JP5295720B2 - 半導体ウエーハ加工装置 - Google Patents
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Description
10 粗研削ユニット
11 半導体ウエーハ
13 ストリート
15 デバイス
28 仕上げ研削ユニット
44 ターンテーブル
50 第1ウエーハカセット
54 ウエーハ搬送ロボット
55 カメラ
70 ウエーハ収容部
82 コラム
84 垂直移動機構
Claims (2)
- 半導体ウエーハを収容するカセットと、該カセットが載置されるカセット載置台と、該カセットに収容された半導体ウエーハを搬入・搬出する搬送手段とを備えた半導体ウエーハ加工装置であって、
該カセットは、1枚の半導体ウエーハが表裏面を略水平方向とする向きで収容される複数のウエーハ収容部と、半導体ウエーハを該カセットに搬入・搬出する該搬送手段に対向した開口部とを有し、
該開口部に対峙して配設され、該カセットの複数のウエーハ収容部を撮像する撮像手段と、
該カセット載置台と該撮像手段とを相対的に垂直方向へ移動する移動手段と、
該撮像手段で撮像された撮像画像を解析して半導体ウエーハの収容状態を判別する判別手段と、
該判別手段で判別した判別結果を記憶する記憶手段と、
前記開口部の上方又は下方に配設されて、該開口部から突出して収容された半導体ウエーハを該撮像手段で撮像可能な状態に映し出す反射鏡と、
を更に備えたことを特徴とする半導体ウエーハ加工装置。 - 前記撮像手段は、前記搬送手段に搭載されている請求項1記載の半導体ウエーハ加工装置。
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