剥離部と前記スタブ形成用剥離部と前記ラジアルスタブとを備えることを特徴とする多層パッケージ。
- 請求項1または請求項2に記載の多層パッケージにおいて、前記ラジアルスタブが、前記コプレーナ導波路と前記ボールグリッドアレイに接続される信号路との間の高周波マッチングを実現することを特徴とする多層パッケージ。
- 前記複数の層のうちの複数のいずれかのそれぞれに前記接地平面部が設けられた、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の多層パッケージにおいて、前記信号ビア、前記中心剥離部、前記スタブ形成用剥離部および前記ラジアルスタブが設けられた領域を囲み、前記複数の層を上下にそれぞれが貫通する複数の接地ビアを備え、各接地ビアは、複数の前記接地平面部を相互に接続することを特徴とする多層パッケージ。
- 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の多層パッケージにおいて、前記ラジアルスタブと前記信号ビアとの間に、前記中心剥離部によって形成される不連続部が、前記信号ビアに対するシャントインダクタンスとして機能することを特徴とする多層パッケージ。
- 多層セラミックパッケージであって、
複数の層を含む多層の積層体と、
前記複数の層のうち少なくとも1つの層に設けられた接地平面部であって、前記複数の層のうち前記接地平面部が設けられた1つの層または複数の層のそれぞれについては、上面または下面の一方の面に1つの前記接地平面部が設けられている、接地平面部と、
前記複数の層を貫通する信号ビアと、
互いに異なる層に設けられ、前記信号ビアに接続された複数の信号路と、
前記接地平面部が剥離されて形成され、前記信号ビアが貫通する中心剥離部であって、当該中心剥離部の周囲が前記信号ビアとは接触しない中心剥離部と、
前記中心剥離部の周囲に所定間隔で配置された複数のスタブ形成用剥離部であって、各スタブ形成用剥離部は、前記接地平面部が剥離された領域として前記中心剥離部につながっており、各スタブ形成用剥離部は、前記中心剥離部から離れる方向に向かって放射状に開いた形状を有し、前記中心剥離部から所定の距離の位置で終端する、複数のスタブ形成用剥離部と、
隣接する2つの前記スタブ形成用剥離部および前記中心剥離部に囲まれた領域に、前記接地平面部が剥離されていない領域として形成される複数のスタブと、
を備えることを特徴とする多層セラミックパッケージ。 - 請求項6に記載の多層セラミックパッケージにおいて、4個の前記スタブが略等間隔に前記信号ビアを囲んで環状に配置されていることを特徴とする多層セラミックパッケージ。
- 多層パッケージにおいて高周波マッチングを実現する方法であって、
複数の層を含む多層の積層体を設けるステップを有し、
前記積層体を設ける前記ステップは、
少なくとも1個の信号路を前記複数の層のいずれかに設けるステップと、
前記信号路と接続されていて、前記複数の層を貫通する信号ビアを設けるステップと、
前記複数の層のうち少なくとも1つの層に設けられる接地平面部であって、前記複数の層のうち前記接地平面部が設けられる1つの層または複数の層のそれぞれについては、上面または下面の一方の面に1つの前記接地平面部が設けられる、接地平面部を設けるステップを有し、
前記接地平面部を設ける前記ステップは、
前記接地平面部が剥離されて形成され、前記信号ビアが貫通する中心剥離部であって、当該中心剥離部の周囲が前記信号ビアとは接触しない中心剥離部を構成するステップと、
前記中心剥離部の周囲に所定間隔で配置された複数のスタブ形成用剥離部であって、各スタブ形成用剥離部は、前記接地平面部が剥離された領域として前記中心剥離部につながっており、各スタブ形成用剥離部は、前記中心剥離部から離れる方向に向かって放射状に開いた形状を有し、前記中心剥離部から所定の距離の位置で終端する、複数のスタブ形成用剥離部を構成するステップと、
を有し、
前記方法によって、隣接する2つの前記スタブ形成用剥離部および前記中心剥離部に囲まれた領域に、前記接地平面部が剥離されていない領域である複数のラジアルスタブが形成される、
ことを特徴とする方法。
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