JP5267128B2 - 超音波センサ - Google Patents
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- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 78
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 7
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 31
- 239000000463 material Substances 0.000 description 31
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 23
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 14
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 14
- 230000009471 action Effects 0.000 description 11
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000003570 air Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 4
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 3
- 238000013017 mechanical damping Methods 0.000 description 3
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 3
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 3
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229920005549 butyl rubber Polymers 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000004512 die casting Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005242 forging Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000021715 photosynthesis, light harvesting Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000011345 viscous material Substances 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
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- G10K9/12—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated
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- B60R21/00—Arrangements or fittings on vehicles for protecting or preventing injuries to occupants or pedestrians in case of accidents or other traffic risks
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S15/00—Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems
- G01S15/88—Sonar systems specially adapted for specific applications
- G01S15/93—Sonar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes
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- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/52—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S15/00
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Description
−備考−
(請求項9)
有底筒状のケースの底部内側に圧電素子を固定し、前記底部を振動面として構成した超音波センサにおいて、
前記ケースの側壁部の内側に設けられ、中心部に軸方向に延びる中央穴を有し、前記中央穴の周囲に平面部を有する環状の内側支持体と、
前記内側支持体の中央穴内および平面部上に充填された粘弾性体よりなる充填材と、前記内側支持体の平面部上に前記充填材を間にして平面部と対向して配置され、当該充填材よりも剛性の高い板状部材と、を備え、
前記ケースは、有底筒状の外側ケースと、この外側ケースの内側に接合固定され、前記外側ケースより密度の高い金属材料で形成されている内側ケースとで構成され、
前記内側支持体は前記内側ケースに設けられていることを特徴とする超音波センサ。
(請求項10)
前記平面部は前記ケースの底部と平行な面であることを特徴とする請求項9に記載の超音波センサ。
(請求項11)
前記内側支持体の前記圧電素子側と反対側の端部に凹部が形成され、前記凹部の底面に前記平面部が形成され、前記凹部に前記板状部材が収納されていることを特徴とする請求項9又は10に記載の超音波センサ。
(請求項12)
前記内側支持体の前記圧電素子側と反対側の端部には前記平面部のみが形成され、前記板状部材の外周は前記内側支持体の外周とほぼ同一形状に形成されていることを特徴とする請求項9又は10に記載の超音波センサ。
(請求項13)
前記板状部材の中心部には、前記内側支持体の中央穴と対応する貫通穴が形成され、前記圧電素子に接続された接続端子が、前記内側支持体の中央穴および前記板状部材の貫通穴を介し、非接触で外部に導出されていることを特徴とする請求項9ないし12のいずれかに記載の超音波センサ。
1 外側ケース
1a 底部(振動面)
2,2A,2B,2C,2D,2E 内側ケース(内側支持体)
2a 凹部(前面側)
2b 中央穴
2c 凹部(背面側)
2d 平面部
3 圧電素子
4a,4b 金属端子
5 音波吸収材
6 充填材
7 板状部材
7a 貫通穴
8,8A ケース
8a 底部
8c 中央穴
8d 平面部
Claims (8)
- 有底筒状のケースの底部内側に圧電素子を固定し、前記底部を振動面として構成した超音波センサにおいて、
前記ケースの側壁部の内側に設けられ、中心部に軸方向に延びる中央穴を有し、前記中央穴の周囲に平面部を有する環状の内側支持体と、
前記内側支持体の中央穴内および平面部上に充填された粘弾性体よりなる充填材と、
前記内側支持体の平面部上に前記充填材を間にして平面部と対向して配置され、当該充填材よりも剛性の高い板状部材と、を備え、
前記板状部材は前記内側支持体又は前記ケースに対して前記充填材のみを介して保持されていることを特徴とする超音波センサ。 - 前記平面部は前記ケースの底部と平行な面であることを特徴とする請求項1に記載の超音波センサ。
- 前記ケースは、有底筒状の外側ケースと、この外側ケースの内側に接合固定された内側ケースとで構成され、前記内側支持体は前記内側ケースに設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の超音波センサ。
- 前記内側ケースは、前記外側ケースより密度の高い金属材料で形成されていることを特徴とする請求項3に記載の超音波センサ。
- 前記内側支持体の前記圧電素子側と反対側の端部に凹部が形成され、前記凹部の底面に前記平面部が形成され、前記凹部に前記板状部材が収納されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の超音波センサ。
- 前記内側支持体の前記圧電素子側と反対側の端部には前記平面部のみが形成され、前記板状部材の外周は前記内側支持体の外周とほぼ同一形状に形成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の超音波センサ。
- 前記板状部材の中心部には、前記内側支持体の中央穴と対応する貫通穴が形成され、前記圧電素子に接続された接続端子が、前記内側支持体の中央穴および前記板状部材の貫通穴を介し、非接触で外部に導出されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の超音波センサ。
- 前記ケースの側壁部の内側に前記内側支持体が一体に形成されていることを特徴とする請求項1、2、5〜7のいずれかに記載の超音波センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008539798A JP5267128B2 (ja) | 2006-10-20 | 2007-10-15 | 超音波センサ |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006285700 | 2006-10-20 | ||
JP2006285700 | 2006-10-20 | ||
JP2008539798A JP5267128B2 (ja) | 2006-10-20 | 2007-10-15 | 超音波センサ |
PCT/JP2007/070049 WO2008047743A1 (fr) | 2006-10-20 | 2007-10-15 | capteur ultrasonore |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008047743A1 JPWO2008047743A1 (ja) | 2010-02-25 |
JP5267128B2 true JP5267128B2 (ja) | 2013-08-21 |
Family
ID=39313970
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008539798A Active JP5267128B2 (ja) | 2006-10-20 | 2007-10-15 | 超音波センサ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7737609B2 (ja) |
EP (1) | EP2076062B1 (ja) |
JP (1) | JP5267128B2 (ja) |
KR (1) | KR101064922B1 (ja) |
CN (1) | CN101529927B (ja) |
WO (1) | WO2008047743A1 (ja) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101102223B1 (ko) | 2006-11-27 | 2012-01-05 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 초음파 트랜스듀서 |
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2007
- 2007-10-15 WO PCT/JP2007/070049 patent/WO2008047743A1/ja active Application Filing
- 2007-10-15 KR KR1020097008068A patent/KR101064922B1/ko active IP Right Grant
- 2007-10-15 EP EP07829783.5A patent/EP2076062B1/en active Active
- 2007-10-15 CN CN2007800389516A patent/CN101529927B/zh active Active
- 2007-10-15 JP JP2008539798A patent/JP5267128B2/ja active Active
-
2009
- 2009-04-17 US US12/425,548 patent/US7737609B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6385998U (ja) * | 1986-11-26 | 1988-06-04 | ||
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101529927B (zh) | 2012-09-26 |
US7737609B2 (en) | 2010-06-15 |
KR101064922B1 (ko) | 2011-09-16 |
US20090195123A1 (en) | 2009-08-06 |
EP2076062B1 (en) | 2018-01-17 |
EP2076062A4 (en) | 2016-12-21 |
JPWO2008047743A1 (ja) | 2010-02-25 |
CN101529927A (zh) | 2009-09-09 |
WO2008047743A1 (fr) | 2008-04-24 |
KR20090068264A (ko) | 2009-06-25 |
EP2076062A1 (en) | 2009-07-01 |
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Date | Code | Title | Description |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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