JP5516691B2 - 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 Download PDFInfo
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- 光学系と液体とを介してエネルギビームにより物体を露光する露光装置であって、
前記物体を載置可能で、前記液体が供給される前記光学系直下の液浸領域を含む第1領域と該第1領域の第1方向の一側に位置する第2領域とを含む所定範囲の領域内で所定平面に実質的に沿って移動可能な第1移動体と、
前記物体を載置可能で、前記第1領域と前記第2領域とを含む領域内で前記所定平面に実質的に沿って前記第1移動体とは独立して移動可能な第2移動体と、
前記第1、第2の移動体のうちの一方の移動体が前記第1領域に位置する第1の状態から他方の移動体が前記第1領域に位置する第2の状態に遷移させる際に、前記第1移動体と前記第2移動体とが前記第1方向に関して、所定のオフセット量ずれ、かつ前記所定平面内で前記第1方向と垂直な第2方向に関して互いの対向面の一部同士を介して近接又は接触するスクラム状態を維持して前記第1、第2移動体を同時に前記第2方向に駆動する移動体駆動系と、を備え、
前記スクラム状態で近接又は接触する前記対向面の一部同士の前記第1方向に関する位置関係は、前記第1、第2移動体に保持される物体上の露光対象の複数の区画領域が偶数行であるか、奇数行であるかに応じて定められる露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記オフセット量は、前記他方の移動体の移動経路を最も短く、かつ所要時間が最短になるように定められている露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
オフセット量は、前記一方の移動体と前記他方の移動体とが、前記対向面の一部を除く部分で互いに干渉することがないように、定められている露光装置。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第1、第2移動体の互いに接触又は近接する前記対向面の一部の少なくとも一方は、前記第1方向の幅が前記液浸領域より広い受け渡し部を含む露光装置。 - 光学系と液体とを介してエネルギビームにより物体を露光する露光方法であって、
前記物体を載置可能で、前記液体が供給される前記光学系直下の液浸領域を含む第1領域と該第1領域の第1方向の一側に位置する第2領域とを含む所定範囲の領域内でそれぞれ独立に移動可能な第1移動体と第2移動体とを、前記第1方向に関して所定のオフセット量ずれ、かつ前記所定平面内で前記第1方向と垂直な第2方向に関して互いの対向面の一部同士を介して近接又は接触するスクラム状態を維持して、同時に前記第2方向に駆動することで、前記液浸領域を、前記第1、第2移動体のうちの一方から他方に受け渡し、前記一方の移動体が前記第1領域に位置する第1の状態から前記他方の移動体が前記第1領域に位置する第2の状態に遷移させる工程を含み、
前記スクラム状態で近接又は接触する前記対向面の一部同士の前記第1方向に関する位置関係は、前記第1、第2移動体に保持される物体上の露光対象の複数の区画領域が偶数行であるか、奇数行であるかに応じて定められる露光方法。 - 請求項5に記載の露光方法において、
前記オフセット量は、前記他方の移動体の移動経路を最も短く、かつ所要時間が最短になるように定められている露光方法。 - 請求項5に記載の露光方法において、
オフセット量は、前記一方の移動体と前記他方の移動体とが、前記対向面の一部を除く部分で互いに干渉することがないように、定められている露光方法。 - 請求項5〜7のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第1、第2移動体の互いに接触又は近接する前記対向面の一部の少なくとも一方は、前記第1方向の幅が前記液浸領域より広い受け渡し部を含む露光方法。 - 請求項5〜8のいずれか一項に記載の露光方法により前記物体を露光するリソグラフィ工程を含むデバイス製造方法。
- 光学系と液体とを介してエネルギビームで物体を露光する露光装置であって、
前記光学系が配置される第1領域と異なる第2領域に配置され、前記物体の位置情報を検出する検出系と、
