JP5305220B2 - 基板張り合わせ装置 - Google Patents
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Description
このような構成によれば、第2基板ホルダがステージに載置されている際に磁場を発生させたり磁場を打ち消したりできるとともに、この磁場によって第1基板ホルダと第2基板ホルダとを固定することができる。第1磁気発生部及び第2磁気発生部が基板ホルダの外周よりも内側に配置されているため、関係する複数のチャンバのサイズを大きくする必要がない。
図1はウエハ張り合わせ装置100の全体斜視図であり、図2はウエハ張り合わせ装置100の上面概略図である。
ウエハ張り合わせ装置100は、ウエハローダWL及びウエハホルダローダWHLを有している。ウエハローダWL及びウエハホルダローダWHLは、多関節ロボットであり六自由度方向(X,Y,Z,θX,θY,θZ)に移動可能である。さらにウエハローダWLはレールRAに沿ってY方向に長い距離移動可能であり、ウエハホルダローダWHLはレールRAに沿ってX方向に長い距離移動可能である。
上記のように第1ウエハホルダWH1及び第2ウエハホルダWH2は、第1ウエハW1及び第2ウエハW2を吸着し、張り合わすためのツールとして利用され、繰り返し何度も使用される部品でもある。本実施例の第1及び第2ウエハホルダWH1、WH2は第1及び第2ウエハW1、W2を吸着するだけでなく、第1ウエハホルダWH1及び第2ウエハホルダWH2同士を固定する機能をもつ。ウエハホルダWH自体に固定する機能を持たせることでウエハホルダWHは小型になる。
図3(c)は電磁コイルMCに電流を流し、磁場により第1ウエハホルダWH1と第2ウエハホルダWH2とが互いに引き合う状態の磁力線を模式的に示した図である。磁力線は図3(c)に示すように第1ウエハホルダWH1と第2ウエハホルダWH2とに対して垂直方向であるためXY方向にずれることがない。磁極は異極同士にすればよくN極S極の極性を入れ替えてもよい。
図5(a)は第2ウエハホルダWH2の上面図であり、図5(b)は第2ウエハホルダWH2の第1受電端子RV1とウエハホルダローダWHLのハンド部HDの第2給電端子SP2との位置関係とを示した図である。また、図5(c)はウエハホルダローダWHLのハンド部HDを示した上面図である。
図7は実施例2の第1ウエハホルダWH1と第2ウエハホルダWH2を示した図である。
図7(a)に示すように、第1ウエハホルダWH1は図3(b)で示した実施例1と同じく第1永久磁石PM1を有している。また第2ウエハホルダWH2は第2永久磁石PM2と電磁コイルMCとを配置する。第1永久磁石PM1と第2永久磁石PM2とは異極同士が対向しており、第1ウエハホルダWH1と第2ウエハホルダWH2とを近づけると互いに磁力で吸引し合い固定される。磁極は異極同士にすればよくN極、S極の極性を入れ替えてもよい。
図5(a)は第2ウエハホルダWH2の上面図であり、図8(b)は第2ウエハホルダWH2の第1受電端子RV1とアライナー50の第2テーブル56の第1給電端子SP1との位置関係を示した図である。
ステップT31において、ウエハホルダプリアライメント装置40は第1ウエハW1と第1ウエハホルダWH1とで位置合わせをしてから真空吸着する。また、ウエハホルダプリアライメント装置40は第2ウエハW2と第2ウエハホルダWH2とも位置合わせしてから真空吸着する。ウエハWをウエハホルダWHに真空吸着しているが、静電吸着でもよい。
ステップT34において、アライナー50は第1ウエハホルダWH1と第2ウエハホルダWH2とをウエハWの線幅精度で重なるように位置合わせする。位置合わせが終了したら電磁コイルMCに流していた電流を止める。第1ウエハホルダWH1の第1永久磁石PM1と第2ウエハホルダWH2の第2永久磁石PM2との磁場により、第1ウエハホルダWH1と第2ウエハホルダWH2と互いに吸着し固定される。
