JP5195272B2 - 露光装置 - Google Patents
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- 光学系と液体とを介してエネルギビームにより物体を露光する露光装置であって、
前記物体を載置可能で、前記液体が供給される前記光学系直下の液浸領域を含む第1領域と該第1領域の第1方向の一側に位置する第2領域とを含む所定範囲の領域内で所定平面に実質的に沿って移動可能な第1移動体と;
前記物体を載置可能で、前記第1領域と前記第2領域とを含む領域内で前記所定平面に実質的に沿って前記第1移動体とは独立して移動可能な第2移動体と;
前記第1、第2移動体それぞれの、前記所定平面内で前記第1方向と垂直な第2方向の両端面のうち、少なくとも、前記第2方向に関して前記第1移動体と前記第2移動体とが近接又は接触するスクラム状態で相互に対向する側の端面に、その上面が前記第1、第2移動体の上面と前記所定平面に直交する第3方向に関してほぼ同じ位置となる状態で突設され、前記第1方向の幅が前記液浸領域より広い受け渡し部と;
前記相互に対向し得る2つの前記受け渡し部のそれぞれの先端に設けられ、前記第1移動体と前記第2移動体とが前記スクラム状態とされる際に互いに係合するとともに、係合状態では見かけ上フルフラットな面を形成可能な係合部と;
前記第1、第2の移動体を前記所定平面に沿って駆動する平面モータを含み、前記第1、第2の移動体のうちの一方の移動体が前記第1領域に位置する第1の状態から他方の移動体が前記第1領域に位置する第2の状態に遷移させる際に、前記第1移動体と前記第2移動体とが前記受け渡し部を介して前記第2方向に関して近接又は接触するスクラム状態を維持して前記第1、第2移動体を同時に前記第2方向に駆動する移動体駆動系と;を備える露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記第1移動体には、前記第2方向の少なくとも一側に前記所定平面に対して傾斜した第1反射面が設けられ、
前記第2移動体には、前記第2方向の少なくとも一側に前記所定平面に対して傾斜した第2反射面が設けられ、
前記第1、第2反射面に測長ビームを照射して前記第1、第2移動体の前記所定平面に直交する第3方向に関する位置情報を計測する計測システムをさらに備える露光装置。 - 請求項2に記載の露光装置において、
前記計測システムは、前記スクラム状態が維持されている間、前記第1、第2反射面に測長ビームを照射して前記第1、第2移動体の前記第3方向に関する位置情報を計測する干渉計を含む露光装置。 - 請求項2又は3に記載の露光装置において、
前記受け渡し部は、前記第1、第2移動体の少なくとも一方の、前記第2方向の少なくとも一側の、前記計測システムによる前記第1、第2移動体の前記第3方向の位置情報の計測を実質的に阻害しない位置に設けられている露光装置。 - 請求項2〜4のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第1、第2移動体の少なくとも一方の、前記第2方向の少なくとも一側の前記受け渡し部が設けられていない位置に、前記第1、第2反射面が設けられている露光装置。 - 請求項2〜5のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記スクラム状態で互いに対向する側の面以外の前記第1、第2移動体の面にそれぞれ設けられた第3、第4反射面をさらに備え、
前記計測システムは、前記第3、第4反射面にそれぞれ測長ビームを照射し、それぞれの測長ビームの前記第3、第4の反射面からの反射光に基づいて、前記第1、第2移動体の位置を計測する干渉計をさらに含む露光装置。 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記遷移の際には、前記光学系と前記第1領域に位置する移動体との間に、前記液体が保持され続ける露光装置。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記受け渡し部は、前記第1、第2移動体の前記第1方向の端部に設けられている露光装置。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第1、第2の移動体が前記第1移動体と前記第2移動体とが前記受け渡し部を介して前記第2方向に関して近接又は接触するスクラム状態にあるとき、前記第1移動体と前記第2移動体とが前記受け渡し部を介して前記第2方向に関して近接しており、
前記第1移動体と前記第2移動体との少なくとも一方に設けられ、前記スクラム状態で、両移動体間の間隙に位置することで該間隙からの前記液体の漏れを抑制する抑制部材をさらに備える露光装置。 - 請求項9に記載の露光装置において、
前記抑制部材は、シール部材及び撥水コートの少なくとも一方を含む露光装置。 - 請求項1〜10のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記受け渡し部は、庇部である露光装置。 - 請求項1〜11のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第1移動体には、前記第2方向の一側から配線・配管用のケーブルが接続され、
前記第2移動体には、前記第2方向の他側から配線・配管用のケーブルが接続されている露光装置。 - 請求項1〜12のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第1、第2移動体に設けられる前記受け渡し部の配置は、前記第1、第2移動体に保持される物体上の露光対象の複数の区画領域が偶数行であるか、奇数行であるかに応じて定められている露光装置。 - 請求項1〜13のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第2領域に配置され、前記第1及び第2移動体のうち、その直下に位置した特定移動体上に存在するマークを検出するマーク検出系を更に備える露光装置。
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