前記第1、第2領域を含む所定領域において表面が所定平面とほぼ平行に配置されるベース部材と、
それぞれ前記ベース部材上に配置され、上面に前記物体の載置領域を有する第1、第2移動体と、
前記ベース部材に固定子が設けられ、前記第1、第2移動体に可動子が設けられ、前記第1、第2移動体をそれぞれ、前記所定平面に実質的に沿って前記所定領域で移動し、かつ前記第1、第2領域の一方から他方に移動する平面モータシステムと、
前記第1、第2移動体の少なくとも一方に設けられ、且つ前記第1、第2移動体に保持される物体上の露光対象の複数の区画領域が偶数行であるか、奇数行であるかに応じて配置が定められ、前記液体が供給される前記光学系下の液浸領域を維持可能な受け渡し部と、を備え、
前記平面モータシステムは、前記所定平面内の第1方向に関して実質的に平行に端縁部が対向して配置される前記上面の間に前記受け渡し部の少なくとも一部が位置し、かつ一方が前記光学系の下方に配置される前記第1、第2移動体を、前記液浸領域に対して、前記所定平面内で前記第1方向と交差する第2方向に移動し、この移動によって、前記一方の移動体の代わりに前記第1、第2移動体の他方が前記光学系の下方に配置されるとともに、前記液浸領域は、前記光学系の下に維持されつつ前記受け渡し部を介して前記一方の移動体から前記他方の移動体に移動し、
前記液浸領域に対する前記第1、第2移動体の移動における、前記第1方向に関する前記第1、第2移動体の位置関係は、前記液浸領域に対する前記第1移動体から前記第2移動体への置換と、前記液浸領域に対する前記第2移動体から前記第1移動体への置換とで異なる露光装置。 - 請求項10に記載の露光装置において、
前記受け渡し部は、前記液浸領域に対する前記第1、第2移動体の移動において、その上面が前記第1、第2移動体の上面と前記所定平面に直交する第3方向に関してほぼ同じ位置となるように配置される露光装置。 - 請求項10又は11に記載の露光装置において、
前記第1、第2移動体はその位置関係が実質的に維持されつつ前記液浸領域に対して前記第2方向に移動される露光装置。 - 請求項10〜12のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記所定平面に対して傾斜し、前記第1移動体の前記端縁部に前記所定平面内で垂直な方向を向く少なくとも一側に設けられた第1反射面と、
前記所定平面に対して傾斜し、前記第2移動体の前記端縁部に前記所定平面内で垂直な方向を向く少なくとも一側に設けられた第2反射面と、を含み、
前記第1、第2反射面に測長ビームを照射して前記第1、第2移動体の前記所定平面に直交する第3方向に関する位置情報を計測する計測システムを更に備える露光装置。 - 請求項13に記載の露光装置において、
前記計測システムは、前記上面の間に前記受け渡し部の少なくとも一部が位置する状態が維持されている間、前記第1、第2反射面に測長ビームを照射して前記第1、第2移動体の前記第3方向に関する位置情報を計測する干渉計を含む露光装置。 - 請求項13又は14のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記受け渡し部は、前記第1、第2移動体の少なくとも一方の、前記端縁部に前記所定平面内で垂直な方向を向く少なくとも一側の、前記計測システムによる前記第1、第2移動体の前記第3方向の位置情報の計測を実質的に阻害しない位置に設けられている露光装置。 - 請求項13〜15のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第1、第2移動体の少なくとも一方の、前記端縁部に前記所定平面内で垂直な方向を向く少なくとも一側の前記受け渡し部が設けられていない位置に、前記第1、第2反射面が設けられている露光装置。 - 請求項13〜16のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記上面の間に前記受け渡し部の少なくとも一部が位置する状態で互いに対向する側の面以外の前記第1、第2移動体の面にそれぞれ設けられた第3、第4反射面を更に備え、
前記計測システムは、前記第3、第4反射面にそれぞれ測長ビームを照射し、それぞれの測長ビームの前記第3、第4の反射面からの反射光に基づいて、前記第1、第2移動体の位置を計測する干渉計を更に備える露光装置。 - 請求項10〜17のいずれか一項に記載の露光装置において、