ステップT37において、ウエハホルダローダWHLは固定状態のウエハホルダWHを分離冷却ユニット80に搬送する。
図10(a)は第1ウエハホルダWH1をウエハWの載置面の反対面から見た図であり、2つの直径の異なるリング状の永久磁石PM1を設置した場合を示している。また図10(b)は図10(a)のB−B断面を示している。図10(c)は第1ウエハホルダWH1において円状の永久磁石PM1を均等な磁場になるような3箇所に設置した場合を示している。また図10(d)は図10(c)のD−D断面を示している。なお図10(a)と図10(c)とに対向する第2ウエハホルダWH2は同じ形状の電磁コイルMC又は第2永久磁石PM2を設置する。
実施例3では実施例1で示した第2ウエハホルダWH2に蓄電池CBを設置することで、第2ウエハホルダWH2の受電端子RVの数を減らし、ウエハホルダローダWHLに給電端子SPを設置する必要がない固定機能を持つ第2ウエハホルダWH2を提供する。
本実施例のウエハホルダWHにおける固定分離処理は、ほぼウエハホルダローダWHLからの給電を蓄電池CBに変更するだけでよく、図6のフローチャートと同様に処理することができる。
CB … 蓄電池
HP … 保持部
FI … 固定具
VI … 吸引配管
IS … 断熱材
NC … ノッチ
NT … 切り欠け部
MC … 電磁コイル
PM … 永久磁石
RV … 受電端子
SP … 給電端子
TA … 取り付け領域
W … 半導体ウエハ
WH … ウエハホルダ
WL … ウエハローダ
HD … ハンド部
WHL … ウエハホルダローダ
10 … ウエハストッカー
20 … ウエハプリアライメント装置
30 … ウエハホルダストッカー
40 … ウエハホルダプリアライメント装置
50 … アライナー
53 … 駆動部
54 … 第1テーブル
56 … 第2テーブル
70 … 加熱加圧装置
80 … 分離冷却ユニット
85 … ウエハ用ストッカー
70 … 加熱加圧装置
80 … 分離冷却ユニット
90 … 主制御装置
100 … ウエハ張り合わせ装置
130 … 従来のウエハホルダ
Claims (6)
- 第1面と第2面とを有する非磁性体で構成され、この第1面で第1基板を保持する第1基板ホルダと、
第3面と第4面とを有する非磁性体で構成され、この第3面で第2基板を保持する第2基板ホルダと、
前記第1基板ホルダの外周より内側に配置された第1磁気発生部と、
前記第2基板ホルダの外周より内側に配置された第2磁気発生部と、
前記第2基板ホルダに設けられ前記第2磁気発生部に給電する第1端子と、
前記第1端子とは異なり、前記第2基板ホルダに設けられ前記第2磁気発生部に給電する第2端子と、を備え、
前記2基板ホルダがステージに載置されている際に、前記第1端子に電力が給電され、且つ前記第2基板ホルダが前記ステージから離れている際に、前記第2端子に電力が給電されることを特徴とする基板ホルダ装置。 - 前記第2磁気発生部は電磁コイルであり、前記第1磁気発生部は永久磁石であることを特徴とする請求項1に記載の基板ホルダ装置。
- 前記第2基板ホルダは電磁コイルに電力を供給する蓄電池を有することを特徴とする請求項2に記載の基板ホルダ装置。
- 前記第2磁気発生部は電磁コイル及び永久磁石であり、前記第1磁気発生部は永久磁石であることを特徴とする請求項1に記載の基板ホルダ装置。
- 前記磁気コイルは前記第2基板ホルダの外周に形成された溝部内に配置されることを特徴とする請求項2又は請求項4に記載の基板ホルダ装置。
- 前記第1磁気発生部及び前記第2磁気発生部は、前記第1基板ホルダ及び前記第2基板ホルダのそれぞれに複数配置されていることを特徴とする請求項1に記載の基板ホルダ装置。
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