JP5357478B2 - 差圧式流量測定装置 - Google Patents
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Description
図1は本発明の第1実施例に係る差圧式流量測定装置の縦断面図、図2はポペット弁体を有する開閉弁部の縦断面図、図3は第2実施例に係る差圧式流量測定装置の縦断面図、図4はニードル弁体を有する開閉弁部の縦断面図、図5は多段形状に形成されたニードル弁体の要部断面図である。
20 第1圧力検知部
25 第2圧力検知部
30 圧力損失部
40 接続流路部
50 開閉弁部
Claims (3)
- 被計測流体の流体圧力を検知する第1圧力検知部と第2圧力検知部とが圧力損失部を介して配置された差圧式流量測定装置において、
前記第1圧力検知部と前記第2圧力検知部とが被計測流体に対してダイヤフラムからなる保護膜を介して配置されており、
前記第1圧力検知部と前記第2圧力検知部との間を単一の流路で接続する接続流路部と、
前記接続流路部に配置され、ダイヤフラム部と一体に形成されるとともに貫通孔が形成されたポペット弁体を有し、該ポペット弁体が弁室内で前記圧力損失部を有する流出口に対して進退して開閉制御されるとともに、前記流出口の閉鎖時に前記貫通孔を介して前記弁室への流入側流路と前記弁室からの流出側流路とを連通させて、被計測流体が前記貫通孔を流通する際に前記流入側流路と前記流出側流路との間に差圧を生じさせる開閉弁部と、
前記開閉弁部の開閉動作を制御する演算部と
を備えたことを特徴とする差圧式流量測定装置。 - 被計測流体の流体圧力を検知する第1圧力検知部と第2圧力検知部とが圧力損失部を介して配置された差圧式流量測定装置において、
前記第1圧力検知部と前記第2圧力検知部とが被計測流体に対してダイヤフラムからなる保護膜を介して配置されており、
前記第1圧力検知部と前記第2圧力検知部との間を単一の流路で接続する接続流路部と、
前記接続流路部に配置され、ダイヤフラム部と一体に形成されるとともに多段形状に形成されたニードル弁体を有し、該ニードル弁体が弁室内で前記圧力損失部を有する流出口に対して進退して開閉制御されるとともに、前記ニードル弁体の前記流出口に対する挿入状態に応じて前記流出口の開口量を可変させて、被計測流体が前記流出口を流通する際に前記弁室への流入側流路と前記弁室からの流出側流路との間に差圧を生じさせる開閉弁部と、
前記開閉弁部の開閉動作を制御する演算部と
を備えたことを特徴とする差圧式流量測定装置。 - 前記第1圧力検知部と、前記第2圧力検知部と、前記接続流路部と、前記開閉弁部のいずれもが単一の本体ブロック内に配置されている請求項1又は2のいずれか1項に記載の差圧式流量測定装置。
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