TWM455980U - 角度校正治具 - Google Patents

Description

角度校正治具

本創作是有關於一種角度校正治具，且特別是有關於一種機械手臂的角度校正治具。

在晶圓測試的過程中，機械手臂會將晶圓從晶舟盒中載出，並放置於晶圓針測機之測試平台上與探針卡接觸，測試訊號經探針卡傳導至晶圓上，藉由測試程式判定晶圓上之晶粒之好壞。待晶圓測試完成後，機械手臂會再度將晶圓放置回晶舟盒中。

機械手臂在將晶圓自晶舟盒中取出或是將晶圓放回至晶舟盒時，若是承載晶圓之機械手臂的角度不正確，將導致晶圓的邊緣摩擦晶舟盒之插槽，造成晶圓邊緣破損，甚至是晶圓破裂。並且，由於晶圓製造技術的發展越趨進步，晶圓的厚度有日益變薄的趨勢。當晶圓厚度愈薄，機械手臂之角度的微小誤差，就有可能造成晶圓的毀損。

目前，判斷機械手臂的角度是否正確的方式，主要是使用人工目測，但是每個維修人員所判定的角度並非一致，僅以人工目測機械手臂的角度是否正確的方式常常造成晶圓邊緣損毀或破裂。

本創作提供一種角度校正治具，其可透過雷射的方式 輔助操作人員能輕易判定機械手臂的角度是否正確。

本創作提出一種角度校正治具，適於校正一機械手臂的角度，機械手臂用以自一晶舟盒中拿取一晶圓或將晶圓放置至晶舟盒中。晶舟盒包括相對之一第一開口及一第二開口。角度校正治具包括一雷射模組及一投影板模組。雷射模組設置於機械手臂。雷射模組包含一雷射光頭，雷射光頭適於發射一雷射光束。投影板模組包括一雷射光束投影板。雷射光束投影板設置於晶舟盒之第二開口，且雷射光束投影板包括一標記區。雷射光束適於自第一開***入晶舟盒以形成一圖案，角度校正治具藉由圖案是否位於雷射光束投影板之標記區以判斷機械手臂之角度是否正確。

在本創作之一實施例中，上述之雷射模組更包括一雷射光頭固定座，雷射光頭藉由雷射光頭固定座設置於機械手臂。

在本創作之一實施例中，上述之雷射光頭固定座包括一夾具。

在本創作之一實施例中，上述之投影板模組更包括一投影板固定器，雷射光束投影板透過投影板固定器設置於晶舟盒之第二開口。

在本創作之一實施例中，更包含一光感測器，位於該雷射光束投影板之標記區，光感測器用以感測雷射光束。

在本創作之一實施例中，更包含一光感測器，雷射光束投影板之標記區包括至少一開槽，雷射光束投影板位於光感測器與機械手臂之間，光感測器用以感測穿過開槽之 該雷射光束。

在本創作之一實施例中，更包含一控制器，電性連接於機械手臂，當圖案未落於標記區內時，控制器調整機械手臂之角度。

在本創作之一實施例中，上述之雷射光束所形成之圖案為十字形。

在本創作之一實施例中，上述之雷射光束所形成之圖案為水平線。

在本創作之一實施例中，上述之晶圓適於容置在晶舟盒之第一開口及第二開口之間。

基於上述，本創作之角度校正治具藉由將雷射模組設置於機械手臂上並且判斷雷射模組之雷射光頭所投射出雷射光束，是否落入投影板模組的雷射光束投影板的標記區上，以確認機械手臂的角度是否正確。此外，本創作之角度校正治具藉由將光感測器設置於雷射光束投影板的標記區，或是雷射光束投影板的標記區以開槽的形式，並將光感測器設置於開槽後方，以透過光感測器來更精準地確認雷射光束所形成之圖案的位置，以判斷機械手臂的角度是否正確。當機械手臂的角度有誤差時，本創作之角度校正治具可藉由控制器來調整機械手臂之角度，以自動進行校正。

為讓本創作之上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

圖1是依照本創作之一實施例之一種角度校正治具、機械手臂及晶舟盒的示意圖。圖2是圖1之角度校正治具的雷射模組與機械手臂的示意圖。圖3是圖1之角度校正治具的雷射模組與投影板模組的示意圖。

請參閱圖1至圖3，本實施例之角度校正治具100適於校正一機械手臂10的角度，機械手臂10可自一晶舟盒20中拿取一晶圓30或將晶圓30放置至晶舟盒20中。晶舟盒20包括相對之一第一開口22及一第二開口24。晶圓30適於容置在晶舟盒20之第一開口22及第二開口24之間。在本實施例中，機械手臂10可伸入晶舟盒20的第一開口22以拿取晶圓30或將晶圓30放入晶舟盒20。

本實施例之角度校正治具100包括一雷射模組110及一投影板模組120。雷射模組110設置於機械手臂10。雷射模組110包含一雷射光頭112及一雷射光頭固定座116，雷射光頭112適於發射一雷射光束114。雷射光束112適於自第一開口22射入晶舟盒20以形成一圖案114a(如圖3所示)。雷射光頭112藉由雷射光頭固定座116設置於機械手臂10。雷射光頭固定座116包括一夾具118。

投影板模組120包括一雷射光束投影板122及一投影板固定器126。雷射光束投影板122透過投影板固定器126設置於晶舟盒20之第二開口24。雷射光束投影板122包括一標記區124。如圖3所示，雷射光束投影板122之標記區124標誌出一個垂直範圍124a以及多個水平範圍 124b，這些水平範圍124b分別平行於晶舟盒20中每層的插槽(未繪示)。

在本實施例中，雷射光束114所形成之圖案114a為十字形。但在其他實施例中，雷射光束114所形成之圖案114a亦可為水平線或是其他圖案。由於機械手臂10位於晶舟盒20的第一開口22附近，位在機械手臂10上的雷射模組110之雷射光頭112所發出的雷射光束114便會經由晶舟盒20的第一開口22射入晶舟盒20中以於位在晶舟盒20之第二開口24的雷射光束投影板122上形成此圖案114a。

本實施例之角度校正治具100利用雷射光頭112所射發出之雷射光束114，投影至雷射光束投影板122上，操作人員可檢梘位於雷射光束投影板122上的圖案114a是否位於標記區124的垂直範圍124a內以及是否平行於標記區124的水平範圍124b，來判斷機械手臂10的角度是否正確。若機械手臂10的角度有誤差存在，便可調整機械手臂10的角度，以使雷射光束114的圖案114a落於標記區124的垂直範圍124a與水平範圍124b內，藉以確保機械手臂10之角度符合規定。如此，操作人員便可透過本實施例之角度校正治具100先將機械手臂10相對於晶舟盒20之插槽的角度調整好之後，再自晶舟盒20中取出晶圓30或是將晶圓30放入晶舟盒20中，以避免因機械手臂10之角度的誤差，而導致晶圓30在取出或放入晶舟盒20的動作中被毀損的狀況。

在本實施例中，角度校正治具100更包含一光感測器130及一控制器140，光感測器130位於雷射光束投影板122之標記區124，光感測器130用以感測雷射光束114。控制器140電性連接於機械手臂10，當光感測器130偵測到圖案114a未落於標記區124內時，控制器140調整機械手臂10之角度。但在其他實施例中，亦可透過操作人員目測的方式來判斷雷射光束114之圖案114a是否落於標記區124內，若發現雷射光束114之圖案114a並未落於標記區124時，操作人員亦可透過手動的方式調整機械手臂10之角度，直到雷射光束114之圖案114a位於標記區124為止。當然，判斷雷射光束114之圖案114a與調整機械手臂10的方式不以上述為限制。

圖4是依照本創作之另一實施例之一種角度校正治具之雷射模組與投影板模組的示意圖。請參閱圖4，圖4之角度校正治具200與圖1之角度校正治具100的主要差異在於，圖4之角度校正治具200的雷射光束投影板222之標記區224包括至少一開槽224a，如圖4所示，本實施例之開槽224a包括一個垂直槽224b及多個水平槽224c，雷射光束214可穿過開槽224a。並且，雷射光束投影板222位於光感測器230與機械手臂10之間。也就是說，在本實施例中，若是機械手臂10位於雷射光束投影板222之前方，則光感測器230位於雷射光束投影板222之後方且對應於開槽224a的位置。如此，光感測器230可感測穿過開槽224a之雷射光束214。在本實施例中，角度校正治具200 透過位於開槽224a後方的光感測器230偵測雷射光束214之圖案214a是否正確。

也就是說，若機械手臂10的角度存在誤差，而使得設置於機械手臂10上的雷射光頭212所發出的雷射光束214被雷射光束投影板222阻擋，導致光感測器230感測到不完整的圖案。因此，本實施例之角度校正治具200利用光感測器230偵測所感測到的圖案是否完整可用來判斷機械手臂10的角度是否正確。在本實施例中，雷射光束214之圖案214a會形成於光感測器230上。而在圖1中，圖1之角度校正治具100的光感測器130則是位於雷射光束投影板122之標記區124，直接感測投影在雷射光束投影板122上的圖案124a。

另外，當機械手臂10之角度存在誤差時，本實施例之角度校正治具200可透過手動或是透過控制器240操作的方式調整機械手臂10的角度，以對機械手臂10之角度進行校正，直到雷射光束214之圖案214a位於標記區224為止。本實施例之角度校正治具200可有效避免因機械手臂10之角度的誤差，而導致晶圓30在取出或放入的動作中被毀損的狀況。

