JP5284683B2 - 精密位置決め装置 - Google Patents
精密位置決め装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5284683B2 JP5284683B2 JP2008122640A JP2008122640A JP5284683B2 JP 5284683 B2 JP5284683 B2 JP 5284683B2 JP 2008122640 A JP2008122640 A JP 2008122640A JP 2008122640 A JP2008122640 A JP 2008122640A JP 5284683 B2 JP5284683 B2 JP 5284683B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- actuator
- acceleration
- speed
- external force
- calculates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 43
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 31
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 23
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 210000000707 wrist Anatomy 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/19—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
- G05B19/21—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device
- G05B19/23—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control
- G05B19/231—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control the positional error is used to control continuously the servomotor according to its magnitude
- G05B19/237—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control the positional error is used to control continuously the servomotor according to its magnitude with a combination of feedback covered by G05B19/232 - G05B19/235
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P25/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details
- H02P25/02—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details characterised by the kind of motor
- H02P25/032—Reciprocating, oscillating or vibrating motors
- H02P25/034—Voice coil motors
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/40—Robotics, robotics mapping to robotics vision
- G05B2219/40578—Impedance, mechanical impedance measurement
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/42—Servomotor, servo controller kind till VSS
- G05B2219/42168—Measuring of needed force for servo
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Numerical Control (AREA)
- Feedback Control In General (AREA)
Description
磁界に置かれたコイルを弾性案内部材により所定の方向に変位可能に支持し、該コイルに電流を流すことによって該コイルを含むアクチュエータを駆動し、該アクチュエータの変位により前記部品の位置決めを行うボイスコイルモータと、
前記アクチュエータの変位を検出する変位センサと、
前記変位センサで検出された変位から速度及び加速度を算出し、前記アクチュエータを含む機械系のインピーダンスに基づき前記アクチュエータの位置、速度及び加速度と任意に設定した外力とから前記アクチュエータの駆動力を演算し、演算した駆動力に応じて前記コイルに供給する電流を出力するコントローラとを備えたことを特徴とする。
但し、
ma:ボイスコイルモータのコイル駆動によって変位するアクチュエータ(ハンドを含む)の質量
ka:アクチュエータ支持スプリングのバネ定数
fa:アクチュエータが発生する駆動力
fd:外力(重力、接触力など)
このとき、アクチュエータに次式で表される駆動力を加える。
ここで、x”、x’はそれぞれアクチュエータの加速度、速度を表わし、fcは重力相殺や作業のために発生させる力、mc,dc,kcは、それぞれ任意に決められるパラメータで、加速度、速度、位置の各フィードバックゲインである。
fd=mvx”+dvx’+kvx−fc …(3)
但し、mv,dv,kvは次式で表わされる力学モデルのインピーダンスである。
すなわち、パラメータmc,dc,kcをそれぞれ適当に設定することにより、外力に対する機械系の応答を決めるインピーダンス(mv,dv,kv)を自由に定めることができる。このとき、mc,kcを負にすれば正帰還になり、みかけの質量や剛性を実際より小さくすることができる。但し、系全体が安定になるように決めることが必要である。
fd=max”+kax−fa …(5)
であるから、位置xと加速度x”、及びアクチュエータの駆動力faがわかれば、外力fdを計算できる。但し、maとkaは、コンプライアンスの設計値とする。
・インピーダンス制御シミュレーション結果(図7、図8)
図7及び図8は、質量ma=1 kg、バネ定数ka=1000 N/mの機械系について、仮想質量mc=0.2 kg、仮想バネ定数kc=2000 N/mとしたときの応答のシミュレーション結果として、位置偏差、速度、加速度、外力推定値、及び駆動力の時間(秒)変化を示す。
・位置制御シミュレーション結果(図10、図11)
図10及び図11は、質量ma=1 kg、バネ定数ka=1000 N/mの機械系について、仮想バネ定数kc=20000 N/m(位置フィードバックゲイン19000)としたときの応答のシミュレーション結果として、位置偏差、速度、加速度、外力推定値、及び駆動力の時間(秒)変化を示す。
Claims (4)
- 部品を精密に位置決めするための装置であって、
磁界に置かれたコイルを弾性案内部材により所定の方向に変位可能に支持し、該コイルに電流を流すことによって該コイルを含むアクチュエータを駆動し、該アクチュエータの変位により前記部品の位置決めを行うボイスコイルモータと、
前記アクチュエータの変位を検出する変位センサと、
前記変位センサで検出された変位から速度及び加速度を算出し、前記アクチュエータを含む機械系のインピーダンスに基づいて前記アクチュエータの位置、速度及び加速度と任意に設定した力とから前記アクチュエータの駆動力を演算し、演算した駆動力に応じて前記コイルに供給する電流を出力するコントローラと
