JP5219949B2 - 金属フッ化物結晶及び真空紫外発光素子 - Google Patents
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(金属フッ化物結晶の製造)
図3に示すマイクロ引下げ法による結晶製造装置を用いて、(Nd,Tm/Er):LLFの単結晶を製造した。原料としては、純度が99.99%以上のフッ化リチウム、フッ化ルテチウム、フッ化ネオジム、及び、フッ化ツリウム又はフッ化エルビウムを用いた。なお、アフターヒーター1、ヒーター2、断熱材3、ステージ4、及び坩堝5は、高純度カーボン製のものを使用し、坩堝底部に設けた孔の形状は直径2.2mm、長さ0.5mmの円柱状とした。
・X線回折測定
得られた(Nd,Tm/Er):LLFの単結晶を粉砕して粉末にし、粉末X線回折測定に供した。なお、分析装置はブルカー社製DiscoverD8を用いた。粉末X線回折法によって得られた回折パターンを解析した結果から、実施例1〜6の金属フッ化物結晶はフッ化リチウムルテチウム型の結晶からなることが分かった。
・蛍光X線測定
得られた(Nd,Tm/Er):LLFの単結晶を粉砕した粉末をプレス成型してペレットにし、蛍光X線測定に供した。なお、分析装置はパナリティカル社製波長分散型蛍光X線測定装置Axiosを用いた。
得られた(Nd,Tm/Er):LLFの単結晶を、ダイヤモンドワイヤーを備えたワイヤーソーによって15mmの長さに切断した後、研削し、長さ15mm、幅2mm、厚さ1mmの直方体に加工した。かかる直方体の長さ15mm、幅2mmの2つの面を真空紫外線の出射面とし、当該真空紫外線の出射面に光学研磨を施して、真空紫外発光素子を得た。
前記真空紫外発光素子を、155nmの真空紫外線で励起した際の発光特性を以下の方法によって測定した。なお、当該測定は、装置内部を窒素で置換して実施した。
表1に示すとおりの原料を用いて、実施例と同様にして比較例1〜3の金属フッ化物結晶を製造した。得られた金属フッ化物について、実施例と同様にして同定した結果、比較例1〜3の金属フッ化物結晶は、それぞれ表1に示す化学式で表わされる金属フッ化物結晶からなることが分かった。
2 ヒーター
3 断熱材
4 ステージ
5 坩堝
6 チャンバー
7 高周波コイル
8 引き下げロッド
Claims (2)
- 化学式LiLu1−x−yNdxMyF4で表わされ、MがTmまたはErであり、xが0.0001〜0.2、yが0.0001〜(1−x)の範囲であることを特徴とする金属フッ化物結晶。
- 請求項1記載の金属フッ化物結晶からなることを特徴とする真空紫外発光素子。
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