JP5211550B2 - シリコン単結晶ウェーハの製造方法 - Google Patents
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Description
図1に示す本実施形態に係るシリコン単結晶ウェーハの製造方法では、初期格子間酸素濃度が0.7〜1.8×1018atoms/cc(ASTM F−121,1979)となるCZ法条件でシリコンインゴッドを育成する。シリコン育成時の酸素濃度が0.7×1018atoms/ccに満たないと薄膜デバイス活性層の直下に、ゲッタリング源となる安定な酸素析出物が有効数存在しない。
1)直径200mmのシリコン単結晶インゴット(初期格子間酸素濃度が1.3×1018atoms/cm3(ASTM F−121,1979),比抵抗が10Ω・cm,CZ法)からスライスして最終鏡面加工前の複数枚のシリコンウェーハに、縦型バッチ式熱処理炉を用いて水素ガス雰囲気において1200℃×1時間の第1の熱処理を施した。第1の熱処理前にウェーハのCOP測定を行った結果、0.12μmサイズ以下のCOPが面内に50〜100個存在していることを確認した。これをサンプル1)とする。
上記第1の熱処理が施された残りのウェーハを3グループに分け、それぞれのグループのウェーハ表面を、Aグループは20μm、Bグループは10μm、Cグループは5μmの研磨代で鏡面研磨を行った。
上記サンプル1)のA,B,Cグループのバッチ式炉で熱処理されたウェーハをそれぞれ2枚ずつ抜き取って、それぞれ比較例2,実施例3,実施例4の試料とし、これら6枚のウェーハについて、気相成長装置を用いて鏡面研磨したウェーハ表面に4μmのシリコンエピタキシャル膜を成長させた。エピタキシャル成長条件は、水素ガス雰囲気中で1170℃×90秒のベーキングを行ったのち、トリクロロシランガスによりシリコンエピタキシャル膜を成長させた。
上記ランプ熱処理炉で熱処理されたサンプル2)のB,Cグループのウェーハをそれぞれ1枚ずつ抜き取って、第2の熱処理前にCOPの個数を観察したが0.12μmサイズ以下で面内40個と88個を確認した。次にそれぞれ実施例5,実施例6の試料とし、これら2枚のウェーハについて、ハロゲンランプを熱源としたランプ熱処理炉を用いてアルゴン雰囲気下で1200℃×1分の第2の熱処理を施した。同様にCOPの個数を観察したが0.12μm以下のサイズで面内5個と9個であることを確認した。
Claims (5)
- チョクラルスキー法によって育成された単結晶から加工されたシリコンウェーハに熱処理を施して、表面に無欠陥層を形成するとともに前記無欠陥層の直下にゲッタリング層を形成する第1熱処理工程と、
前記熱処理が施されたウェーハ表面を、所定厚さのデバイス活性層を残すように研磨する工程と、
前記研磨されたウェーハを、1100℃以上、シリコンの融点以下の温度で熱処理する第2熱処理工程と、を有することを特徴とするシリコン単結晶ウェーハの製造方法。 - 前記第1熱処理工程における熱処理は、複数のシリコンウェーハを治具に搭載して熱処理を施すバッチ式アニール炉の場合には非酸化性ガス雰囲気下であり1000℃〜1250℃で10分〜1時間、枚葉式ランプ炉の場合には1100℃〜1280℃で1秒〜15分間の熱処理後に10℃/秒以上の速度で降温させることを特徴とする請求項1に記載のシリコン単結晶ウェーハの製造方法。
- 前記第1熱処理工程前に使用されるシリコン単結晶ウェーハは、鏡面研磨前のウェーハまたは鏡面研磨されたウェーハであることを特徴とする請求項1または2に記載のシリコン単結晶ウェーハの製造方法。
- 前記第1の熱処理後に形成する無欠陥層の深さが、10〜30μmであることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のシリコン単結晶ウェーハの製造方法。
- 前記研磨工程における研磨代が、5〜20μmであることを特徴とする請求項4に記載のシリコン単結晶ウェーハの製造方法。
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