2つの受け渡し部が設けられる場合、前記受け渡し部は、前記第1、第2移動体それぞれの前記第1移動体と前記第2移動体とが、前記上面の間に前記受け渡し部の少なくとも一部が位置する状態で両移動体が対向する方向の端面から、相互に対向し得る状態でそれぞれ突出する露光装置。 - 請求項18に記載の露光装置において、
前記相互に対向し得る2つの受け渡し部のそれぞれの先端には、互いに係合するとともに、係合状態では見かけ上フルフラットな面を形成可能な係合部が形成されている露光装置。 - 請求項10〜19のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第1方向に関する前記第1、第2移動体の位置関係は、前記上面の間に前記受け渡し部の少なくとも一部が位置する状態が、次の露光対象である物体の露光開始を最も効率良く行うことを可能とするように、定められている露光装置。 - 請求項10〜19のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第1方向に関する前記第1、第2移動体の位置関係は、一方の移動体と他方の移動体とが、前記上面の間に前記受け渡し部の少なくとも一部が位置するところ以外で対向しないように、定められている露光装置。 - 請求項10〜21のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第1移動体の前記第2移動体への置換と、前記第2移動体の前記第1移動体への置換とで、前記第1及び第2移動体は、前記端縁部と平行な方向に関して反対側にずれる露光装置。 - 請求項10〜22のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第1、第2移動体を交互に用いる複数の物体の露光動作において、前記光学系と前記第1領域に位置する移動体との間に、前記液体が保持され続ける露光装置。 - 請求項10〜23のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第1、第2移動体の少なくとも一方に設けられ、前記液浸領域に対する前記第1、第2移動体の移動において前記第1、第2移動体のうちの一方の移動体に設けられた前記受け渡し部ともう一方の移動体との間隙からの前記液体の漏れを抑制する抑制部材を更に備える露光装置。 - 請求項24に記載の露光装置において、
前記抑制部材は、シール部材及び撥水コートの少なくとも一方を含む露光装置。 - 請求項10〜25のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記受け渡し部は、前記少なくとも一方の移動体において前記上面の端縁部で外側に突設される庇部である露光装置。 - 請求項10〜26のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第1、第2領域は所定方向に関して位置が異なり、
前記第1移動体には、前記所定方向と交差する方向に関して一側からケーブルが接続され、
前記第2移動体には、前記所定方向と交差する方向に関して他側からケーブルが接続されている露光装置。 - 請求項10〜27のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記検出系は、前記第1、第2移動体にそれぞれ載置される物体のマークを検出するマーク検出系を含む露光装置。 - 請求項10に記載の露光装置において、
前記第1方向に関して前記端縁部の一部が対向するようにずれて配置され、かつ前記第2方向に関して互いに接近するように、前記光学系の下方に配置される前記一方の移動体に対して前記他方の移動体が相対移動され、前記受け渡し部は、前記液浸領域に対する前記第1、第2移動体の移動において前記対向する端縁部の一部に位置付けられる露光装置。 - 請求項29に記載の露光装置において、
前記他方の移動体は、前記液浸領域に対する前記第1、第2移動体の移動に先立ち、前記第2領域から前記第1領域に移動され、前記第1領域において、前記一方の移動体に載置される物体の露光に続いて、前記一方の移動体に対して相対移動される露光装置。 - 請求項30に記載の露光装置において、