を備えたことを特徴とする精密位置決め装置。 - 請求項1記載の精密位置決め装置において、前記コントローラは、前記変位センサで検出された変位から速度を算出する速度演算部と、該速度から加速度を算出する加速度演算部と、前記インピーダンスを表わす位置、速度及び加速度の各フィードバックゲインに前記アクチュエータの位置、速度及び加速度を掛けて得られる値と任意に設定した外力の値とから前記駆動力を演算するインピーダンス制御演算部と、該駆動力に応じて前記コイルに供給する電流を生成する駆動電流生成部とを備えていることを特徴とする精密位置決め装置。
- 請求項1又は2記載の精密位置決め装置において、前記コントローラは、前記アクチュエータの位置及び加速度と前記駆動力とから外力を推定演算する外力推定演算部を備えていることを特徴とする精密位置決め装置。
- 請求項3記載の精密位置決め装置において、前記外力推定演算部は、前記アクチュエータの質量及び前記弾性案内部材の弾性係数の各設計値に前記アクチュエータの位置及び加速度を掛けて得られる値と前記駆動力の値とから外力推定値を演算することを特徴とする精密位置決め装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008122640A JP5284683B2 (ja) | 2008-05-08 | 2008-05-08 | 精密位置決め装置 |
PCT/JP2009/002012 WO2009136504A1 (ja) | 2008-05-08 | 2009-05-07 | 精密位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008122640A JP5284683B2 (ja) | 2008-05-08 | 2008-05-08 | 精密位置決め装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009271783A JP2009271783A (ja) | 2009-11-19 |
JP5284683B2 true JP5284683B2 (ja) | 2013-09-11 |
Family
ID=41264561
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008122640A Active JP5284683B2 (ja) | 2008-05-08 | 2008-05-08 | 精密位置決め装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5284683B2 (ja) |
WO (1) | WO2009136504A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5500995B2 (ja) * | 2010-01-06 | 2014-05-21 | アズビル株式会社 | 力検出装置 |
JP6711536B2 (ja) * | 2016-10-28 | 2020-06-17 | アズビル株式会社 | 外力検出方法 |
DE102020105759A1 (de) * | 2020-03-04 | 2021-09-09 | Ewellix AB | Sensorsystem für einen Aktuator, Aktuator und Verfahren zur Bewegung eines Aktuatorteils |
CN111478631B (zh) * | 2020-05-25 | 2021-08-17 | 南京工程学院 | 一种用于贴片机的音圈电机控制***及控制方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0683976B2 (ja) * | 1988-03-15 | 1994-10-26 | インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン | コンプライアンス制御方法 |
JP3170367B2 (ja) * | 1992-12-07 | 2001-05-28 | 松下電工株式会社 | インピーダンス制御方法及びシミュレータ |
JPH0724665A (ja) * | 1993-07-05 | 1995-01-27 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 自動組立装置 |
JP2531448B2 (ja) * | 1993-09-10 | 1996-09-04 | 日本電気株式会社 | 半導体素子実装装置 |
-
2008
- 2008-05-08 JP JP2008122640A patent/JP5284683B2/ja active Active
-
2009
- 2009-05-07 WO PCT/JP2009/002012 patent/WO2009136504A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2009136504A1 (ja) | 2009-11-12 |
JP2009271783A (ja) | 2009-11-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5284683B2 (ja) | 精密位置決め装置 | |
JP5355122B2 (ja) | パラメータ推定装置 | |
JP4425319B1 (ja) | ボンディング方法、ボンディング装置及び製造方法 | |
US9791018B2 (en) | Vibration isolation apparatus, method of isolating vibration, lithography apparatus, and method of producing device | |
JP6903485B2 (ja) | 制振装置および加工機 | |
JP2017010300A (ja) | 作業装置及びその制御方法 | |
JP5972553B2 (ja) | 位置決め制御装置、これを備えた工作機械 | |
KR100541171B1 (ko) | 진동제어장치 | |
JP4714611B2 (ja) | アクティブ除振装置 | |
JP2019142278A (ja) | アクティブ制振装置 | |
JP2003294434A (ja) | 接触式プローブ | |
JP2008118778A (ja) | 永久磁石型同期機の初期位相検出方法、永久磁石型同期機の制御方法、移動装置、電子部品の製造装置、電子部品の検査装置、精密部品の製造装置、精密部品の検査装置 | |
US10603829B2 (en) | Apparatus for taking out molded product | |
JP5438995B2 (ja) | 形状測定機および倣いプローブ装置 | |
JP4890196B2 (ja) | 振動除去装置 | |
JP2009018394A (ja) | 加圧装置 | |
JP2011132990A (ja) | アクティブ除振装置 | |
JP2007057308A (ja) | 接触式プローブ | |
JP3983637B2 (ja) | 触針式プローブ機構の制御方法及び装置 | |
JP2007067162A (ja) | Xyステージ | |
JP4576875B2 (ja) | リニアアクチュエータおよびチップマウンタ | |
JP4636034B2 (ja) | 可動テーブルの制御装置およびそれを備えた可動テーブル装置 | |
JP2019018568A5 (ja) | ||
JPH0555797A (ja) | 電子部品搭載用ヘツド装置 | |
JP2010084814A (ja) | 振動除去装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110307 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120703 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130403 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130530 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5284683 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |