JP5327275B2 - 端面研磨ブラシ及び磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Description
中心部に円形孔を有する磁気記録媒体用ガラス基板の内周端面を研磨する端面研磨ブラシであって、
前記端面研磨ブラシはシャフトにブラシ毛が植毛されており、前記シャフトは、荷重19.6Nをかけた時の最大たわみ量が390μm以下である、端面研磨ブラシ、が提供される。
図3に、本発明に係る端面研磨ブラシ12の模式的断面図を示す。また、図4に、その拡大断面図を示す。端面研磨ブラシ12は、主として、円柱形状のシャフト14と、シャフト14に設置されたブラシ毛13とを含む。ブラシ毛13は、シャフト14の軸方向に対して概ね直交する方向に植毛されている。
δ=PL3/(12πr4E)・・・式(1)
式(1)の最大たわみ量を測定する方法として、下記に一例を挙げるが、本発明はこの点において限定されない。シャフトの軸方向の両端から10mm内側を支持し、シャフトの軸方向の中心部にプッシュプルゲージ等により、19.6Nの荷重を加え、中心部の移動距離(即ち、最大たわみ量)をダイヤルゲージなどで測定する方法などが、挙げられる。
本発明の端面研磨ブラシを使用して研磨する際の、研磨液としては、特に制限されない。一例を挙げると、下記で挙げる砥粒を、水又は水溶性有機溶媒に、分散させて得る。研磨液には、必要に応じて、分散剤、pH調整剤、粘度調整剤、キレート化剤などを添加できる。
以下、本発明の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法について説明する。
(1)ガラス素基板を、中央部に円孔を有する円盤形状に加工した後、内周側面と外周側面を面取り加工する形状付与工程、
(2)ガラス基板の外周端面を研磨する外周端面研磨工程、
(3)ガラス基板の内周端面を研磨する。内周端面研磨工程、
(4)ガラス基板の上下両主平面を研磨する主平面研磨工程、
(5)ガラス基板を精密洗浄して乾燥し、磁気記録媒体用ガラス基板を得る洗浄工程、
等の工程により製造される。本発明は上記方法に限定されないが、(3)の内周端面研磨工程では、本発明の端面研磨ブラシを用いてガラス基板の内周端面を研磨する。
以下に実施例及び比較例を挙げて本発明を更に説明するが、本発明はこれにより何ら制限されるものではない。
使用した端面研磨ブラシは、ヤング率が199GPa、端面研磨ブラシのシャフト部の長さが375mm、ガラス基板の円形孔の直径に対しシャフトの直径が50%、前述の方法で測定したたわみ量が220μmであった以外は、実施例1と同様の工程で研磨を行った。
使用した端面研磨ブラシは、ヤング率が199GPa、端面研磨ブラシのシャフト部の長さが230mm、ガラス基板の円形孔の直径に対しシャフトの直径が40%、前述の方法で測定したたわみ量が120μmであった以外は、実施例1と同様の工程で研磨を行った。
使用した端面研磨ブラシは、ヤング率が199GPa、端面研磨ブラシのシャフト部の長さが230mm、ガラス基板の円形孔の直径に対しシャフトの直径が30%、前述の方法で測定したたわみ量が390μmであった以外は、実施例1と同様の工程で研磨を行った。
使用した端面研磨ブラシは、ヤング率が101GPa、端面研磨ブラシのシャフト部の長さが375mm、ガラス基板の円形孔の直径に対しシャフトの直径が50%、前述の方法で測定したたわみ量が430μmであった以外は、実施例1と同様の工程で研磨を行った。
使用した端面研磨ブラシは、ヤング率が69GPa、端面研磨ブラシのシャフト部の長さが375mm、ガラス基板の円形孔の直径に対しシャフトの直径が50%、前述の方法で測定したたわみ量が640μmであった以外は、実施例1と同様の工程で研磨を行った。
(研磨量の差)
研磨量は、端面研磨前のガラス基板と、端面研磨後に得られたガラス基板を洗浄乾燥したものとを、高精度2次元寸法測定機(キーエンス社製、製品名:VM8040)を用いて測定した。具体的には、ガラス基板中央部の円形孔の直径を、内周側面部で測定し、端面研磨前後の円形孔直径差を研磨量とした。
研磨後のガラス基板の内周端面を、フッ酸と硝酸を含む酸性のエッチング溶液を用いて、ガラス基板を深さ方向に5μmエッチングする。これにより、加工変質層(キズ)を、観察しやすいピット欠陥とすることができる。この後、洗浄と乾燥を行う。最後に、ガラス基板を切断して、ピット欠陥数を評価しやすいサイズにして、内周側面部8及び内周面取り部9を含むピット欠陥数観察試料を作製した。
2 主表面
3 円形孔
4 外周端面
5 外周側面部
6 外周面取り部
7 内周端面
8 内周側面部
9 内周面取り部
10 スペーサ
11 ガラス基板積層体
12 端面研磨ブラシ
13 ブラシ毛
14 シャフト
15 チャンネル部品
16 植毛長
17 チャンネル部品の高さ
18 植毛部
19 チャンネル部品のピッチ幅
20 端面研磨ブラシの外径
21 ブラシ毛の長さ
Claims (8)
- 中心部に円形孔を有する磁気記録媒体用ガラス基板の内周端面を研磨する端面研磨ブラシであって、
前記端面研磨ブラシはシャフトにブラシ毛が植毛されており、前記シャフトは、荷重19.6Nを受けた時の最大たわみ量が390μm以下である、端面研磨ブラシ。 - 前記シャフトは、ヤング率が199GPa以上である、請求項1に記載の端面研磨ブラシ。
- 前記シャフトにおける、前記ブラシ毛が植毛されている植毛部は、植毛箇所と非植毛箇所とを備え、前記シャフトの前記植毛箇所の軸方向の長さと前記非植毛箇所の軸方向の長さの合計に対する、前記植毛箇所の軸方向の長さの割合は、25〜95%である、請求項1又は2に記載の端面研磨ブラシ。
- 内周側面部と、外周側面部と、主表面とを有する、中心部に円形孔を有する円盤状のガラス基板を形成する形状付与工程と、
前記ガラス基板の前記内周側面部と前記主表面との交差部に内周面取り部を形成する内周面取り工程と、
前記内周側面部と前記内周面取り部を研磨する内周端面研磨工程と、
ガラス基板の主平面を研磨する主平面研磨工程と、
を備え、
前記内周端面研磨工程は、
前記ガラス基板を複数枚積層し、積層された前記ガラス基板の前記内周側面部及び前記内周面取り部に砥粒を含む研磨液を供給する工程と、
シャフトにブラシ毛が植毛されており、前記シャフトは荷重19.6Nをかけた時の最大たわみ量が390μm以下である、端面研磨ブラシを回転させた状態で、前記内周側面部及び前記内周面取り部に接触させる工程と、
を含む、磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。 - 前記シャフトの直径は、前記円形孔の直径の30%〜60%である、請求項4に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
- 前記シャフトは、ヤング率が199GPa以上である、請求項4又は5に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
- 前記内周端面研磨工程において内周端面研磨した後の前記ガラス基板の前記内周端面をエッチング溶液で前記ガラス基板の深さ方向に5μmエッチングしたとき、前記内周面取り部における直径が10μm以上の円形状又は楕円形状のピット欠陥は5個/mm 2 未満である、請求項4乃至6のいずれか一項に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
- 請求項4乃至7のいずれか一項に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法によって製造された磁気記録媒体用ガラス基板であって、
前記磁気記録媒体用ガラス基板は、前記内周端面をエッチング溶液で前記ガラス基板の深さ方向に5μmエッチングしたとき、前記内周面取り部における直径が10μm以上の円形状又は楕円形状のピット欠陥は5個/mm 2 未満である、磁気記録媒体用ガラス基板。
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