前記検出系による、前記他方の移動体に載置される物体の位置情報の検出に続いて、前記他方の移動体は前記第2領域から前記第1領域に移動され、前記検出系による前記物体の検出動作は、前記一方の物体移動体に載置される物体の露光動作と並行して行われる露光装置。 - 請求項10に記載の露光装置において、
前記第1、第2移動体は、前記第1移動体の前記第2移動体への置換と、前記第2移動体の前記第1移動体への置換とで、前記第1方向に関して逆向きにずれるように、その位置関係が設定される露光装置。 - 請求項10に記載の露光装置において、
前記受け渡し部は、その表面が、前記液浸領域に対する前記第1、第2移動体の移動において前記第1、第2移動体の上面と実質的に同一面となるように配置される露光装置。 - 請求項10に記載の露光装置において、
前記液浸領域に対する前記第1、第2移動体の移動において対向する前記端縁部は、前記第1移動体の前記第2移動体への置換と前記第2移動体の前記第1移動体への置換とで同じである露光装置。 - 請求項10に記載の露光装置において、
前記受け渡し部は、前記第1、第2移動体にそれぞれ設けられる第1、第2受け渡し部を有し、
前記第1、第2受け渡し部の一方は、前記第1移動体の前記第2移動体への置換で用いられ、前記第1、第2受け渡し部の他方は、前記第2移動体の前記第1移動体への置換で用いられる露光装置。 - 請求項10に記載の露光装置において、
前記物体は走査露光が行われ、
前記第1移動体は、前記走査露光において前記物体が移動される所定方向と交差する方向に関して一側からケーブルが接続され、前記第2移動体は、前記所定方向と交差する方向に関して他側からケーブルが接続される露光装置。 - 請求項36に記載の露光装置において、
前記第1、第2領域は前記所定方向に関して位置が異なる露光装置。 - 請求項10に記載の露光装置において、
前記物体は走査露光が行われ、
前記第1、第2領域は、前記走査露光において前記物体が移動される所定方向に関して位置が異なる露光装置。 - 請求項10に記載の露光装置において、
前記第1移動体と前記第2移動体とは異なる経路で前記第1領域から前記第2領域に移動される露光装置。 - 請求項10に記載の露光装置において、
前記第1移動体と前記第2移動体とは異なる経路で前記第2領域から前記第1領域に移動される露光装置。 - 請求項40に記載の露光装置において、
前記第1移動体と前記第2移動体とは異なる経路で前記第1領域から前記第2領域に移動される露光装置。 - 請求項10に記載の露光装置において、
前記第1、第2領域は所定方向に関して位置が異なり、
前記第1領域から前記第2領域への移動において、前記第1移動体は、前記所定方向と交差する方向に関して前記所定領域の一端側の経路を通り、前記第2移動体は、前記所定方向と交差する方向に関して前記所定領域の他端側の経路を通る露光装置。 - 請求項42に記載の露光装置において、
前記第1移動体は、前記所定方向と交差する方向に関して一側からケーブルが接続され、
前記第2移動体は、前記所定方向と交差する方向に関して他側からケーブルが接続される露光装置。 - 請求項43に記載の露光装置において、
前記物体は走査露光が行われ、
前記走査露光において、前記第1、第2移動体はそれぞれ前記所定方向に移動される露光装置。 - 請求項10に記載の露光装置において、
前記第1、第2領域は、前記第1方向に関して位置が異なり、
前記第1領域から前記第2領域への移動において、前記第1移動体は、前記第2方向に関して前記所定領域の一端側の経路を通り、前記第2移動体は、前記第2方向に関して前記所定領域の他端側の経路を通る露光装置。 - 請求項10に記載の露光装置において、
前記第1移動体は、前記第2方向に関して一側からケーブルが接続され、
前記第2移動体は、前記第2方向に関して他側からケーブルが接続される露光装置。 - 請求項10に記載の露光装置において、
前記物体は走査露光が行われ、
前記走査露光において、前記第1、第2移動体はそれぞれ前記第1方向に移動される露光装置。 - 請求項10に記載の露光装置において、
前記平面モータシステムは、前記第1、第2移動体にそれぞれマグネットユニットが設けられるムービングマグネット型である露光装置。 - 光学系と液体とを介してエネルギビームで物体を露光する露光方法であって、
