JP4760791B2 - ロールブラシ及び基板の液処理装置 - Google Patents
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Description
4 噴射手段 10 ロールブラシ
11 回転軸 12 ブラシユニット
13 軸受 14 モータ
15,115 ブラシベース 16 ブラシ
17 分割ブラシ体 18 ブラシ装着孔
19 刷毛束 20 ボルト
20a 軸部 20b 頭部
21 ねじ孔 22,122 ボルト挿通孔
22a 軸挿通部 22b ボルト頭収容部
22c 段差部 23,123 ワッシャ
24 補充用刷毛 25 六角穴
Claims (5)
- ブラシベースの外周面に多数の刷毛を植設した複数の分割ブラシ体と、これら各分割ブラシ体がそれぞれ複数のボルトにより着脱可能に装着される回転軸とからなり、ワークを擦動する構成としたロールブラシにおいて、
前記回転軸には前記各ボルトが螺挿されるねじ孔が設けられ、また前記各ブラシベースにはボルト挿通孔が穿設されており、
前記各ボルトは前記各ボルトの頭部より大きな外径の円環状板体からなるワッシャを介して前記ねじ孔に螺挿され、
前記ワッシャには、前記ボルトの頭部が当接する部位の外周側位置に複数の補充用刷毛を設ける
構成としたことを特徴とするロールブラシ。 - 前記ブラシベースは半割り筒状のもので、前記回転軸の全長より短い複数の部材から構成し、これら複数のブラシベースを前記回転軸の円周方向及び長さ方向に順次当接させるようにして前記回転軸に装着する構成としたことを特徴とする請求項1記載のロールブラシ。
- 前記ブラシベースの前記ボルト挿通孔には前記ボルトの頭部を収容するボルト頭収容部が形成されており、前記ワッシャはこのボルト頭収容部と前記ボルトの軸部を挿通させる軸挿通部との間に形成した平坦面からなる当接面に当接させる構成としたことを特徴とする請求項1または請求項2記載のロールブラシ。
- 前記ワッシャは前記ブラシベースの外周面に当接するように装着されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載のロールブラシ。
- 基板が搬送される搬送経路の途中位置に、処理液の供給ノズルを有する噴射手段を設け、この噴射手段の配設位置より搬送方向の下流側位置に前記基板表面を擦動するロールブラシを有するブラシユニットを装着した基板の液処理装置において、
前記ブラシユニットは、ブラシベースの外周面に多数の刷毛を植設した複数の分割ブラシ体をそれぞれ複数のボルトにより回転軸に着脱可能に装着させて設け、
前記回転軸には前記各ボルトが螺挿されるねじ孔が設けられ、また前記各ブラシベースにはボルト挿通孔が穿設されており、
前記各ボルトは前記各ボルトの頭部より大きな外径の円環状板体からなるワッシャを介して前記ねじ孔に螺挿され、
前記ワッシャには、前記ボルトの頭部が当接する部位の外周側位置に複数の補充用刷毛を設ける
構成としたことを特徴とする基板の液処理装置。
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