JP5242345B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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Description
図2は基板搬送装置1の駆動部2近傍の構成を示す断面図である。
駆動部2は、図2に示すように、例えばモータ回転子11、12、環状駆動シャフト15、駆動シャフト18を備えている。
図3に示すように、ハンド部5は、図1に示す回動軸は22、23などが下カバー5Bによって被覆された構造となっている。
リンク部材33は、図4、図5に示すように、調整用螺子部材34、調整用螺子部材34を挟むように設けられたリンク部35、36を備えている。
以上が、本発明の実施の形態の基板搬送装置1の装置構成の説明である。
図6は一対の関節アーム3、4が屈曲した状態を示すハンド部の拡大図である。
図6に示すように、例えば一対の関節アーム3、4が屈曲した状態では、図4に示す一対の関節アーム3、4が伸びた状態に比べて、一対の関節アーム3、4がX方向に平行により近づいた位置に配置される。調整用螺子部材34の位置は、図6に示すように、補助回動ギア32の中心Oと回動プーリ31の中心Rとの間の長さと、連結ピン31Aと連結ピン32A(または貫通孔33Aの中心Pと貫通孔33Bの中心Q)との間の長さとが同じになるように予め調整されている。この結果、例えば図6に示すように回転ギア32の中心Oと連結ピン32AとがY方向で同一直線上に位置する。また、回動プーリ31の中心Rと連結ピン31AとがY方向で同一直線上に位置する。
本変形例のリンク部材100では、雌螺子103が形成されたリンク部104に調整用螺子部材102が組み込まれている。調整用螺子部材102は、外周形状が雌螺子103と螺合する形状となっており、その内部は雌螺子105が形成されている。リンク部106の貫通孔33Aの中心点Pの反対側の端部には、雄螺子41が形成されている。ここで、雌螺子103と調整用螺子部材102の外周形状のピッチ(例えば1.25)は等しく、調整用螺子部材102内部の雌螺子105と雄螺子41のピッチ(例えば1.0)は等しい。
また、図5に示すリンク部材33の雄螺子41、42、雌螺子43、44に代えて、雄螺子41および雌螺子43にピッチp1が等しい右ねじを用い、雄螺子42及び雌螺子44にピッチがp1(雄螺子41、雌螺子43のピッチと等しい)の左ねじを用いてもよい。この構成によれば、調整用螺子部材34の回転により、貫通孔33Aの中心Pと貫通孔33Bの中心Qとの間の長さをピッチp1×2という比較的長い長さで調整が可能となり、貫通孔33Aの中心Pと貫通孔33Bの中心Qとの間の長さを容易に調整することが可能となる。例えばピッチp1が1.25mmのときには、調整用螺子部材34を1回転させることで、リンク部材を2.5mm伸ばす(縮まらせる)ことができる。
Claims (3)
- 駆動源によって駆動する駆動軸と、
前記駆動軸とそれぞれ連結された一端部と、一軸方向に沿って相互に対向する他端部とをそれぞれ有し、前記駆動軸の駆動により互いに相反する向きに屈伸可能な一対の関節アームと、
基板を支持する基板支持部を有するハンド部と、
前記一対の関節アームのそれぞれの他端部に支持され、前記ハンド部に回動自在に設けられた第1の回動部及び第2の回動部と、
前記第1の回動部と連動可能に、かつ中心間の長さを所定長さとして前記第2の回動部と前記一軸方向に対向して設けられ、前記第1の回動部の回動に応じてその回動量の分だけ逆転方向に回動する補助回動部と、
前記一対の関節アームの屈伸に伴う前記補助回動部と前記第2の回動部とのそれぞれの回動量を揃えるように前記補助回動部と前記第2の回動部とを連結し、前記一軸方向に延在する連結部材と
を具備し、
前記連結部材は、
一方の端部に配置され前記補助回動部と連結する第1の連結点と、他方の端部に第1のピッチで形成された第1の螺子部とを含む第1のリンク部と、
一方の端部に配置され前記第2の回動部と連結する第2の連結点と、他方の端部に前記第1のピッチとは異なる第2のピッチで形成された第2の螺子部とを含む第2のリンク部と、
一方の端部に前記第1のピッチで形成され前記第1の螺子部に螺合する第3の螺子部と、他方の端部に前記第2のピッチで形成され前記第2の螺子部に螺合する第4の螺子部とを含み、前記第1の連結点と前記第2の連結点との間の長さが前記所定長さとなるように調整する調整用螺子部材とを有する
基板搬送装置。 - 請求項1の記載の基板搬送装置であって、
前記ハンド部は、前記第1及び第2の回動部、前記補助回動部および前記連結部材を覆うためのカバー部材を有することを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項2の記載の基板搬送装置であって、
前記カバー部材に接続され、前記ハンド部内の気体を流出する流路を有する流通部を更に具備する基板搬送装置。
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