前記光学系が配置される第1領域と、前記物体の位置情報を検出する検出系が配置される、前記第1領域と異なる第2領域とを含む所定領域において表面が所定平面とほぼ平行に設けられるベース部材上に配置され、かつ上面に前記物体の載置領域を有する第1、第2移動体をそれぞれ、前記ベース部材に固定子が設けられかつ前記第1、第2移動体に可動子が設けられる平面モータシステムによって、前記第1、第2領域の一方から他方に移動することと、
前記所定平面内の第1方向に関して実質的に平行に端縁部が対向して配置される前記上面の間に、前記第1、第2移動体の少なくとも一方に設けられる受け渡し部の少なくとも一部が位置し、かつ一方が前記光学系の下方に配置される前記第1、第2移動体を、前記平面モータシステムによって、前記前記液体が供給される前記光学系下の液浸領域に対して、前記所定平面内で前記第1方向と交差する第2方向に移動することと、この移動によって、前記一方の移動体の代わりに前記第1、第2移動体の他方が前記光学系の下方に配置されるとともに、前記液浸領域は、前記光学系の下に維持されつつ前記受け渡し部を介して前記一方の移動体から前記他方の移動体に移動することと、を含み、
前記受け渡し部は、前記第1、第2移動体に保持される物体上の露光対象の複数の区画領域が偶数行であるか、奇数行であるかに応じて配置が定められ、
前記液浸領域に対する前記第1、第2移動体の移動における、前記第1方向に関する前記第1、第2移動体の位置関係は、前記液浸領域に対する前記第1移動体から前記第2移動体への置換と、前記液浸領域に対する前記第2移動体から前記第1移動体への置換とで異なる露光方法。 - 請求項49に記載の露光方法において、
前記受け渡し部は、前記液浸領域に対する前記第1、第2移動体の移動において、その上面が前記第1、第2移動体の上面と前記所定平面に直交する第3方向に関してほぼ同じ位置となるように配置される露光方法。 - 請求項49又は50に記載の露光方法において、
前記第1、第2移動体はその位置関係が実質的に維持されつつ前記液浸領域に対して前記第2方向に移動される露光方法。 - 請求項49〜51のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第1移動体の前記端縁部に前記所定平面内で垂直な方向を向く少なくとも一側に前記所定平面に対して傾斜した第1反射面が設けられるとともに、前記第2移動体の前記端縁部に前記所定平面内で垂直な方向を向く少なくとも一側に前記所定平面に対して傾斜した第2反射面が設けられており、
前記第1、第2反射面に測長ビームを照射して前記第1、第2移動体の前記所定平面に直交する第3方向に関する位置情報を計測する露光方法。 - 請求項52に記載の露光方法において、
前記上面の間に前記受け渡し部の少なくとも一部が位置する状態が維持されている間、前記第1、第2移動体の前記第3方向に関する位置情報の計測には、前記第1、第2反射面に測長ビームを照射する干渉計が用いられる露光方法。 - 請求項52又は53に記載の露光方法において、
前記受け渡し部は、前記第1、第2移動体の少なくとも一方の、前記端縁部に前記所定平面内で垂直な方向を向く少なくとも一側の、前記第1、第2移動体の前記第3方向の位置情報の計測を実質的に阻害しない位置に設けられている露光方法。 - 請求項52〜54のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第1、第2移動体の少なくとも一方の、前記端縁部に前記所定平面内で垂直な方向を向く少なくとも一側の前記受け渡し部が設けられていない位置に、前記第1、第2反射面が設けられている露光方法。 - 請求項52〜55のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記上面の間に前記受け渡し部の少なくとも一部が位置する状態で互いに対向する側の面以外の前記第1、第2移動体の面にそれぞれ設けられた第3、第4反射面にそれぞれ測長ビームを照射し、それぞれの測長ビームの前記第3、第4の反射面からの反射光に基づいて、前記第1、第2移動体の位置を計測すること、を更に含む露光方法。 - 請求項49〜56のいずれか一項に記載の露光方法において、
