JP5269285B2 - 流量測定器 - Google Patents
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 58
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 18
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 93
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 12
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 12
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 108
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 31
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 26
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 24
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 24
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 15
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 12
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 11
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 8
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 4
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000005063 solubilization Methods 0.000 description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000010583 slow cooling Methods 0.000 description 1
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
Q1=C1A1(2ΔP1/ρ1)1/2・・・(1)
ここで,C1は定数(流量係数,約0.6〜0.8),A1[m2]は前述した開口40の開口面積,ρ1[kg/m3]は流体(蒸気)の密度である。式(1)から明らかなように,流量Q1は差圧ΔP1の平方根と比例関係にある。従って,差圧ΔP1と相関関係にある検出値R1から,流量Q1を算出できる。
Q2=C2A2(2ΔP2/ρ2)1/2・・・(2)
ここで,C2は定数(流量係数,約0.6〜0.8),A2[m2]はオゾンガス流量測定器33における開口40の開口面積(A2=πd2 2/4,d2:オゾンガス流量測定器33における開口40の直径),ρ2[kg/m3]は流体(オゾンガス)の密度である。具体的には,予め実験により,ある差圧ΔP2’を与えたときのときの検出値R2’を調べ,その比例定数α2を求め(ΔP2=α2R2),式(2)に基づいて流量Q2を算出すれば良い。
1 基板処理装置
2 チャンバー
11 蒸気供給管
11a 流路
12 オゾンガス供給管
12a 流路
15 合流部
22 流量調整弁
25 流量調整弁
31 流路
32 蒸気流量測定器
33 オゾンガス流量測定器
40 開口
41 ダイアフラム
42 ひずみゲージ
45 演算部
50 制御部
Claims (7)
- 流路を通過する流体の流量を測定する測定器であって,
開口を設けたダイアフラムを備え,
前記流体は,前記ダイアフラムの上流側の流路から,前記開口を通過して,前記ダイアフラムの下流側の流路に流れる構成とし,
前記ダイアフラムの上流側の流路は,前記ダイアフラムの下流側の流路の流れ方向と略垂直に接続され,
前記ダイアフラムの下流側の流路は,前記ダイアフラムと対向する面が曲面に形成された略半円筒形状の内部空間であり,
前記ダイアフラムのひずみを検出するためのひずみゲージと,前記ひずみゲージの検出値に基づいて前記流量を検出する演算部とを備えたことを特徴とする,流量測定器。 - 前記ダイアフラムの上流側の流路と前記ダイアフラムとの間に,前記ダイアフラムの上流側の流路より大きな内径を有する空間を設け,
前記ダイアフラムの外径を前記空間の内径に合わせた構成としたことを特徴とする,請求項1に記載の流量測定器。 - 前記流路には前記流体の流量を調整する流量調整弁が設けられ,
前記演算部で検出された流量に基づき前記流量調整弁の開度を調節して前記流体の流量を制御する制御部を備えたことを特徴とする,請求項1又は2に記載の流量測定器。 - 前記演算部は,前記ひずみゲージの検出値に基づいて,前記ダイアフラムの上流側における流体の圧力Pと前記ダイアフラムの下流側における流体の圧力Poとの差圧ΔPを求めることを特徴とする,請求項1〜3のいずれかに記載の流量測定器。
- 前記演算部は,前記流量Qを次式:Q=CA(2ΔP/ρ)1/2(C:定数,A:前記開口の開口面積,ΔP:前記ダイアフラムの上流側における流体の圧力Pと前記ダイアフラムの下流側における流体の圧力Poとの差圧(ΔP=P−Po),ρ:前記流体の密度)に基づいて算出することを特徴とする,請求項1〜4のいずれかに記載の流量測定器。
- 前記流体は水蒸気およびオゾンガスであることを特徴とする,請求項1〜5のいずれかに記載の流量測定器。
- 前記ダイアフラムは,樹脂モールドによって形成され,
前記ひずみゲージは樹脂によって前記ダイアフラム内に封止されていることを特徴とする,請求項1〜6のいずれかに記載の流量測定器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005201316A JP5269285B2 (ja) | 2005-07-11 | 2005-07-11 | 流量測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005201316A JP5269285B2 (ja) | 2005-07-11 | 2005-07-11 | 流量測定器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007017367A JP2007017367A (ja) | 2007-01-25 |
JP5269285B2 true JP5269285B2 (ja) | 2013-08-21 |
Family
ID=37754645
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005201316A Active JP5269285B2 (ja) | 2005-07-11 | 2005-07-11 | 流量測定器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5269285B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017065760A1 (en) * | 2015-10-14 | 2017-04-20 | Micro Motion, Inc. | Diaphragm displacement flowmeter |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63236923A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-03 | Fujikura Ltd | 流量センサ |
JPH01167623A (ja) * | 1987-12-23 | 1989-07-03 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 応力センサ |
JPH01207634A (ja) * | 1988-02-16 | 1989-08-21 | Yokogawa Electric Corp | 差圧形流量計 |
DE60112266T2 (de) * | 2000-03-08 | 2006-06-08 | Rosemount Inc., Eden Prairie | Bidirektionaler differenzdruck- durchflusssensor |
JP4669193B2 (ja) * | 2002-10-16 | 2011-04-13 | 忠弘 大見 | 圧力式流量制御装置の温度測定装置 |
JP4204400B2 (ja) * | 2003-07-03 | 2009-01-07 | 忠弘 大見 | 差圧式流量計及び差圧式流量制御装置 |
JP2005042754A (ja) * | 2003-07-23 | 2005-02-17 | Jfe Steel Kk | 潤滑剤の給油脂状態監視方法 |
-
2005
- 2005-07-11 JP JP2005201316A patent/JP5269285B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007017367A (ja) | 2007-01-25 |
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Legal Events
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A977 | Report on retrieval |
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