JP5292977B2 - 接合材、半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、実施の形態1にかかる接合材の構造について示す断面図である。実施の形態1にかかる接合材は、融点の異なる2種類以上の組成の金属粉体を主材として、この主材がフラックスに分散して混合されている。そして、金属粉体のうち、最も融点が高い金属粉体の固相の比重が他の金属粉体の液相の比重よりも小さい。
つぎに、実施の形態2にかかる接合材について説明する。実施の形態2にかかる接合材は、金属粉体のうち、最も融点が高い金属粉体の比重が他の金属粉体の融液の比重よりも大きい。
つぎに、実施の形態3にかかる半導体装置の構造について説明する。実施の形態3にかかる半導体装置は、実施の形態1または実施の形態2にかかる接合材1を用いて接合された半導体装置である。ここでは、実施の形態1にかかる接合材1を用いて接合された半導体装置について説明する。図2は、実施の形態1にかかる接合材を用いて接合された半導体装置の構造について示す断面図である。
つぎに、実施の形態4にかかる半導体装置の製造方法について説明する。実施の形態4においては、半導体装置の製造方法の接合処理において、半導体装置を実施の形態1にかかる接合材を用いて接合する方法について説明する。図3および図4は、実施の形態4にかかる半導体装置の製造方法について示す断面図である。また、図5は、実施の形態4にかかる半導体装置の製造方法における接合処理の際の、温度および圧力と、時間との関係を示す特性図である。
つぎに、実施の形態5にかかる半導体装置の製造方法について説明する。実施の形態5においては、半導体装置の製造方法の接合処理において、半導体装置を実施の形態2にかかる接合材を用いて接合する方法について説明する。実施の形態5においては、図3に示すように、絶縁基板12の上に接合材51を塗布し、その上に半導体チップ11を載置する。つぎに、実施の形態4とは異なり、接合材が半導体チップおよび絶縁基板に挟まれた状態のまま、半導体チップを接合材の下側にして、加熱炉に入れる。その他の方法は実施の形態4と同様のため説明を省略する。
2 金属A粉体
3 金属B粉体
4 フラックス
11 半導体チップ
12 絶縁基板
Claims (12)
- 少なくとも2種類以上の、組成および融点の異なる金属粉体がフラックスに混合されている、当該金属粉体のうちの最も融点の高い金属粉体以外の金属粉体の融点以上、当該最も融点の高い金属粉体の融点未満に加熱する第1加熱工程と、前記最も融点の高い金属粉体の融点以上に加熱する第2加熱工程との2段階の加熱によって接合する際に用いる接合材であって、
前記金属粉体のうちの最も融点の高い金属粉体の内部が中空構造であり、当該最も融点の高い金属粉体の固相の比重が、Biを含まない他の金属粉体の液相の比重よりも小さいことを特徴とする接合材。 - 少なくとも2種類以上の、組成および融点の異なる金属粉体がフラックスに混合されている、当該金属粉体のうちの最も融点の高い金属粉体以外の金属粉体の融点以上、当該最も融点の高い金属粉体の融点未満に加熱する第1加熱工程と、前記最も融点の高い金属粉体の融点以上に加熱する第2加熱工程との2段階の加熱によって接合する際に用いる接合材であって、
前記金属粉体のうちの最も融点の高い金属粉体の内部に少なくとも他の金属粉体よりも比重の小さい心材が設けられており、当該最も融点の高い金属粉体の固相の比重が、Biを含まない他の金属粉体の液相の比重よりも小さいことを特徴とする接合材。 - 少なくとも2種類以上の、組成および融点の異なる金属粉体がフラックスに混合されている、当該金属粉体のうちの最も融点の高い金属粉体以外の金属粉体の融点以上、当該最も融点の高い金属粉体の融点未満に加熱する第1加熱工程と、前記最も融点の高い金属粉体の融点以上に加熱する第2加熱工程との2段階の加熱によって接合する際に用いる接合材であって、
前記金属粉体のうちの最も融点の高い金属粉体の内部に少なくとも他の金属粉体よりも比重の大きい心材が設けられており、当該最も融点の高い金属粉体の固相の比重が、Biを含まない他の金属粉体の液相の比重よりも大きいことを特徴とする接合材。 - 前記金属粉体のうちの少なくとも1種類は、表面が電鋳処理による金属膜で被覆された構造であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の接合材。
