JP4861061B2 - ウエーハの外周部に形成される環状補強部の確認方法および確認装置 - Google Patents
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Description
しかるに、ウエーハの厚さを50μm以下に形成すると破損し易くなり、ウエーハの搬送等の取り扱いが困難になるという問題がある。
裏面に環状の補強部が形成されたウエーハの表面側を回転可能に構成された保持テーブルに保持し、該保持テーブルを所定角度回動する毎に撮像手段によって環状の補強部を撮像し、環状の補強部の幅が許容範囲より大きい領域が存在するか否かを確認する、
ことを特徴とするウエーハの外周部に形成される環状補強部の確認方法が提供される。
ウエーハを保持し回転可能に構成された保持テーブルと該保持テーブルの回動位置を検出するテーブル位置検出手段を備えた保持テーブル機構と、
該保持テーブルに保持されたウエーハの外周領域を撮像する撮像手段と、
該撮像手段によって撮像された画像情報に基づいてウエーハの外周領域に形成された環状の補強部の幅寸法を求め、該幅寸法が許容範囲より大きい領域が存在するか否かを判定する制御手段と、具備している、
ことを特徴とするウエーハの外周部に形成される環状補強部の確認装置が提供される。
図示の実施形態における研削装置は、略直方体状の装置ハウジング2を具備している。装置ハウジング2の図1において右上端には、静止支持板21が立設されている。この静止支持板21の内側面には、上下方向に延びる2対の案内レール22、22および23、23が設けられている。一方の案内レール22、22には荒研削手段としての荒研削ユニット3が上下方向に移動可能に装着されており、他方の案内レール23、23には仕上げ研削手段としての仕上げ研削ユニット4が上下方向に移動可能に装着されている。
第1のカセット7に収容された研削加工前の半導体ウエーハ10はウエーハ搬送手段13の上下動作および進退動作により保持テーブル機構9を構成する保持テーブル91の保持面91a上に載置される。次に、ウエーハ搬入手段14を作動し保持テーブル9の保持面91a上に載置された半導体ウエーハ10を保持して、ウエーハ搬入・搬出域Aに位置付けられたチャックテーブル6の吸着保持チャック62上に載置する。そして、図示しない吸引手段を作動することにより、半導体ウエーハ10をチャックテーブル6上に吸引保持する。
仕上げ研削用の研削砥石432の外径は、上記荒研削用の研削砥石332と同一寸法に形成されている。そして、図7に示すように仕上げ研削用の研削砥石432をチャックテーブル6の回転中心P4(半導体ウエーハ10の中心P2)を通過するように位置付ける。このとき、研削砥石432の外周縁は、上記荒研削加工によって形成された環状の補強部105bの内周面に接触するように位置付けられる。
3:荒研削ユニット
33:研削ホイール
332:研削砥石
4:仕上げ研削ユニット
43:研削ホイール
432:研削砥石
5:ターンテーブル
6:チャックテーブル
7:第1のカセット
8:第2のカセット
9:保持テーブル機構
91:保持テーブル
93:パルスモータ
94:ロータリーエンコーダ
10:半導体ウエーハ
11:撮像手段
12:洗浄手段
13:ウエーハ搬送手段
14:ウエーハ搬入手段
200:制御手段
Claims (2)
- 表面に複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたウエーハの裏面における該デバイス領域に対応する領域を研削して所定厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における該外周余剰領域に対応する領域が残存して形成された環状の補強部の幅寸法を確認するウエーハの外周部に形成される環状補強部の確認方法であって、
裏面に環状の補強部が形成されたウエーハの表面側を回転可能に構成された保持テーブルに保持し、該保持テーブルを所定角度回動する毎に撮像手段によって環状の補強部を撮像して、環状の補強部の幅が許容範囲内に形成されているか否かを確認する、
ことを特徴とするウエーハの外周部に形成される環状補強部の確認方法。 - 表面に複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたウエーハの裏面における該デバイス領域に対応する領域を研削して所定厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における該外周余剰領域に対応する領域が残存して形成された環状の補強部の幅寸法を確認するウエーハの外周部に形成される環状補強部の確認装置において、
ウエーハを保持し回転可能に構成された保持テーブルと該保持テーブルの回動位置を検出するテーブル位置検出手段を備えた保持テーブル機構と、
該保持テーブルに保持されたウエーハの外周領域を撮像する撮像手段と、
該撮像手段によって撮像された画像情報に基づいてウエーハの外周領域に形成された環状の補強部の幅寸法を求め、該幅寸法が許容範囲内か否かを判定する制御手段と、具備している、
ことを特徴とするウエーハの外周部に形成される環状補強部の確認装置。
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