2つの受け渡し部が設けられる場合、前記受け渡し部は、前記第1、第2移動体それぞれの前記第1移動体と前記第2移動体とが、前記上面の間に前記受け渡し部の少なくとも一部が位置する状態で両移動体が対向する方向の端面から、相互に対向し得る状態でそれぞれ突出する露光方法。 - 請求項57に記載の露光方法において、
前記相互に対向し得る2つの受け渡し部のそれぞれの先端には、互いに係合するとともに、係合状態では見かけ上フルフラットな面を形成可能な係合部が形成されている露光方法。 - 請求項49〜58のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第1方向に関する前記第1、第2移動体の位置関係は、前記上面の間に前記受け渡し部の少なくとも一部が位置する状態が、次の露光対象である物体の露光開始を最も効率良く行うことを可能とするように、定められている露光方法。 - 請求項49〜58のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第1方向に関する前記第1、第2移動体の位置関係は、一方の移動体と他方の移動体とが、前記上面の間に前記受け渡し部の少なくとも一部が位置するところ以外で対向しないように、定められている露光方法。 - 請求項49〜60のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第1移動体の前記第2移動体への置換と、前記第2移動体の前記第1移動体への置換とで、前記第1及び第2移動体は、前記端縁部と平行な方向に関して反対側にずれる露光方法。 - 請求項49〜61のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第1、第2移動体を交互に用いる複数の物体の露光動作において、前記光学系と前記第1領域に位置する移動体との間に、前記液体が保持され続ける露光方法。 - 請求項49〜62のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第1、第2移動体の少なくとも一方には、前記液浸領域に対する前記第1、第2移動体の移動において前記第1、第2移動体のうちの一方の移動体に設けられた前記受け渡し部ともう一方の移動体との間隙からの前記液体の漏れを抑制する抑制部材が設けられている露光方法。 - 請求項63に記載の露光方法において、
前記抑制部材は、シール部材及び撥水コートの少なくとも一方を含む露光方法。 - 請求項49〜64のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記受け渡し部は、前記少なくとも一方の移動体において前記上面の端縁部で外側に突設される庇部である露光方法。 - 請求項49〜65のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第1、第2領域は所定方向に関して位置が異なり、
前記第1移動体には、前記所定方向と交差する方向に関して一側からケーブルが接続され、
前記第2移動体には、前記所定方向と交差する方向に関して他側からケーブルが接続されている露光方法。 - 請求項49〜66のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記検出系は、前記第1、第2移動体にそれぞれ載置される物体のマークを検出するマーク検出系を含む露光方法。 - 請求項49に記載の露光方法において、
前記第1方向に関して前記端縁部の一部が対向するようにずれて配置され、かつ前記第2方向に関して互いに接近するように、前記光学系の下方に配置される前記一方の移動体に対して前記他方の移動体が相対移動され、前記受け渡し部は、前記液浸領域に対する前記第1、第2移動体の移動において前記対向する端縁部の一部に位置付けられる露光方法。 - 請求項68に記載の露光方法において、
前記他方の移動体は、前記液浸領域に対する前記第1、第2移動体の移動に先立ち、前記第2領域から前記第1領域に移動され、前記第1領域において、前記一方の移動体に載置される物体の露光に続いて、前記一方の移動体に対して相対移動される露光方法。 - 請求項69に記載の露光方法において、
前記検出系による、前記他方の移動体に載置される物体の位置情報の検出に続いて、前記他方の移動体は前記第2領域から前記第1領域に移動され、前記検出系による前記物体の検出動作は、前記一方の物体に載置される物体の露光動作と並行して行われる露光方法。 - 請求項49に記載の露光方法において、
前記第1、第2移動体は、前記第1移動体の前記第2移動体への置換と、前記第2移動体の前記第1移動体への置換とで、前記第1方向に関して逆向きにずれるように、その位置関係が設定される露光方法。 - 請求項49に記載の露光方法において、
前記受け渡し部は、その表面が、前記液浸領域に対する前記第1、第2移動体の移動において前記第1、第2移動体の上面と実質的に同一面となるように配置される露光方法。 - 請求項49に記載の露光方法において、
前記液浸領域に対する前記第1、第2移動体の移動において対向する前記端縁部は、前記第1移動体の前記第2移動体への置換と前記第2移動体の前記第1移動体への置換とで同じである露光方法。 - 請求項49に記載の露光方法において、
前記受け渡し部は、前記第1、第2移動体にそれぞれ設けられる第1、第2受け渡し部を有し、
前記第1、第2受け渡し部の一方は、前記第1移動体の前記第2移動体への置換で用いられ、前記第1、第2受け渡し部の他方は、前記第2移動体の前記第1移動体への置換で用いられる露光方法。 - 請求項49に記載の露光方法において、
前記物体は走査露光が行われ、
前記第1移動体は、前記走査露光において前記物体が移動される所定方向と交差する方向に関して一側からケーブルが接続され、前記第2移動体は、前記所定方向と交差する方向に関して他側からケーブルが接続される露光方法。 - 請求項75に記載の露光方法において、
前記第1、第2領域は前記所定方向に関して位置が異なる露光方法。 - 請求項49に記載の露光方法において、
前記物体は走査露光が行われ、
前記第1、第2領域は、前記走査露光において前記物体が移動される所定方向に関して位置が異なる露光方法。 - 請求項49に記載の露光方法において、
前記第1移動体と前記第2移動体とは異なる経路で前記第1領域から前記第2領域に移動される露光方法。 - 請求項49に記載の露光方法において、
前記第1移動体と前記第2移動体とは異なる経路で前記第2領域から前記第1領域に移動される露光方法。 - 請求項79に記載の露光方法において、
前記第1移動体と前記第2移動体とは異なる経路で前記第1領域から前記第2領域に移動される露光方法。 - 請求項49に記載の露光方法において、
前記第1、第2領域は所定方向に関して位置が異なり、
前記第1領域から前記第2領域への移動において、前記第1移動体は、前記所定方向と交差する方向に関して前記所定領域の一端側の経路を通り、前記第2移動体は、前記所定方向と交差する方向に関して前記所定領域の他端側の経路を通る露光方法。 - 請求項81に記載の露光方法において、
前記第1移動体は、前記所定方向と交差する方向に関して一側からケーブルが接続され、
前記第2移動体は、前記所定方向と交差する方向に関して他側からケーブルが接続される露光方法。 - 請求項82に記載の露光方法において、
前記物体は走査露光が行われ、
前記走査露光において、前記第1、第2移動体はそれぞれ前記所定方向に移動される露光方法。 - 請求項49に記載の露光方法において、
前記第1、第2領域は、前記第1方向に関して位置が異なり、
前記第1領域から前記第2領域への移動において、前記第1移動体は、前記第2方向に関して前記所定領域の一端側の経路を通り、前記第2移動体は、前記第2方向に関して前記所定領域の他端側の経路を通る露光方法。 - 請求項49に記載の露光方法において、
前記第1移動体は、前記第2方向に関して一側からケーブルが接続され、
前記第2移動体は、前記第2方向に関して他側からケーブルが接続される露光方法。 - 請求項49に記載の露光方法において、
前記物体は走査露光が行われ、
前記走査露光において、前記第1、第2移動体はそれぞれ前記第1方向に移動される露光方法。 - 請求項49に記載の露光方法において、
前記平面モータシステムは、前記第1、第2移動体にそれぞれマグネットユニットが設けられるムービングマグネット型である露光方法。 - 請求項49〜87のいずれか一項に記載の露光方法により前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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