JP5194367B2 - レーザ加工ヘッドおよびレーザ加工方法 - Google Patents
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そして、第二のエアノズルが形成する空気の流れが、保護ガラスのうち当該保護ガラスの中心から第一のエアノズルが形成する空気の流れ方向下流側にオフセットした部位を指向するように、第二のエアノズルの向きを設定してあることを特徴としている。
3…集光レンズ
4…保護ガラス
5…エアブローノズル(第二のエアノズル)
7…偏平エアノズル(第一のエアノズル)
9…保護プレート
9a…光路穴
W…被溶接物(被加工物)
L…レーザ光
Claims (6)
- レーザ光をレーザ光学系の末端の集光レンズにて集光した上で被加工物に照射してレーザ加工を施すレーザ加工ヘッドであって、
集光レンズよりも被加工物側に配置された保護ガラスと、
保護ガラスよりも被加工物側に配置され、被加工物にほぼ平行な空気の流れを形成する第一のエアノズルと、
保護ガラスと第一のエアノズルとの間に配置され、レーザ光路の側方から保護ガラスに向かう空気の流れを形成する第二のエアノズルと、
を備え、
第二のエアノズルが形成する空気の流れが、保護ガラスのうち当該保護ガラスの中心から第一のエアノズルが形成する空気の流れ方向下流側にオフセットした部位を指向するように、第二のエアノズルの向きを設定してあることを特徴とするレーザ加工ヘッド。 - 第二のエアノズルが保護ガラスに対し当該保護ガラスの直下に配置されていて、
この第二のエアノズルは、保護ガラスの下方から斜め上方を指向する空気の流れをもって保護ガラスに向けてエアを吹き出すものであることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工ヘッド。 - レーザ光の光軸方向に沿って見たとき、第二のエアノズルが形成する空気の流れ方向と第一のエアノズルが形成する空気の流れ方向とが一致していることを特徴とする請求項1または2に記載のレーザ加工ヘッド。
- レーザ光が通過する光路穴が貫通形成された保護プレートが第一のエアノズルよりも被加工物側に配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のレーザ加工ヘッド。
- レーザ光をレーザ光学系の末端の集光レンズにて集光した上で保護ガラスを透過させて被加工物に照射することによりレーザ加工を施す方法であって、
集光レンズよりも被加工物側に保護ガラスを配置するとともに、
保護ガラスよりも被加工物側に当該被加工物にほぼ平行な空気の流れを形成する第一のエアノズルを配置し、
さらに、保護ガラスと第一のエアノズルとの間に、レーザ光路の側方から保護ガラスに向かう空気の流れを形成する第二のエアノズルを配置し、
第一のエアノズルからの空気の流れをもって、保護ガラスよりも被加工物側にエアシャッターとして機能する被加工物とほぼ平行な層状の空気の流れを形成するとともに、
第二のエアノズルが形成する空気の流れを、保護ガラスのうち当該保護ガラスの中心から第一のエアノズルが形成する空気の流れ方向下流側にオフセットした部位を指向させ、
この状態で被加工物にレーザ光を照射することを特徴とするレーザ加工方法。 - 第二のエアノズルが保護ガラスに対し当該保護ガラスの直下に配置されていて、
この第二のエアノズルは、保護ガラスの下方から斜め上方を指向する空気の流れをもって保護ガラスに向けてエアを吹き出すことを特徴とする請求項5に記載のレーザ加工方法。
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