JP5312662B1 - ウエハ回転装置及びウエハ回転方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 処理液を収容し、処理液内にウエハを浸漬することができる処理液槽2と、 処理液槽2内で前記ウエハWの下部中間部分を保持し、ウエハの面に沿った方向に揺動可能に構成されているウエハ受台6と、処理液槽2内のウエハ受台6を挟むように配置され、ウエハ受台6に対し相対的に上下方向に移動することでウエハの下部両端部分を保持可能に構成されている1組のウエハガイド7と、ウエハWを、ウエハガイド7に保持させた状態でウエハ受台6を揺動させた後ウエハ受台6とウエハガイド7とを相対的に上下方向に移動させてウエハ受台6に戻すことで、ウエハ受台6におけるウエハWの支持部分を異ならせてウエハを回転させる。
【選択図】 図1
Description
処理液を収容し、前記処理液内にウエハを浸漬することができる処理液槽と、
前記処理液槽内で前記ウエハの周縁下部中間部分を保持し、ウエハの面に沿った方向に揺動可能に構成されているウエハ受台と、
前記処理液槽内の前記ウエハ受台を挟むように配置され、前記ウエハ受台に対し相対的に上下方向に移動することで前記ウエハの周縁下部の前記ウエハ受台による保持部分よりも端側の部分を保持可能に構成されている1組のウエハガイドと、を備え、
前記ウエハガイドは、前記ウエハ受台が第1の方向に揺動する時に前記ウエハの周縁に近接するよう位置すると共に、前記ウエハを、ウエハガイドに保持させた状態で前記ウエハ受台を第2の方向に揺動させた後前記ウエハ受台とウエハガイドとを相対的に上下方向に移動させて前記ウエハ受台に戻すことで、前記ウエハ受台におけるウエハの支持部分を異ならせて前記ウエハを回転させることを特徴とする、ウエハ回転装置を提供する。
前記ウエハを、前記ウエハガイドに保持させた状態で前記ウエハ受台を揺動させた後前記ウエハ受台とウエハガイドとを相対的に上下方向に移動させて前記ウエハ受台に戻すことで、前記ウエハ受台におけるウエハの支持部分を異ならせて前記ウエハを回転させることを特徴とする、ウエハ回転方法を提供する。
ことができる
2 洗浄槽
3 外槽
4 伝播用水槽
5 超音波発信部
6 ウエハ受台
7 ウエハガイド
11 受台本体部
12 受け部材
13 連結脚
14 揺動脚
15 揺動装置
16 昇降装置
17 ガイド本体部
18 支持部材
100 ウエハ洗浄装置
C 回転中心
W ウエハ
Claims (6)
- 処理液を収容し、前記処理液内にウエハを浸漬することができる処理液槽と、
前記処理液槽内で前記ウエハの周縁下部中間部分を保持し、ウエハの面に沿った方向に揺動可能に構成されているウエハ受台と、
前記処理液槽内の前記ウエハ受台を挟むように配置され、前記ウエハ受台に対し相対的に上下方向に移動することで前記ウエハの周縁下部の前記ウエハ受台による保持部分よりも端側の部分を保持可能に構成されている1組のウエハガイドと、を備え、
前記ウエハガイドは、前記ウエハ受台が第1の方向に揺動する時に前記ウエハの周縁に近接するよう位置すると共に、前記ウエハを、ウエハガイドに保持させた状態で前記ウエハ受台を第2の方向に揺動させた後前記ウエハ受台とウエハガイドとを相対的に上下方向に移動させて前記ウエハ受台に戻すことで、前記ウエハ受台におけるウエハの支持部分を異ならせて前記ウエハを回転させることを特徴とする、ウエハ回転装置。 - 前記ウエハガイドは、上下移動可能に構成されており、前記ウエハガイドが下降することで、前記ウエハ受台にウエハが戻ることを特徴とする、請求項1に記載のウエハ回転装置。
- 前記ウエハ受台は、支持する前記ウエハの中心軸を回転中心として揺動するように構成されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載のウエハ回転装置。
- 前記ウエハガイドは、それぞれ、前記ウエハの厚み方向に配置された2本のガイド本体と、前記2本のガイド本体間に懸架されるように配置された支持部材とを備えることを特徴とする、請求項1から3のいずれか1つに記載のウエハ回転装置。
- 処理液を収容し、前記処理液内にウエハを浸漬することができる処理液槽内で前記ウエハの周縁下部中間部分を保持し、ウエハの面に沿った方向に揺動可能に構成されているウエハ受台と、前記ウエハ受台に対し相対的に上下方向に移動することで前記ウエハの周縁下部の前記ウエハ受台による保持部分よりも端側の部分を保持可能に構成されている1組のウエハガイドと、を備えるウエハ回転装置を用い、
前記ウエハを、前記ウエハガイドに保持させた状態で前記ウエハ受台を揺動させた後前記ウエハ受台とウエハガイドとを相対的に上下方向に移動させて前記ウエハ受台に戻すことで、前記ウエハ受台におけるウエハの支持部分を異ならせて前記ウエハを回転させることを特徴とする、ウエハ回転方法。 - 前記ウエハ受台とウエハガイドとの間のウエハの受け渡しは、前記ウエハガイドが上昇することで、前記ウエハ受台からウエハガイドに前記ウエハが保持され、前記ウエハガイドが下降することで前記ウエハ受台にウエハが戻ることを特徴とする、請求項5に記載のウエハ回転方法。
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