JP5280041B2 - プローブ支持台とプローブ支持台の使用の下で検査物質を検査する方法 - Google Patents
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Description
2.....プローブカードアダプタ
3.....プローブカード
4.....プローブカードの中央通過口
5.....シールド
6.....ケーブル
7.....フレーム
8.....隙間
11....組立てアングル
12....ボルト
20....検査物質
21....接触面
22....プローブ先端
23....基準点 24....チャックの運動方向
25....接触面配列の優先方向
26....プローブ配列の優先方向
27....X−成分
28....Y−成分
30....ケース
31....チャック
32....位置決め装置
33....収容面
34....プローブ
35....観察装置
Claims (15)
- プローバ内で検査すべき検査物質と電気接触する、次の構成(a)乃至(g)を包含するプローブ支持台において、
(a)プローブを収容するプローブカード(3)と、
(b)プローブカード(3)を収容して適合させるプローブカードアダプタ(2)と、
(c)適合したプローブカード(3)を保持するプローブカードホルダ(1)と、
(d)検査物質を電磁遮蔽する電気伝導材料から成るシールドとを包含し、
(e)シールドがプローブカードホルダ(1)と検査物質の間に配置されて、プローブカードホルダ(1)から電気的に絶縁されており、
(f)プローブカードホルダ(1)とシールドが互いに対応する通過口(4)を有し、その通過口を通してプローブが検査物質に接触し、プローブカード(3)がプローブカードアダプタ(2)によってシールドの通過口に配置されており、
(g)プローブカードアダプタ(2)がプローブカードホルダ(1)から電気的に絶縁されて、シールドと電気的に接続されている、
ことを特徴とするプローブ支持台。 - プローブカードアダプタ(2)は適合されたプローブカード(3)によりシールドの通過口が充填されているように構成されていることを特徴とする請求項1に記載のプローブ支持台。
- プローブカード(3)の検査物質に向いた表面が電気伝導的にプローブカードアダプタ(2)と電気接続されて、この際にプローブカード(3)上のプローブの電気導線に対して電気伝導的接続を有しないことを特徴とする請求項1或いは2に記載のプローブ支持台。
- シールドは電気絶縁されてプローブカードホルダ(1)に固定されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のプローブ支持台。
- プローブカードアダプタ(2)は電気絶縁されてプローブカードホルダ(1)に固定されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のプローブ支持台。
- 次の構成(a)乃至(h)を包含する検査物質を検査するプローバにおいて、
(a)多数の検査物質を収容する収容面を備えるチャック配列部と、
(b)プローブカードを収容するプローブ支持台と、
(c)プローブ支持台がプローブを収容するプローブカード(3)と、プローブカード(3)を収容して適合させるプローブカードアダプタ(2)と、適合したプローブカード(3)を保持するプローブカードホルダ(1)と、検査物質を電磁遮蔽するシールドとを包含すること、
(d)シールドがプローブカードホルダ(1)と検査物質の間に配置されて、プローブカードホルダ(1)から電気的に絶縁されていること、
(e)プローブカードホルダ(1)とシールドが互いに対応する通過口(4)を有し、その開口を通してプローブが検査物質に接触すること、
(f)プローブカード(3)がプローブカードアダプタ(2)によってシールドの開口に配置されていること、
(g)プローブカードアダプタ(2)がプローブカードホルダ(1)から電気的に絶縁されて、シールドと電気的に接続されていること、
(h)プローブに対して三立体方向X,YとZにおいて各検査物質を位置決めする少なくとも一つの位置決め装置と、
を包含することを特徴とするプローバ。 - プローブカードアダプタ(2)は適合されたプローブカード(3)によりシールドの通過口がほぼ完全に充填されているように構成されていることを特徴とする請求項6に記載のプローバ。
- プローブカード(3)の検査物質に向いた表面が電気伝導的にプローブカードアダプタ(2)と電気接続されて、この際にプローブカード(3)上のプローブの電気導線に対して電気伝導的接続を有しないことを特徴とする請求項6或いは7に記載のプローバ。
- シールドは電気絶縁されてプローブカードホルダ(1)に固定されていることを特徴とする請求項6乃至8のいずれか一項に記載のプローバ。
- プローブカードアダプタ(2)は電気絶縁されてプローブカードホルダ(1)に固定されていることを特徴とする請求項6乃至9のいずれか一項に記載のプローバ。
- プローバは電気伝導性外部ケースを有することを特徴とする請求項6乃至10のいずれか一項に記載のプローバ。
- 外部ケースはアース電位に置かれ、チャックの収容面はアース電位に比べて相違する第一電位に置かれ、シールドは第一電位と同じ高さである第二電位に置かれることを特徴とする請求項11に記載のプローバ。
- 検査すべき検査物質がチャックの収容面上に配置されて、各検査物質がプローバのプローブ配列部に対して少なくとも一つの位置決め装置によって位置決めされ、引き続いてプローブを通して接触されて測定され、その間にチャックの収容面の平面(X−Y−平面)においてチャックとプローブ配列部の間の相対運動によってチャックの第一基準位置の始動後に位置決めするために、第一と各別の接触位置が始動され、それによりプローブによって第一と各別の検査物質の接触がX−Y−平面に対して垂直な送り運動によって行われる、請求項1乃至5のいずれか一項に記載のプローブ支持台を備えたプローバ又は請求項6乃至12のいずれか一項に記載のプローバ内で検査物質の一つを位置決めして検査する方法において、
検査物質に対する遮蔽部が検査物質の付近に且つ僅かな構成の高さにより配置されているために、プローブ支持台が位置決め装置自体に影響を与えないことと、
X−Y−平面に対して垂直である回転軸線を中心にチャックの収容面或いはチャック上に載置する収容板の回転による第一接触位置の進行前に、X−Y−平面のX−方向或いはY−方向と一致しないプローブ配列部の好ましい方向に対する検査物質の接触配列部の好ましい方向が整合されるので、両優先方向が0°或いは90°の角度を形成し、チャックの第一基準位置と次の第一並びに各別の接触位置とがX−方向の第一成分とY−方向の第二成分から構成される経路で始動されることと、
を特徴とする方法。 - 請求項13に記載の検査物質を検査する方法において、第一基準位置の始動後のチャックの収容面の回転が行われ、引き続いて第二基準位置がX−修正成分とY−修正成分から構成される経路で始動され、それから上記成分が接触位置を始動させるX−方向とY−方向に求められ、経路が先行した接触位置に対する位置から各別の接触位置まで求められることを特徴とする方法。
- 請求項13に記載の検査物質を検査する方法において、第一基準位置の始動後のチャックの収容面の回転が行われ、引き続いて第一X−Y−位置がX−成分とY−成分から構成される経路を始動され、それら成分はチャックの回転と第一接触位置に対する基準位置の位置から求められ、経路が先行した接触位置に対する位置から各別の接触位置まで求められることを特徴とする方法。
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