JP5184198B2 - 基板収納容器 - Google Patents
基板収納容器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5184198B2 JP5184198B2 JP2008119627A JP2008119627A JP5184198B2 JP 5184198 B2 JP5184198 B2 JP 5184198B2 JP 2008119627 A JP2008119627 A JP 2008119627A JP 2008119627 A JP2008119627 A JP 2008119627A JP 5184198 B2 JP5184198 B2 JP 5184198B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lid
- container body
- gasket
- fitting groove
- frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Gasket Seals (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
蓋体の裏面周縁部にはエンドレスの嵌合溝が形成され、この嵌合溝にガスケットが外部から強く押し込んで嵌合されている。ガスケットは、蓋体の嵌合溝に嵌合される本体を備え、この本体から容器本体の正面部内に圧接する突片が選択的に突出している(特許文献1、2、3参照)。
ガスケットは、蓋体の嵌合溝に嵌め合わされる横長の枠体と、この枠体に形成されて容器本体の正面部に接触する湾曲片と、枠体の上部に設けられて蓋体の嵌合溝を区画する区画壁内に接触する上部位置決め突起と、枠体の下部に設けられて蓋体の嵌合溝を区画する区画壁内に接触する下部位置決め突起とを含み、
枠体の一対の上部コーナと下部コーナの曲率を異ならせることにより、これら上部コーナと下部コーナとを上下非対称に形成し、上部位置決め突起と下部位置決め突起との位置を左右方向にずらしてこれらが上下方向において整合しないようにしたことを特徴としている。
また、容器本体の正面部の周縁に形成されて外方向に張り出すリムフランジと、このリムフランジの側部に穿孔される取付孔と、この取付孔に選択的に挿入される着脱自在の情報表示パッドとを備え、
取付孔を、リムフランジの正面側に位置する拡径部と、この拡径部に一体形成されてリムフランジの背面側に位置する縮径部とから形成し、情報表示パッドの正面部を、リムフランジの正面に略面一に揃えるか、あるいは取付孔の拡径部内に埋没させることができる。
また、蓋体を、容器本体の正面部に嵌め合わされて施錠機構を内蔵する筐体と、この筐体の開口した正面部を被覆する表面カバーと、この表面カバーに設けられて施錠機構のスライド体の操作孔に対向する操作口とから構成することができる。
すると、取付孔12の縮径部15の裏面側周縁に一対の係止片17が撓みながら係止し、取付孔12の拡径部14にインフォパッド13の円柱部16が嵌合し、リムフランジ8の正面にインフォパッド13の正面部が面一に揃えられて整合する。
7 正面部
8 リムフランジ
9 上部コーナ
10 下部コーナ
12 取付孔
13 インフォパッド
20 蓋体
27 嵌合溝
27a 区画壁
28 ガスケット
29 枠体
30 上部コーナ
31 下部コーナ
32 湾曲片
33 上部位置決め突起
34 下部位置決め突起
40 施錠機構
41 リンクプレート
45 係止爪
47 コイルバネ
48 操作孔
Claims (2)
- 基板を収納するフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の横長に開口した正面部に着脱自在に嵌め合わされる蓋体と、容器本体の正面部と蓋体との間に介在して変形する伸縮性のガスケットとを備え、蓋体の裏面周縁部に嵌合溝を形成し、この嵌合溝にガスケットを嵌め合わせた基板収納容器であって、
ガスケットは、蓋体の嵌合溝に嵌め合わされる横長の枠体と、この枠体に形成されて容器本体の正面部に接触する湾曲片と、枠体の上部に設けられて蓋体の嵌合溝を区画する区画壁内に接触する上部位置決め突起と、枠体の下部に設けられて蓋体の嵌合溝を区画する区画壁内に接触する下部位置決め突起とを含み、
枠体の一対の上部コーナと下部コーナの曲率を異ならせることにより、これら上部コーナと下部コーナとを上下非対称に形成し、上部位置決め突起と下部位置決め突起との位置を左右方向にずらしてこれらが上下方向において整合しないようにしたことを特徴とする基板収納容器。 - 容器本体の正面部の一対の上部コーナと下部コーナの曲率を異ならせることにより、これら上部コーナと下部コーナとを上下非対称に形成した請求項1記載の基板収納容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008119627A JP5184198B2 (ja) | 2008-05-01 | 2008-05-01 | 基板収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008119627A JP5184198B2 (ja) | 2008-05-01 | 2008-05-01 | 基板収納容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009272371A JP2009272371A (ja) | 2009-11-19 |
JP5184198B2 true JP5184198B2 (ja) | 2013-04-17 |
Family
ID=41438691
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008119627A Expired - Fee Related JP5184198B2 (ja) | 2008-05-01 | 2008-05-01 | 基板収納容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5184198B2 (ja) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11163117A (ja) * | 1997-12-02 | 1999-06-18 | Komatsu Ltd | 半導体ウェハ包装容器 |
JP2001298077A (ja) * | 2000-04-14 | 2001-10-26 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
JP4321950B2 (ja) * | 2000-06-12 | 2009-08-26 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器の蓋体 |
JP3556185B2 (ja) * | 2000-06-13 | 2004-08-18 | 信越ポリマー株式会社 | シール部材、密封容器及びそのシール方法 |
EP1737762A2 (en) * | 2004-04-18 | 2007-01-03 | Entegris, Inc. | Wafer container with sealable door |
JP4667769B2 (ja) * | 2004-06-11 | 2011-04-13 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
JP4442816B2 (ja) * | 2004-09-30 | 2010-03-31 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
JP4482655B2 (ja) * | 2005-04-22 | 2010-06-16 | ゴールド工業株式会社 | 精密基板収納容器のガスケット |
JP4916258B2 (ja) * | 2006-09-08 | 2012-04-11 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
-
2008
- 2008-05-01 JP JP2008119627A patent/JP5184198B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009272371A (ja) | 2009-11-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8322533B2 (en) | Lid body for substrate storage container and substrate storage container | |
JP5253410B2 (ja) | リテーナ及び基板収納容器 | |
JP4953690B2 (ja) | 収納容器 | |
JP4841383B2 (ja) | 蓋体及び基板収納容器 | |
US4897751A (en) | Recording tape cartridge | |
JP6860823B2 (ja) | 防水コネクタ | |
JP2012146672A (ja) | コネクタポート | |
TWI765065B (zh) | 基板收納容器 | |
JP4880646B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP5988854B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP5184198B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP4921429B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP4845916B2 (ja) | 半導体ウェーハのマッピング方法 | |
JP4891939B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP2010003948A (ja) | 基板収納容器 | |
JP4891853B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP2009259951A (ja) | 基板収納容器 | |
JP2011138863A (ja) | 基板収納容器 | |
JP2009231653A (ja) | 基板収納容器 | |
JP6491590B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP4980252B2 (ja) | 基板収納容器及びそのシールガスケットの取り付け方法 | |
JP4823094B2 (ja) | ティース体及び基板収納容器 | |
JP2009021371A (ja) | 基板収納容器 | |
JP6576811B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP2009214902A (ja) | 基板収納容器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110411 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120925 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121120 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130115 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130116 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5184198 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160125 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |