JP5287760B2 - 角速度センサユニット - Google Patents
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Description
2 角速度センサ素子
8 防振部材
8c,8d 接続部
8e 懸架部
9 台座
12 懸架部の重心位置
13 複合体の重心位置
Claims (6)
- パッケージと、前記パッケージの内部に配置される角速度センサ素子と、前記角速度センサ素子を支持し前記角速度センサ素子の振動空間を確保する台座と、前記台座を前記パッケージの内部空間に懸架する防振部材を有し、前記防振部材は前記パッケージとの接続部と前記台座との接続部と前記接続部間に位置する懸架部とからなり、前記懸架部の重心位置の高さを前記角速度センサ素子、前記台座および前記防振部材における前記台座との接続部からなる複合体の重心位置の高さと一致させたことを特徴とする角速度センサユニット。
- 防振部材と台座を弾性素材で一体成形したことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサユニット。
- 防振部材を液晶ポリマーで構成したことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサユニット。
- 防振部材をポリフタルアミドで構成したことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサユニット。
- 防振部材をシリコンで構成したことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサユニット。
- 防振部材を板バネ素材で構成すると共に台座との接続部を前記台座にモールドしたことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサユニット。
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