- さらに、前記金属粉体よりも粒径の小さく、前記最も融点の高い金属粉体よりも融点が高い金属微粒子が混合されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の接合材。
- 半導体チップと基板とが少なくとも2種類以上の金属を含む接合材によって接合された半導体装置であって、
前記半導体チップと前記基板との間に、
前記金属のうちの、Biを含まない最も融点の高い金属以外の金属と前記半導体チップの最表面とが反応した第1反応層と、
前記金属のうちの前記最も融点の高い金属と前記第1反応層とが反応した第2反応層と、
前記最も融点の高い金属の濃度が、前記最も融点の高い金属以外の金属の濃度よりも濃い第1濃化領域と、
前記最も融点の高い金属以外の金属の濃度が、前記最も融点の高い金属の濃度よりも濃い第2濃化領域と、
をこの順に備えることを特徴とする半導体装置。 - 接合材により半導体チップと基板とが接合された半導体装置の製造方法であって、
接合材として、少なくとも2種類以上の、組成および融点の異なる金属粉体がフラックスに混合されており、当該金属粉体のうちの最も融点の高い金属粉体の固相の比重が、Biを含まない他の金属粉体の液相の比重よりも小さい接合材を用意する工程と、
前記半導体チップと前記基板の間に前記接合材を挟み、前記半導体チップを前記接合材の上側にして加熱炉に入れる炉入れ工程と、
前記加熱炉内の温度を、前記最も融点の高い金属粉体以外の金属粉体の融点以上、当該最も融点の高い金属粉体の融点未満に加熱する第1加熱工程と、
前記加熱炉内の温度を、前記最も融点の高い金属粉体の融点以上に加熱する第2加熱工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 接合材により半導体チップと基板とが接合された半導体装置の製造方法であって、
接合材として、少なくとも2種類以上の、組成および融点の異なる金属粉体がフラックスに混合されており、当該金属粉体のうちの最も融点の高い金属粉体の固相の比重が、Biを含まない他の金属粉体の液相の比重よりも大きい接合材を用意する工程と、
前記半導体チップと前記基板の間に前記接合材を挟み、前記半導体チップを前記接合材の下側にして加熱炉に入れる炉入れ工程と、
前記加熱炉内の温度を、前記最も融点の高い金属粉体以外の金属粉体の融点以上、当該最も融点の高い金属粉体の融点未満に加熱する第1加熱工程と、
前記加熱炉内の温度を、前記最も融点の高い金属粉体の融点以上に加熱する第2加熱工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記接合材には、前記金属粉体よりも粒径の小さく、前記最も融点の高い金属粉体よりも融点が高い金属微粒子が混合されており、
前記第2加熱工程において、前記加熱炉内の温度を、前記最も融点の高い金属粉体の融点以上であって、前記金属微粒子の融点よりも低い温度に加熱することを特徴とする請求項7または8に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記接合材には、3種類以上の金属粉体が混合されており、
前記第1加熱工程において、前記加熱炉内の温度を、前記最も融点の高い金属粉体以外の少なくとも2種類の金属粉体の融点以上の温度であって、当該最も融点の高い金属粉体の融点未満に段階的に加熱することを特徴とする請求項7〜9のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1加熱工程および前記第2加熱工程においては、加熱された温度を所定時間保持することを特徴とする請求項7〜10のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1加熱工程の後と、前記第2加熱工程の後とに、
前記加熱炉内を減圧して、当該加熱炉内を脱気する減圧工程を含むことを特徴とする請求項7〜11のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法。
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