JP5306192B2 - プローブカードの固定装置 - Google Patents
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Description
50…プローブカード
51…プローブ針
54…スティフナ
60A〜60C…固定装置
61…ビス
62…第1のベアリング部材
63…第2のベアリング部材
64…ビス
65…第1のベアリング部材
66…第2のベアリング部材
67…リニアガイド
70…ホルダ
80…アダプタ
90…プローバ
W…被試験半導体ウェハ
Claims (5)
- 半導体ウェハに形成された被試験電子部品の試験に用いられるプローブカードを、ホルダに固定する固定装置であって、
前記プローブカードの主面に対して実質的に直交する方向において前記プローブカードを前記ホルダに拘束する拘束手段と、
前記プローブカードの主面に実質的に平行な方向において前記ホルダに対する前記プローブカードの伸縮を許容する許容手段と、を備え、
前記拘束手段は、前記ホルダに固定されており、
前記許容手段は、
前記拘束手段と前記プローブカードとの間に介装され、前記平行方向における前記拘束手段に対する前記プローブカードの伸縮を許容する第1のベアリング部材と、
前記プローブカードと前記ホルダとの間に介装され、前記平行方向における前記ホルダに対する前記プローブカードの伸縮を許容する第2のベアリング部材と、を含むことを特徴とする固定装置。 - 前記拘束手段は、前記プローブカードのスティフナに形成された貫通孔を介して、前記ホルダに固定されているネジ部材を含むことを特徴とする請求項1記載の固定装置。
- 半導体ウェハに形成された被試験電子部品の試験に用いられるプローブカードを、ホルダに固定する固定装置であって、
前記プローブカードの主面に対して実質的に直交する方向において前記プローブカードを前記ホルダに拘束する拘束手段と、
前記プローブカードの主面に実質的に平行な方向において前記ホルダに対する前記プローブカードの伸縮を許容する許容手段と、を備え、
前記拘束手段は、前記プローブカードに固定されており、
前記許容手段は、
前記拘束手段と前記ホルダとの間に介装され、前記平行方向における前記ホルダに対する前記拘束手段の微少移動を許容する第1のベアリング部材と、
前記ホルダと前記プローブカードとの間に介装され、前記平行方向における前記ホルダに対する前記プローブカードの伸縮を許容する第2のベアリング部材と、を含むことを特徴とする固定装置。 - 前記拘束手段は、前記ホルダに形成された貫通孔を介して、前記プローブカードのスティフナに固定されているネジ部材を含むことを特徴とする請求項3記載の固定装置。
- 半導体ウェハに形成された被試験電子部品のテストを行う試験装置本体と、
前記被試験電子部品と前記試験装置本体との間の電気的な接続を確立するプローブカードと、
前記プローブカードを前記半導体ウェハに押し付けるプローバと、
前記プローブカードを前記プローバに固定するホルダと、を備えた電子部品試験装置であって、
請求項1〜4の何れかに記載の固定装置を用いて、前記プローブカードを前記ホルダに固定したことを特徴とする電子部品試験装置。
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