JP5184941B2 - 接着シート製造装置及び製造方法 - Google Patents
接着シート製造装置及び製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5184941B2 JP5184941B2 JP2008092227A JP2008092227A JP5184941B2 JP 5184941 B2 JP5184941 B2 JP 5184941B2 JP 2008092227 A JP2008092227 A JP 2008092227A JP 2008092227 A JP2008092227 A JP 2008092227A JP 5184941 B2 JP5184941 B2 JP 5184941B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive sheet
- adhesive
- sheet
- adhesive layer
- recess
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Adhesive Tapes (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、凸部を有する被着体であっても、当該凸部を確実に保護し、例えば、ウエハ等の被着体を対象としたときに、裏面研削等の処理工程においても確実に被着体に接着し、且つ、凸部によって裏面研削後の被着体に厚みのばらつきが生じない接着シートの製造装置及び製造方法を提供することにある。
前記接着剤層は、エネルギー線硬化型の接着剤層からなり、
前記凹部形成手段は、前記凹部に対応する平面形状を備えた押圧面を有するプレス部材と、このプレス部材に対し、前記接着シートを挟んで基材シート側に相対配置されたプラテンと、前記プレス部材とプラテンとを相対移動させることにより前記押圧面を接着剤層に押圧する押圧手段とを備え、
前記プレス部材及び/又はプラテンにエネルギー線照射手段を設けた、という構成を採っている。
また、本発明は、少なくとも基材シートと接着剤層とからなる接着シートの当該接着剤層に凹部を形成する凹部形成手段と、前記接着シートを所定形状に切断する切断手段とを備えた接着シートの製造装置であって、
前記凹部形成手段は、前記凹部に対応する平面形状を備えた押圧面を有するプレス部材と、このプレス部材に対し、前記接着シートを挟んで基材シート側に相対配置されたプラテンと、前記プレス部材とプラテンとを相対移動させることにより前記押圧面を接着剤層に押圧する押圧手段とを備え、
前記切断手段は、前記凹部が内側に収まる閉ループ状に接着シートを所定形状に切断する、という構成を採っている。
前記凹部形成手段の前段で剥離シートを剥離する剥離手段と、凹部が形成された後に剥離シートを接着剤層に仮着する仮着手段とを備える、という構成を採用してもよい。
前記凹部に対応する平面形状に設けられた押圧面を接着剤層に押圧し、当該押圧中に、接着剤層における凹部にエネルギー線を照射して凹部を形成する、という方法を採っている。
また、本発明の製造方法は、少なくとも基材シートと接着剤層とからなる接着シートの当該接着剤層に凹部が形成された接着シートの製造方法であって、
前記凹部に対応する平面形状に設けられた押圧面を接着剤層に押圧して凹部を形成した後、当該凹部が内側に収まる閉ループ状に接着シートを所定形状に切断する、という方法を採っている。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
12 剥離ローラ(剥離手段)
13 凹部形成手段
15 仮着手段
16 切断手段
21 プレス部材
21A 押圧面
22 プラテン
23 押圧手段
25 圧接部材
26 透過部材
27 枠部材
30 紫外線ランプ(エネルギー線照射手段)
42 受圧部材
43 枠部材
A 接着剤層
C 凹部
BS 基材シート
RL 剥離シート
S 接着シート
Claims (4)
- 少なくとも基材シートと接着剤層とからなる接着シートの当該接着剤層に凹部を形成する凹部形成手段を備えた接着シートの製造装置であって、
前記接着剤層は、エネルギー線硬化型の接着剤層からなり、
前記凹部形成手段は、前記凹部に対応する平面形状を備えた押圧面を有するプレス部材と、このプレス部材に対し、前記接着シートを挟んで基材シート側に相対配置されたプラテンと、前記プレス部材とプラテンとを相対移動させることにより前記押圧面を接着剤層に押圧する押圧手段とを備え、
前記プレス部材及び/又はプラテンにエネルギー線照射手段を設けたことを特徴とする接着シート製造装置。 - 少なくとも基材シートと接着剤層とからなる接着シートの当該接着剤層に凹部を形成する凹部形成手段と、前記接着シートを所定形状に切断する切断手段とを備えた接着シートの製造装置であって、
前記凹部形成手段は、前記凹部に対応する平面形状を備えた押圧面を有するプレス部材と、このプレス部材に対し、前記接着シートを挟んで基材シート側に相対配置されたプラテンと、前記プレス部材とプラテンとを相対移動させることにより前記押圧面を接着剤層に押圧する押圧手段とを備え、
前記切断手段は、前記凹部が内側に収まる閉ループ状に接着シートを所定形状に切断することを特徴とする接着シート製造装置。 - 少なくとも基材シートと接着剤層とからなる接着シートの当該接着剤層に凹部が形成された接着シートの製造方法であって、
前記凹部に対応する平面形状に設けられた押圧面を接着剤層に押圧し、当該押圧中に、接着剤層における凹部にエネルギー線を照射して凹部を形成することを特徴とする接着シート製造方法。 - 少なくとも基材シートと接着剤層とからなる接着シートの当該接着剤層に凹部が形成された接着シートの製造方法であって、