綜上所述，本創作之角度校正治具藉由將雷射模組設置於機械手臂上並且判斷雷射模組之雷射光頭所投射出雷射光束，是否落入投影板模組的雷射光束投影板的標記區上，以確認機械手臂的角度是否正確。此外，本創作之角度校正治具藉由將光感測器設置於雷射光束投影板的標記 區，或是雷射光束投影板的標記區以開槽的形式，並將光感測器設置於開槽後方，以透過光感測器來更精準地確認雷射光束所形成之圖案的位置，以判斷機械手臂的角度是否正確。當機械手臂的角度有誤差時，本創作之角度校正治具可藉由控制器來調整機械手臂之角度，以自動進行校正。

雖然本創作已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本創作，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本創作之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，故本創作之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

10‧‧‧機械手臂

20‧‧‧晶舟盒

22‧‧‧第一開口

24‧‧‧第二開口

30‧‧‧晶圓

100、200‧‧‧角度校正治具

110‧‧‧雷射模組

112、212‧‧‧雷射光頭

114、214‧‧‧雷射光束

114a、214a‧‧‧圖案

116‧‧‧雷射光頭固定座

118‧‧‧夾具

120‧‧‧投影板模組

122、222‧‧‧雷射光束投影板

124、224‧‧‧標記區

124a‧‧‧垂直範圍

124b‧‧‧水平範圍

126‧‧‧投影板固定器

130、230‧‧‧光感測器

140、240‧‧‧控制器

224a‧‧‧開槽

224b‧‧‧垂直範圍

224c‧‧‧水平範圍

圖1是依照本創作之一實施例之一種角度校正治具、機械手臂及晶舟盒的示意圖。

圖2是圖1之角度校正治具的雷射模組與機械手臂的示意圖。

圖3是圖1之角度校正治具的雷射模組與投影板模組的示意圖。

圖4是依照本創作之另一實施例之一種角度校正治具之雷射模組與投影板模組的示意圖。

10‧‧‧機械手臂

20‧‧‧晶舟盒

22‧‧‧第一開口

24‧‧‧第二開口

30‧‧‧晶圓

100‧‧‧角度校正治具

110‧‧‧雷射模組

112‧‧‧雷射光頭

116‧‧‧雷射光頭固定座

118‧‧‧夾具

120‧‧‧投影板模組

122‧‧‧雷射光束投影板

126‧‧‧投影板固定器

Claims (10)

1. 一種角度校正治具，適於校正一機械手臂的角度，該機械手臂用以自一晶舟盒中拿取一晶圓或將該晶圓放置至該晶舟盒中，該晶舟盒包括相對之一第一開口及一第二開口，該角度校正治具包括：一雷射模組，設置於該機械手臂，該雷射模組包含一雷射光頭，該雷射光頭適於發射一雷射光束；以及一投影板模組，包括一雷射光束投影板，該雷射光束投影板設置於該晶舟盒之該第二開口，該雷射光束投影板包括一標記區，其中：該雷射光束適於自該第一開***入該晶舟盒以形成一圖案，該角度校正治具藉由該圖案是否位於該雷射光束投影板之該標記區以判斷該機械手臂之角度是否正確。
2. 如申請專利範圍第1項所述之角度校正治具，其中該雷射模組更包括一雷射光頭固定座，該雷射光頭藉由該雷射光頭固定座設置於該機械手臂。
3. 如申請專利範圍第2項所述之角度校正治具，其中該雷射光頭固定座包括一夾具。
4. 如申請專利範圍第1項所述之角度校正治具，其中該投影板模組更包括一投影板固定器，該雷射光束投影板透過該投影板固定器設置於該晶舟盒之該第二開口。
5. 如申請專利範圍第1項所述之角度校正治具，更包含一光感測器，位於該雷射光束投影板之該標記區，該光感測器用以感測該雷射光束。
6. 如申請專利範圍第1項所述之角度校正治具，更包含一光感測器，該雷射光束投影板之該標記區包括至少一開槽，該雷射光束投影板位於該光感測器與該機械手臂之間，該光感測器用以感測穿過該開槽之該雷射光束。
7. 如申請專利範圍第1項所述之角度校正治具，更包含一控制器，電性連接於該機械手臂，當該圖案未落於該標記區內時，該控制器調整該機械手臂之角度。
8. 如申請專利範圍第1項所述之角度校正治具，其中該雷射光束所形成之該圖案為十字形。
9. 如申請專利範圍第1項所述之角度校正治具，其中該雷射光束所形成之該圖案為水平線。
10. 如申請專利範圍第1項所述之角度校正治具，其中該晶圓適於容置在該晶舟盒之該第一開口及該第二開口之間。