前記凹部に対応する平面形状に設けられた押圧面を接着剤層に押圧して凹部を形成した後、当該凹部が内側に収まる閉ループ状に接着シートを所定形状に切断することを特徴とする接着シート製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008092227A JP5184941B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | 接着シート製造装置及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008092227A JP5184941B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | 接着シート製造装置及び製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009242653A JP2009242653A (ja) | 2009-10-22 |
JP5184941B2 true JP5184941B2 (ja) | 2013-04-17 |
Family
ID=41304931
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008092227A Expired - Fee Related JP5184941B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | 接着シート製造装置及び製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5184941B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5539831B2 (ja) * | 2010-09-28 | 2014-07-02 | リンテック株式会社 | シート製造装置および製造方法 |
JP6771410B2 (ja) * | 2017-03-15 | 2020-10-21 | 株式会社東芝 | 支持体、および半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4165467B2 (ja) * | 2004-07-12 | 2008-10-15 | セイコーエプソン株式会社 | ダイシングシート、半導体装置の製造方法 |
-
2008
- 2008-03-31 JP JP2008092227A patent/JP5184941B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009242653A (ja) | 2009-10-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5511441B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP4817805B2 (ja) | フィルム剥離方法およびフィルム剥離装置 | |
JP3880397B2 (ja) | 保護テープの貼付・剥離方法 | |
KR100983910B1 (ko) | 필름 박리 방법 및 필름 박리 장치 | |
JP4988640B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP2012099622A (ja) | 半導体装置の製造方法および製造装置 | |
JP5184941B2 (ja) | 接着シート製造装置及び製造方法 | |
JP6009240B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP2011210858A (ja) | エキスパンド装置およびエキスパンド方法 | |
JP5508890B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP2014204033A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP6395573B2 (ja) | 基板への接着テープ貼り付け装置及び貼り付け方法 | |
JP5346774B2 (ja) | 半導体ウェハの凸部除去装置および除去方法 | |
TW201622042A (zh) | 黏著帶貼附方法及黏著帶貼附裝置 | |
JP5449937B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5346773B2 (ja) | 半導体ウェハの凸部除去装置および除去方法 | |
JP5534923B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2012124300A (ja) | ウェーハ破断方法およびウェーハ破断装置 | |
JP5869245B2 (ja) | シート貼付装置及びシート貼付方法並びに転写装置 | |
JP6671797B2 (ja) | テープ貼着方法 | |
JP2016030318A (ja) | フィルム加工方法およびフィルム加工装置 | |
JP5234793B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2011073872A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2012244013A (ja) | 貼付装置および貼付方法 | |
JP2007157833A (ja) | シート切断装置及び切断方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121023 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121219 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130115 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130117 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5184941 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160125 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |