JP3556185B2 - シール部材、密封容器及びそのシール方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハ、マスクガラス、液晶セル、記録媒体等の破損し易く汚染を嫌う精密基板の収納、輸送、精密基板を加工・処理する加工装置に対する位置決めや加工装置間の搬送、貯蔵に使用されるシール部材、密封容器及びそのシール方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
汚染を嫌う物品を収納する合成樹脂製の収納容器には、様々なタイプの容器があるが、その一例として、半導体部品の生産に使用される密封容器があげられる。半導体部品の生産に関する半導体ウェーハ、マスクガラス等の精密基板は、半導体デバイスの厳しい価格競争に伴い精密基板の歩留まり向上によるコストダウンを目的として精密基板の大口径化（例えば、３００ｍｍないし４００ｍｍ以上）が検討されている。同時に、半導体回路は益々微細化が進められ、ＤＲＡＭのデザインルール（加工最小線幅）も０．２５μｍから０．１８μｍあるいはそれ以下に移行しつつあり、精密基板の加工される工場はもとより、精密基板の運搬時に使用される容器に関しても益々高度なクリーン度が要求されてきている。
【０００３】
このような要求を実現する手段として、精密基板の加工に必要な局所だけを高度にクリーンな環境とするとともに、密封容器に複数枚の精密基板をクリーンな状態で気密収納し、幾つかのクリーンな環境間で密封容器を搬送する方法（ＳＭＩＦと略称されている）が提案されている。このような方法を実現するため、精密基板を汚染させることなく自動的に搬送することができ、しかも、加工装置に直接アクセスすることのできる密封容器の開発が進められている。
【０００４】
従来の密封容器は、図１５や図１６に部分的に示すように、正面が開口した容器本体１と、この容器本体１の開口正面９を開閉する着脱自在の蓋体１１と、これら容器本体１と蓋体１１との間に介在されてクリーンな環境を維持するシール部材２０等とから構成されている。このシール部材２０には、断面円形を呈したＯリングからなるスクイズタイプ（圧縮型）の他、図１５や図１６に示すタイプがある。
【０００５】
係るタイプのシール部材２０は、各種のゴムやエラストマーを用いてエンドレスに成形されている。このシール部材２０は、同図に示すように、蓋体１１の外周面の嵌合保持溝１６に嵌入される変形可能なエンドレス部２１と、このエンドレス部２１の裏面外周側に切り欠き形成されて蓋体１１との間に隙間を区画形成する断面略矩形の凹部２５と、エンドレス部２１の表面外周側に縦に突出成形されて容器本体１の開口正面内周に接触する変形可能な突部２６とから構成されている。
このようなシール部材２０は、複数枚の精密基板を整列収納した容器本体１の開口正面９に蓋体１１が嵌合されると、エンドレス部２１の一部と断面略ピン形の突部２６とがそれぞれ変形するとともに、凹部２５が圧縮力を制御し、容器本体１の開口正面全域をシールする。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来の密封容器は、以上のようにシール部材２０が各種のゴムやエラストマーを用いて単に成形され、寸法精度が出にくく、変形しにくいので、容器本体１の開口部が大きくなるに従い、開口正面内周にシール部材２０を均一に当接させてシールするのがきわめて困難になるという問題がある。特に、容器本体１の開口正面９のコーナ部では、異なる二方向からの圧力や寸法誤差のため、シール性の著しい低下を招くこととなる。
【０００７】
係る問題を解消するには、シール部材２０の潰し量を大きく設定すれば良いが、蓋体１１の開閉装置の仕様を標準化するに当たっては、装置及び密封容器の保護のため、蓋体１１の開閉装置には必要以上の押し付け力が作用しないように上限値が設定されている。したがって、シール部材２０の反発力がこれよりも大きくなると、シール部材２０の反発力により蓋体１１の開閉装置に必要以上の負荷が作用し、蓋体１１の操作中断のおそれがある。また、図１５等のタイプのシール部材２０は突部２６がシール機能を発揮するが、この突部２６は、内外いずれにも変形し、どの方向に撓むかが不特定なので、突部２６の撓み方向が本来の方向とは逆になる場合、その部分のシール性にむらが生じるという問題がある。
【０００８】
また、局所環境では処理工程毎に精密基板を密封容器からローディングし、加工後にアンローディングするので、密封容器の蓋体１１が頻繁に繰り返し開閉操作されることとなる。したがって、繰り返し開閉操作の中でシール部材２０が位置ずれし、容器本体１と蓋体１１の嵌合保持溝１６との間でシール部材２０が強く潰されて必要以上に変形することが少なくない。また、容器本体１の開口正面９を蓋体１１で閉鎖する際、シール性を損ねたり、シール部材２０が部分的に擦れ合い、樹脂粉やパーティクルを発生させて精密基板の汚染を招くという問題も生じる。
【０００９】
さらに、従来のシール部材２０は、密封容器の清浄性を確保するため、容器本体１又は蓋体１１に嵌合された状態で洗浄されているが、図１５等のタイプの場合、凹部２５の洗浄性が悪く、十分に洗浄することができずに水滴Ｗが残存するおそれがある。よって、清浄性や水切り性に欠け、しかも、乾燥作業が非常に遅延することとなる。
【００１０】
本発明は上記に鑑みなされたもので、精密基板を収納する容器本体の開口面内周や開口正面内周を略均一にシールすることができ、蓋体に関する自動開閉等の操作中断のおそれがなく、蓋体を繰り返し開閉操作してもシール性を損ねたり、精密基板の汚染を招くのを抑制防止することができるとともに、例え容器本体又は蓋体と共に洗浄しても十分に洗浄することができ、清浄性や水切り性に優れ、しかも、乾燥作業の短縮等を図ることのできるシール部材、密封容器及びそのシール方法を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明においては、上記課題を達成するため、精密基板を収納する容器本体とその開口面を開閉する蓋体との間に介在される弾性変形可能なものであって、
容器本体の開口面内周と蓋体外周のいずれか一方に切り欠き形成された嵌合保持部に嵌められるエンドレス部と、このエンドレス部から外周外方向に略斜めに伸びる屈曲可能な突片と、エンドレス部の表裏の少なくとも一方に突出形成されて嵌合保持部の内面に圧力作用状態で接触する嵌合リブとを含み、
容器本体の開口面を蓋体により閉じる際、突片を屈曲させてその屈曲部分と容器本体の接触面あるいは蓋体の接触面とを接触させ、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも高まった場合には、容器本体内部から外部への気体の漏れを許容し、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも低くなった場合には、外部から容器本体内部への気体の侵入を規制するようにしたことを特徴としている。
【００１２】
なお、突片の先端部に、断面球形の球形突起を設けることができる。
また、嵌合リブを複数にしてエンドレス部の内外方向に並べ、この複数の嵌合リブのうち、エンドレス部の外周側に形成された嵌合リブの高さをエンドレス部の内周側に形成された嵌合リブよりも高くすることができる。
【００１３】
また、本発明においては、上記課題を達成するため、精密基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口正面に着脱自在に嵌め合わされる蓋体と、容器本体の開口正面内周と蓋体の外周のいずれか一方に切り欠き形成される嵌合保持部と、この嵌合保持部に嵌められて容器本体と蓋体との間に介在する弾性変形可能なシール部材とを備えたものであって、
シール部材を、嵌合保持部に嵌められるエンドレス部と、このエンドレス部から外周外方向に略斜めに伸びる屈曲可能な突片と、エンドレス部の表裏の少なくとも一方に突出形成されて嵌合保持部の区画内面に圧力作用状態で接触する嵌合リブとから形成し、
容器本体の開口正面を蓋体により閉じる際、シール部材の突片を屈曲させてその屈曲部分と容器本体の接触面あるいは蓋体の接触面とを接触させ、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも高まった場合には、容器本体内部から外部への気体の漏れを許容し、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも低くなった場合には、外部から容器本体内部への気体の侵入を規制するようにしたことを特徴としている。
なお、シール部材を、フッ素ゴム組成物を用いて形成することができる。
【００１４】
さらに、本発明においては、上記課題を達成するため、精密基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口正面に着脱自在に嵌め合わされる蓋体と、容器本体の開口正面内周と蓋体の外周のいずれか一方に切り欠き形成される嵌合保持部と、この嵌合保持部に嵌められて容器本体と蓋体との間に介在する弾性変形可能なシール部材とを用いて密封容器をシールする方法であって、
シール部材を、嵌合保持部に嵌められるエンドレス部と、このエンドレス部から外周外方向に略斜めに伸びる屈曲可能な突片と、エンドレス部の表裏の少なくとも一方に突出形成されて嵌合保持部の区画内面に圧力作用状態で接触する嵌合リブとから形成し、
容器本体の開口正面を蓋体により閉じる際、シール部材の突片を屈曲させてその屈曲部分と容器本体の接触面あるいは蓋体の接触面とを接触させ、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも高まった場合には、容器本体内部から外部への気体の漏れを許容し、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも低くなった場合には、外部から容器本体内部への気体の侵入を規制することを特徴としている。
【００１５】
ここで、特許請求の範囲における突片の略斜めには、厳密な意味の斜めと、おおよそ斜めと認められる傾きが含まれる。この場合、湾曲部分を一部に含んでも良い。球形突起には、断面球形と認められる突起と、おおよそ断面球形と認められる突起とが含まれる。また、嵌合リブは、断面三角形状、半円形、半楕円形、半小判形、台形等に形成したり、単数複数に適宜増減することができる。容器本体の開口面は、正面、上面、側面等のいずれでも良い。蓋体は、容器本体の開口面の形状に応じ、略矩形、略円形、略小判形等に形成される。さらに、密封容器は、半導体ウェーハ、マスクガラス、液晶セル、記録媒体等を主に収納するが、なんらこれに限定されるものではない。
【００１６】
本発明によれば、容器本体の開口面を蓋体により塞ぐ場合には、容器本体と蓋体のいずれかに設けられた嵌合保持部にシール部材を嵌め、このシール部材の突片をエンドレス部の外周外方向に向ける。そして、容器本体の開口面に蓋体を嵌め合わせ、シール部材の突片を容器本体の開口面外方に略斜めに向けるとともに、突片又はその延長線と容器本体の開口面の接触面若しくは蓋体の接触面との間に略鋭角を形成させるようにし、シール部材の突片を容器本体の開口面外方に向け撓ませれば、容器本体の開口面を蓋体でシールすることができる。
なお、略鋭角には、厳密な意味の鋭角と、おおよそ鋭角と認められる角度のいずれもが含まれる。
【００１７】
また、エンドレス部の内外周方向に嵌合リブを一つではなく、複数形成すれば、保持力を分散することができる。したがって、リブが単数の場合に比べ、リブ一本当たりの保持力を小さく設定できるようになるので、リブの潰し代の高さを小さくでき、装着の困難化を抑えることができる。また、嵌合保持部にシール部材を嵌めやすく、しかも、密封度を向上させることができる。
【００１８】
また、本発明によれば、精密基板を収納した容器本体の開口正面を蓋体で閉鎖する場合には、容器本体あるいは蓋体の嵌合保持部にシール部材を嵌め、シール部材の突片を外周外方向に向ける。そして、容器本体の開口正面に蓋体を嵌め合わせ、シール部材の突片を容器本体の開口正面外方に略斜めに向けるとともに、突片又はその延長線と容器本体の開口正面の接触面若しくは蓋体の接触面との間に略鋭角を形成させるようにし、シール部材の突片を容器本体の開口正面外方に向け撓ませれば、容器本体の開口正面を蓋体で気密状態にシールすることができる。
なお、略鋭角には、厳密な意味の鋭角と、おおよそ鋭角と認められる角度のいずれもが含まれる。
また、フッ素ゴム組成物を用いてシール部材を形成すれば、シール部材の寸法を高精度にしたり、比較的簡単に変形させることができる。また、一般的に優れた耐熱性、耐油性、耐薬品性等を得ることができるし、使用時に有機成分の揮発量が少なく、精密基板が汚染するのを防止することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における密封容器は、図１ないし図６に示すように、フロントオープンボックスタイプの容器本体１の開口正面９に、略矩形の蓋体１１を弾性変形可能なエンドレスのシール部材２０を介し着脱自在に嵌合して密封閉鎖するようにしている。
【００２０】
容器本体１は、図１に示すように、ポリカーボネートやポリプロプピレン等の各種合成樹脂を使用して透明又は不透明の略立方形に成形され、円形を呈した複数枚の精密基板２を所定のピッチで上下に並べて収納する。この容器本体１の底面の前部両側と後部中央とには、図示しない精密基板加工装置に対して位置決め手段として機能するＶグルーブがそれぞれ突出形成され、この複数のＶグルーブに板形のボトムプレート３が着脱自在に嵌合保持される。このボトムプレート３は、基本的には平面略Ｙ字に成形され、左右に分かれた前部両側と後部中央とには、Ｖグルーブの周囲に嵌合する誘導部４がそれぞれ形成されている。
【００２１】
容器本体１の左右両側面には同図に示すように、別部品であるサイドレール５やマニュアルハンドル６がそれぞれ選択的に着脱自在に装着され、容器本体１の上面中心部には、図示しない搬送ロボットに把持されるロボティックフランジ７が選択的に着脱自在に装着されている。また、容器本体１の内部左右両側面には、棚形の支持部８が容器本体１に一体に形成、又は着脱自在に装着され、この一対の支持部８間に複数枚の精密基板２が所定のピッチで水平に整列支持される。容器本体１の開口正面９は、図５ないし図７に示すように、段付きに傾斜成形されて外側に徐々に拡開し、蓋体１１の閉鎖時に蓋体１１が円滑、迅速に嵌合するようガイドとして機能する。容器本体１の開口正面９における内周面上下には図１に示すように、左右に位置する係止穴１０がそれぞれ凹み形成されている。
【００２２】
蓋体１１は、図１に示すように、隙間を介して相互に対向嵌合する裏面プレート１２と表面プレート１３とを備え、これら裏面プレート１２と表面プレート１３の間にはラッチ機構１４が内蔵されており、このラッチ機構１４が容器本体１に蓋体１１が嵌合する際、各係止穴１０に出没可能な係止爪１５を係合させ、密封容器の気密状態を確保する。蓋体１１の外周面には図５ないし図７に示すように、凹部からなるエンドレスの嵌合保持溝１６が実質的に切り欠き形成され、外周面の上下には図１に示すように、左右に位置する係止爪１５用の出没孔１７がそれぞれ穿孔形成されている。裏面プレート１２には略棚形のリテーナ１８が着脱自在に装着され、このリテーナ１８が複数枚の精密基板２の前部周縁を弾発的に支持する。また、表面プレート１３の左右にはラッチ機構１４用の操作孔１９がそれぞれ穿孔形成されている。
【００２３】
シール部材２０は、各種の熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム、ＥＰＤＭ、ＮＢＲ等を使用して６０°〜９０°(ＪＩＳ ６２５３に準拠して測定)程度の硬度に成形されている。このシール部材２０の材料としては、加熱時の有機ガス成分の発生量が少なく、精密基板２に対する悪影響が小さいフッ素ゴムが最も好ましい。シール部材２０は、図２ないし図４に示すように、嵌合保持溝１６に嵌入される断面略矩形のエンドレス部２１と、この弾性変形可能なエンドレス部２１の全外周コーナ部から表面外方、あるいは容器本体１の開口正面外方に斜めに伸長するとともに、容器本体１の開口正面９の接触面との間に略鋭角を形成する屈曲可能な突片２２と、エンドレス部２１の表面内外周方向に並べて突出形成され、嵌合保持溝１６の区画内面１６ａに圧接する弾性変形可能な一対の嵌合リブ２３とを備えている。
【００２４】
エンドレス部２１は、図２に示すように、基本的には枠形に形成され、四隅部がそれぞれ丸く面取り形成されている。突片２２は、図３や図４に示すように、根元部から先端部にかけて徐々に細くなるよう断面略三角形の先細りに突出形成され、エンドレス部２１の幅の０．５倍〜３倍、好ましくは０．７倍〜２倍の範囲の長さに形成されている。この突片２２は、良好な反発力が得られるよう根元部の肉厚が０．４ｍｍ〜２ｍｍの範囲で形成され、先端部の肉厚が根元部の肉厚の５０〜８０％の範囲で形成される。突片２２は傾斜して伸長されるが、この突片２２の傾斜角度はエンドレス部２１の外周から容器本体１の開口正面９に対して１０°〜７０°、好ましくは２５°〜４５°の範囲とされる。
【００２５】
一対の嵌合リブ２３は、図３や図４に示すように、エンドレス部２１の外周側に位置する嵌合リブ２３がエンドレス部２１の内周側に位置する嵌合リブ２３よりも高く形成される。各嵌合リブ２３は、同図に示すように、断面略半円形に形成され、嵌合保持溝１６の深さよりも高さが１〜２５％程度高くなるよう形成されており、嵌合保持溝１６にエンドレス部２１が嵌入される際、１〜２５％程度の高さ量が潰され、嵌合保持溝１６の内部空間を埋めて強固に保持される。
なお、シール部材２０の内側の側壁には図３に示すように、垂直壁又は垂直壁を有する位置決め用の突起２７が形成されるのが好ましい。この突起２７により、シール部材２０を嵌合保持溝１６内に正確に位置決めすることができるようになる。こうした保持機構と位置決め機構により、シール部材２０が嵌合保持溝１６内に正確に取り付けられ、位置ずれも抑制されるので、嵌合保持溝１６が好適な状態にシールされる。
【００２６】
上記構成において、複数枚の精密基板２を整列収納した容器本体１の開口正面９を蓋体１１で閉鎖する場合には、予め蓋体１１の嵌合保持溝１６にシール部材２０を嵌合し、シール部材２０の突片２２を外周外方向に向けておく。こうして準備が整ったら、容器本体１の開口正面９に蓋体１１を精密基板加工装置により嵌合して容器本体１と蓋体１１との間にシール部材２０を挟み、シール部材２０の突片２２を容器本体１の開口正面外方に斜めに向けるとともに、突片２２又はその延長線と容器本体１の開口正面９の接触面（内周面）との間に略鋭角を形成させるようにする ( 図５、図６参照 ) 。そして、精密基板加工装置によりラッチ機構１４を施錠操作し、シール部材２０の突片２２を容器本体１の開口正面外方に向け屈曲(図６参照)させれば、容器本体１の開口正面９を蓋体１１で気密状態にシールすることができる。
【００２７】
この際、シール部材２０の突片２２を容器本体１の開口正面外方に向け湾曲させ、蓋体１１の取り付け方向（図６の上下方向）にシール部材２０を圧縮しないようにするので、蓋体嵌合時の負荷を大幅に軽減することができる。また、容器本体１と蓋体１１とを円滑に嵌合させ、蓋体開閉時のトラブルを低減することもできる。
【００２８】
上記構成によれば、シール部材２０をフッ素ゴムで単純な形状に簡単に成形することができるので、高精度の寸法や変形の容易化が大いに期待できる。したがって、容器本体１の開口正面内周にシール部材２０を均一に当接させてシールするのがきわめて容易となる。本発明ではシール部材２０を形成する突片２２を断面三角形の先細りとしたので、小さな力で変形可能であり、しかも、外側に傾斜しているので、適度な反発力が得られる。このため、例え容器本体１の開口正面９のコーナ部でも、シール性の著しい低下を招くことがない。
【００２９】
また、シール部材２０の潰し量を大きく設定する必要がないので、シール部材２０の反発力により蓋体１１の開閉装置に必要以上の負荷の作用することがなく、蓋体１１の操作中断のおそれを有効に解消することができる。また、突片２２が外側に傾斜して指向しているので、突片２２が内外いずれにも変形することがない。したがって、突片２２の撓み方向が逆になり、その部分のシール性にむらが生じるのを有効に防止することができる。
【００３０】
また、密封容器の内外に圧力差が発生した場合でも、実に良好なシールが期待できる。すなわち、温度変化等により密封容器の内部圧力が外部に比べて高くなり、内部の気体が外部に押し出される場合には、突片２２が撓む方向にさらに力が加わるので、気体が外部に漏れやすく、圧力差が比較的短い時間に解消される。この際、容器本体１の内部の気体が外部に流出するので、容器本体１の内部が汚染されることがない。逆に、密封容器の外部から圧力が加わり、容器本体１の内部に気体や汚染物等が侵入しようとする場合、撓んでいる方向に突片２２をさらに押圧するので、シール性が増すこととなり、外部から気体が内部に流入しづらくなる。したがって、外部から気体（図６の矢印参照）が内部に流入し、精密基板２が汚れるのを有効に防止することが可能となる。
【００３１】
さらに、嵌合保持溝１６の区画内面１６ａに一対の嵌合リブ２３が強く圧接して位置決めし、抜けにくくするので、例え蓋体１１が頻繁に繰り返し開閉操作されても、シール部材２０の位置ずれすることがない。よって、容器本体１と蓋体１１の嵌合保持溝１６との間でシール部材２０が強く潰されて必要以上に変形したり、シール性を損ねたり、あるいはシール部材２０が部分的に擦れ合い、樹脂粉やパーティクルを発生させて精密基板２の汚染を招くことがない。さらにまた、密封容器の清浄性を確保するため、容器本体１又は蓋体１１にシール部材２０を嵌合した状態で洗浄する場合でも、シール部材２０の露出領域に袋状の凹部２５がなんら存在しないので、全部分を十分に洗浄することができ、水滴Ｗが残存するおそれがない。よって、清浄性や水切り性を著しく向上させ、しかも、乾燥作業の短縮が大いに期待できる。
【００３２】
次に、図７は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、容器本体１の開口正面９におけるシール部材２０との接触部分９ａを開口方向に突出形成し、エンドレス部２１の表面外周側から屈曲可能な突片２２を外周外方向に斜めに突出させるようにしている。容器本体１の接触部分９ａは、突片２２の撓み時の湾曲形状に合致するよう開口正面９の段差部付近に一部湾曲して形成され、蓋体１１の閉鎖時に突片２２の根元部付近に略対向する。突片２２は、直線状に突出させても良いし、僅かに湾曲させた状態で突出させても良い。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００３３】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、容器本体１の接触部分９ａが突片２２の撓み時の湾曲形状に対応してガイド機能を発揮するので、シール部材２０に外圧が作用する場合、突片２２の撓み方向を確実に特定することができる。したがって、シール性能をさらに向上させ、精密基板２の汚染防止を確保できるのは明らかである。
【００３４】
次に、図８は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、エンドレス部２１の内周面側から屈曲可能な突片２２を断面略釣り針形に湾曲させて外周外方向に斜めに折り返し突出させ、エンドレス部２１の表面に一対の嵌合リブ２３を並べて突出形成するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、上記第１、第２の実施形態を採用することができない場合にきわめて有意義である。
【００３５】
次に、図９は本発明の第４の実施形態を示すもので、この場合には、容器本体１の開口正面内周に、エンドレスの嵌合保持溝１６を断面略Ｌ字形の区画片を介し実質的に切り欠き形成し、この凹部からなる嵌合保持溝１６にシール部材２０を嵌入するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、上記第１、第２、第３の実施形態を採用することができない場合に有意義である。
【００３６】
次に、図１０ないし図１３は本発明の第５の実施形態を示すもので、この場合には、エンドレス部２１の全外周コーナ部から突片２２をやや湾曲させながら斜めに伸長し、この突片２２の先端部に一体的な断面球形の球形突起２８を膨出形成し、エンドレス部２１の表面には、傾きの異なる略三角形の嵌合リブ２３ａ・２３ｂを並べて突出形成するようにしている。
【００３７】
突片２２は、容器本体１の開口方向に向けてＲ３〜１０ｍｍの曲率半径で湾曲形成される。また、球形突起２８は、好ましくはＲ０．３〜０．８ｍｍの範囲の曲率半径で形成される。また、嵌合リブ２３ａ・２３ｂは、図１０や図１３に示すように、表面から内側面にかけて傾斜面が形成され、エンドレス部２１の表面内側に位置する嵌合リブ２３ａが低く（例えば、高さ０．８ｍｍ）、エンドレス部２１の表面外側に位置する嵌合リブ２３ｂが高くなるよう突出形成されている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００３８】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、突片２２の先端部に球形突起２８を膨出形成し、直線的で成形が困難なナイフエッジ部分を省略するようにしているので、成形の容易化が大いに期待できる。また、突片２２の先端部が丸い球形突起２８であるから、容器本体１と繰り返し接触するシール部材２０の先端部からパーティクルが発生するのを少なくすることができる。
【００３９】
また、図１２に示すように、突片２２を圧縮方向に対して内向きに湾曲させ、この湾曲形状に沿って突片２２を撓ませる（同図の矢印参照）ようにしているので、容器本体１との摩擦抵抗を大幅に減少させることができる。この結果、蓋体開閉の抵抗を低減することができるので、小さな圧縮力で確実にシールすることができ、蓋体１１の開閉トラブルをきわめて有効に抑制防止することができる。さらに図１３に示すように、組立時に奥側となる内側に位置する嵌合リブ２３ａを低く（ｈ１）、組立時に開口手前側となる外側に位置する嵌合リブ２３ｂを高く（ｈ２）なるよう配設しているので、組立時には嵌合保持溝１６にシール部材２０を円滑に嵌合することができる。
【００４０】
さらにまた、図１３に示すように、嵌合リブ２３ａ、２３ｂは、略三角形の突起であり、それぞれの内外の角度２９ａ・２９ｂの間に、２９ａ＜２９ｂの関係がある。したがって、蓋体１１の嵌合後には、嵌合リブ２３ａ、２３ｂの先端部が嵌合溝１６の開口方向に倒れて圧接し、開口部への引き抜き方向に対して逆目状となり、抜けにくくすることができる。よって、使用時にきわめて位置ずれしにくい構造を得ることができる。
【００４１】
なお、上記実施形態では蓋体１１にラッチ機構１４を内蔵したが、このラッチ機構１４は、クランプや係止部品等の他の係止機構に置き換えることができる。また、枠形のシール部材２０を示したが、なんらこれに限定されるものではなく、中空を形成する円形、楕円形、多角形等のシール部材２０でも良い。エンドレス部２１も断面略矩形ではなく、断面略小判形等とすることができる。
【００４２】
【実施例】
以下、本発明に係る密封容器の実施例を比較例と共に説明する。
１．密封容器のシール性の確認試験
実施例
３００ｍｍの精密基板（シリコンウェーハ）２を２５枚収納する工程内搬送用、精密基板収納用のシール部材２０をフッ素ゴムを用いて図２ないし図４の形状に形成し、このシール部材２０を密封容器に嵌入し、シール性の確認試験を実施した。
【００４３】
確認試験は図１４に示すような要領で実施した。具体的には、容器本体１の背面下部に貫通孔を穿孔してこの貫通孔にはフレキシブルホースからなる配管３０を接続し、この貫通孔と配管３０との隙間をシーラント剤で封止した。容器本体１の開口正面９には、シール部材２０付きの蓋体１１を嵌合して閉鎖した。また、配管３０には圧力計３１を設置するとともに、配管３０の自由端部には密封容器の内部を加圧する加圧装置３２と、密封容器の内部を減圧するポンプ装置とを開閉バルブ３３を介して接続した。そしてその後、密封容器の内部を加圧（２×１０４Ｐａ加圧時）して開閉バルブ３３を閉じた場合と、密封容器の内部を減圧（−２×１０４Ｐａ加圧時）して開閉バルブ３３を閉じた場合との圧力差の変動を圧力計３１で測定し、シール性を確認して結果を表１にまとめた。
【００４４】
比較例
シール部材２０をフッ素ゴムを用いて図１５の形状に形成し、実施例と同様の確認試験を実施し、結果を表１にまとめた。
【００４５】
【表１】
【００４６】
２．シール部材の反発力の測定
実施例
シール性の確認試験で使用したシール部材２０の直線部分を３ｃｍに切断し、これを押し潰すときの潰し量とそのときの反発力とを（株）島津製作所製の精密万能試験機（商品名：オートグラフ）で測定し、結果を表２にまとめた。
比較例
実施例同様、シール性の確認試験で使用したシール部材２０の直線部分を３ｃｍに切断し、これを押し潰すときの潰し量とそのときの反発力とを上記精密万能試験機で測定し、結果を表２にまとめた。
【００４７】
【表２】
【００４８】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、精密基板を収納する容器本体の開口面内周等を略均一にシールすることができるという効果がある。また、嵌合保持部の内面に嵌合リブが強く接触して位置決めし、抜けにくくするので、例え蓋体が頻繁に繰り返し開閉操作されても、シール部材の位置ずれを抑制することができる。よって、シール部材が強く潰されて必要以上に変形したり、シール性を損ねたり、あるいはシール部材が部分的に擦れ合い、精密基板の汚染を招くのを防ぐことができる。また、例えシール部材を容器本体又は蓋体と共に洗浄しても、良好に洗浄することができ、清浄性や水切り性を向上させ、しかも、乾燥作業の短縮等が期待できる。さらに、容器本体の内外に圧力差が発生した場合でも、圧力差を比較的短い時間に解消して良好なシールを維持することができ、精密基板が汚れるのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る密封容器及びそのシール方法の実施形態を示す概略分解斜視説明図である。
【図２】本発明に係るシール部材、密封容器及びそのシール方法の実施形態におけるシール部材を示す正面図である。
【図３】図２のＩＩＩ‐ＩＩＩ線断面図である。
【図４】図２のＩＶ‐ＩＶ線断面図である。
【図５】本発明に係る密封容器及びそのシール方法の実施形態における容器本体にシール部材付きの蓋体を嵌合する状態を示す部分断面説明図である。
【図６】図６のシール部材の突片が屈曲した状態を示す部分断面説明図である。
【図７】本発明に係る密封容器及びそのシール方法の第２の実施形態を示す部分断面説明図である。
【図８】本発明に係る密封容器及びそのシール方法の第３の実施形態を示す部分断面説明図である。
【図９】本発明に係る密封容器及びそのシール方法の第４の実施形態を示す部分断面説明図である。
【図１０】本発明に係る密封容器及びそのシール方法の第５の実施形態におけるシール部材を示す断面説明図である。
【図１１】図１０のシール部材を使用して容器本体に蓋体を嵌合する状態を示す部分断面説明図である。
【図１２】図１１のシール部材の突片が撓む状態を示す部分断面説明図である。
【図１３】図１０のシール部材を示す要部拡大説明図である。
【図１４】本発明に係る密封容器及びそのシール方法の実施例を示す断面説明図である。
【図１５】従来の密封容器及びそのシール方法を示す部分断面説明図である。
【図１６】図１５のシール部材が変形した状態を示す部分断面説明図である。
【符号の説明】
１ 容器本体
２ 精密基板
９ 開口正面(開口面)
９ａ 接触部分
１１ 蓋体
１２ 裏面プレート
１３ 表面プレート
１６ 嵌合保持溝(嵌合保持部)
１６ａ 区画内面
２０ シール部材
２１ エンドレス部
２２ 突片
２３ 嵌合リブ
２３ａ 嵌合リブ
２３ｂ 嵌合リブ
２７ 位置決め用の突起
２８ 球形突起
ｈ１ 嵌合リブ２３ａの高さ
ｈ２ 嵌合リブ２３ｂの高さ
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハ、マスクガラス、液晶セル、記録媒体等の破損し易く汚染を嫌う精密基板の収納、輸送、精密基板を加工・処理する加工装置に対する位置決めや加工装置間の搬送、貯蔵に使用されるシール部材、密封容器及びそのシール方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
汚染を嫌う物品を収納する合成樹脂製の収納容器には、様々なタイプの容器があるが、その一例として、半導体部品の生産に使用される密封容器があげられる。半導体部品の生産に関する半導体ウェーハ、マスクガラス等の精密基板は、半導体デバイスの厳しい価格競争に伴い精密基板の歩留まり向上によるコストダウンを目的として精密基板の大口径化（例えば、３００ｍｍないし４００ｍｍ以上）が検討されている。同時に、半導体回路は益々微細化が進められ、ＤＲＡＭのデザインルール（加工最小線幅）も０．２５μｍから０．１８μｍあるいはそれ以下に移行しつつあり、精密基板の加工される工場はもとより、精密基板の運搬時に使用される容器に関しても益々高度なクリーン度が要求されてきている。
【０００３】
このような要求を実現する手段として、精密基板の加工に必要な局所だけを高度にクリーンな環境とするとともに、密封容器に複数枚の精密基板をクリーンな状態で気密収納し、幾つかのクリーンな環境間で密封容器を搬送する方法（ＳＭＩＦと略称されている）が提案されている。このような方法を実現するため、精密基板を汚染させることなく自動的に搬送することができ、しかも、加工装置に直接アクセスすることのできる密封容器の開発が進められている。
【０００４】
従来の密封容器は、図１５や図１６に部分的に示すように、正面が開口した容器本体１と、この容器本体１の開口正面９を開閉する着脱自在の蓋体１１と、これら容器本体１と蓋体１１との間に介在されてクリーンな環境を維持するシール部材２０等とから構成されている。このシール部材２０には、断面円形を呈したＯリングからなるスクイズタイプ（圧縮型）の他、図１５や図１６に示すタイプがある。
【０００５】
係るタイプのシール部材２０は、各種のゴムやエラストマーを用いてエンドレスに成形されている。このシール部材２０は、同図に示すように、蓋体１１の外周面の嵌合保持溝１６に嵌入される変形可能なエンドレス部２１と、このエンドレス部２１の裏面外周側に切り欠き形成されて蓋体１１との間に隙間を区画形成する断面略矩形の凹部２５と、エンドレス部２１の表面外周側に縦に突出成形されて容器本体１の開口正面内周に接触する変形可能な突部２６とから構成されている。
このようなシール部材２０は、複数枚の精密基板を整列収納した容器本体１の開口正面９に蓋体１１が嵌合されると、エンドレス部２１の一部と断面略ピン形の突部２６とがそれぞれ変形するとともに、凹部２５が圧縮力を制御し、容器本体１の開口正面全域をシールする。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来の密封容器は、以上のようにシール部材２０が各種のゴムやエラストマーを用いて単に成形され、寸法精度が出にくく、変形しにくいので、容器本体１の開口部が大きくなるに従い、開口正面内周にシール部材２０を均一に当接させてシールするのがきわめて困難になるという問題がある。特に、容器本体１の開口正面９のコーナ部では、異なる二方向からの圧力や寸法誤差のため、シール性の著しい低下を招くこととなる。
【０００７】
係る問題を解消するには、シール部材２０の潰し量を大きく設定すれば良いが、蓋体１１の開閉装置の仕様を標準化するに当たっては、装置及び密封容器の保護のため、蓋体１１の開閉装置には必要以上の押し付け力が作用しないように上限値が設定されている。したがって、シール部材２０の反発力がこれよりも大きくなると、シール部材２０の反発力により蓋体１１の開閉装置に必要以上の負荷が作用し、蓋体１１の操作中断のおそれがある。また、図１５等のタイプのシール部材２０は突部２６がシール機能を発揮するが、この突部２６は、内外いずれにも変形し、どの方向に撓むかが不特定なので、突部２６の撓み方向が本来の方向とは逆になる場合、その部分のシール性にむらが生じるという問題がある。
【０００８】
また、局所環境では処理工程毎に精密基板を密封容器からローディングし、加工後にアンローディングするので、密封容器の蓋体１１が頻繁に繰り返し開閉操作されることとなる。したがって、繰り返し開閉操作の中でシール部材２０が位置ずれし、容器本体１と蓋体１１の嵌合保持溝１６との間でシール部材２０が強く潰されて必要以上に変形することが少なくない。また、容器本体１の開口正面９を蓋体１１で閉鎖する際、シール性を損ねたり、シール部材２０が部分的に擦れ合い、樹脂粉やパーティクルを発生させて精密基板の汚染を招くという問題も生じる。
【０００９】
さらに、従来のシール部材２０は、密封容器の清浄性を確保するため、容器本体１又は蓋体１１に嵌合された状態で洗浄されているが、図１５等のタイプの場合、凹部２５の洗浄性が悪く、十分に洗浄することができずに水滴Ｗが残存するおそれがある。よって、清浄性や水切り性に欠け、しかも、乾燥作業が非常に遅延することとなる。
【００１０】
本発明は上記に鑑みなされたもので、精密基板を収納する容器本体の開口面内周や開口正面内周を略均一にシールすることができ、蓋体に関する自動開閉等の操作中断のおそれがなく、蓋体を繰り返し開閉操作してもシール性を損ねたり、精密基板の汚染を招くのを抑制防止することができるとともに、例え容器本体又は蓋体と共に洗浄しても十分に洗浄することができ、清浄性や水切り性に優れ、しかも、乾燥作業の短縮等を図ることのできるシール部材、密封容器及びそのシール方法を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明においては、上記課題を達成するため、精密基板を収納する容器本体とその開口面を開閉する蓋体との間に介在される弾性変形可能なものであって、
容器本体の開口面内周と蓋体外周のいずれか一方に切り欠き形成された嵌合保持部に嵌められるエンドレス部と、このエンドレス部から外周外方向に略斜めに伸びる屈曲可能な突片と、エンドレス部の表裏の少なくとも一方に突出形成されて嵌合保持部の内面に圧力作用状態で接触する嵌合リブとを含み、
容器本体の開口面を蓋体により閉じる際、突片を屈曲させてその屈曲部分と容器本体の接触面あるいは蓋体の接触面とを接触させ、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも高まった場合には、容器本体内部から外部への気体の漏れを許容し、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも低くなった場合には、外部から容器本体内部への気体の侵入を規制するようにしたことを特徴としている。
【００１２】
なお、突片の先端部に、断面球形の球形突起を設けることができる。
また、嵌合リブを複数にしてエンドレス部の内外方向に並べ、この複数の嵌合リブのうち、エンドレス部の外周側に形成された嵌合リブの高さをエンドレス部の内周側に形成された嵌合リブよりも高くすることができる。
【００１３】
また、本発明においては、上記課題を達成するため、精密基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口正面に着脱自在に嵌め合わされる蓋体と、容器本体の開口正面内周と蓋体の外周のいずれか一方に切り欠き形成される嵌合保持部と、この嵌合保持部に嵌められて容器本体と蓋体との間に介在する弾性変形可能なシール部材とを備えたものであって、
シール部材を、嵌合保持部に嵌められるエンドレス部と、このエンドレス部から外周外方向に略斜めに伸びる屈曲可能な突片と、エンドレス部の表裏の少なくとも一方に突出形成されて嵌合保持部の区画内面に圧力作用状態で接触する嵌合リブとから形成し、
容器本体の開口正面を蓋体により閉じる際、シール部材の突片を屈曲させてその屈曲部分と容器本体の接触面あるいは蓋体の接触面とを接触させ、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも高まった場合には、容器本体内部から外部への気体の漏れを許容し、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも低くなった場合には、外部から容器本体内部への気体の侵入を規制するようにしたことを特徴としている。
なお、シール部材を、フッ素ゴム組成物を用いて形成することができる。
【００１４】
さらに、本発明においては、上記課題を達成するため、精密基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口正面に着脱自在に嵌め合わされる蓋体と、容器本体の開口正面内周と蓋体の外周のいずれか一方に切り欠き形成される嵌合保持部と、この嵌合保持部に嵌められて容器本体と蓋体との間に介在する弾性変形可能なシール部材とを用いて密封容器をシールする方法であって、
シール部材を、嵌合保持部に嵌められるエンドレス部と、このエンドレス部から外周外方向に略斜めに伸びる屈曲可能な突片と、エンドレス部の表裏の少なくとも一方に突出形成されて嵌合保持部の区画内面に圧力作用状態で接触する嵌合リブとから形成し、
容器本体の開口正面を蓋体により閉じる際、シール部材の突片を屈曲させてその屈曲部分と容器本体の接触面あるいは蓋体の接触面とを接触させ、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも高まった場合には、容器本体内部から外部への気体の漏れを許容し、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも低くなった場合には、外部から容器本体内部への気体の侵入を規制することを特徴としている。
【００１５】
ここで、特許請求の範囲における突片の略斜めには、厳密な意味の斜めと、おおよそ斜めと認められる傾きが含まれる。この場合、湾曲部分を一部に含んでも良い。球形突起には、断面球形と認められる突起と、おおよそ断面球形と認められる突起とが含まれる。また、嵌合リブは、断面三角形状、半円形、半楕円形、半小判形、台形等に形成したり、単数複数に適宜増減することができる。容器本体の開口面は、正面、上面、側面等のいずれでも良い。蓋体は、容器本体の開口面の形状に応じ、略矩形、略円形、略小判形等に形成される。さらに、密封容器は、半導体ウェーハ、マスクガラス、液晶セル、記録媒体等を主に収納するが、なんらこれに限定されるものではない。
【００１６】
本発明によれば、容器本体の開口面を蓋体により塞ぐ場合には、容器本体と蓋体のいずれかに設けられた嵌合保持部にシール部材を嵌め、このシール部材の突片をエンドレス部の外周外方向に向ける。そして、容器本体の開口面に蓋体を嵌め合わせ、シール部材の突片を容器本体の開口面外方に略斜めに向けるとともに、突片又はその延長線と容器本体の開口面の接触面若しくは蓋体の接触面との間に略鋭角を形成させるようにし、シール部材の突片を容器本体の開口面外方に向け撓ませれば、容器本体の開口面を蓋体でシールすることができる。
なお、略鋭角には、厳密な意味の鋭角と、おおよそ鋭角と認められる角度のいずれもが含まれる。
【００１７】
また、エンドレス部の内外周方向に嵌合リブを一つではなく、複数形成すれば、保持力を分散することができる。したがって、リブが単数の場合に比べ、リブ一本当たりの保持力を小さく設定できるようになるので、リブの潰し代の高さを小さくでき、装着の困難化を抑えることができる。また、嵌合保持部にシール部材を嵌めやすく、しかも、密封度を向上させることができる。
【００１８】
また、本発明によれば、精密基板を収納した容器本体の開口正面を蓋体で閉鎖する場合には、容器本体あるいは蓋体の嵌合保持部にシール部材を嵌め、シール部材の突片を外周外方向に向ける。そして、容器本体の開口正面に蓋体を嵌め合わせ、シール部材の突片を容器本体の開口正面外方に略斜めに向けるとともに、突片又はその延長線と容器本体の開口正面の接触面若しくは蓋体の接触面との間に略鋭角を形成させるようにし、シール部材の突片を容器本体の開口正面外方に向け撓ませれば、容器本体の開口正面を蓋体で気密状態にシールすることができる。
なお、略鋭角には、厳密な意味の鋭角と、おおよそ鋭角と認められる角度のいずれもが含まれる。
また、フッ素ゴム組成物を用いてシール部材を形成すれば、シール部材の寸法を高精度にしたり、比較的簡単に変形させることができる。また、一般的に優れた耐熱性、耐油性、耐薬品性等を得ることができるし、使用時に有機成分の揮発量が少なく、精密基板が汚染するのを防止することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における密封容器は、図１ないし図６に示すように、フロントオープンボックスタイプの容器本体１の開口正面９に、略矩形の蓋体１１を弾性変形可能なエンドレスのシール部材２０を介し着脱自在に嵌合して密封閉鎖するようにしている。
【００２０】
容器本体１は、図１に示すように、ポリカーボネートやポリプロプピレン等の各種合成樹脂を使用して透明又は不透明の略立方形に成形され、円形を呈した複数枚の精密基板２を所定のピッチで上下に並べて収納する。この容器本体１の底面の前部両側と後部中央とには、図示しない精密基板加工装置に対して位置決め手段として機能するＶグルーブがそれぞれ突出形成され、この複数のＶグルーブに板形のボトムプレート３が着脱自在に嵌合保持される。このボトムプレート３は、基本的には平面略Ｙ字に成形され、左右に分かれた前部両側と後部中央とには、Ｖグルーブの周囲に嵌合する誘導部４がそれぞれ形成されている。
【００２１】
容器本体１の左右両側面には同図に示すように、別部品であるサイドレール５やマニュアルハンドル６がそれぞれ選択的に着脱自在に装着され、容器本体１の上面中心部には、図示しない搬送ロボットに把持されるロボティックフランジ７が選択的に着脱自在に装着されている。また、容器本体１の内部左右両側面には、棚形の支持部８が容器本体１に一体に形成、又は着脱自在に装着され、この一対の支持部８間に複数枚の精密基板２が所定のピッチで水平に整列支持される。容器本体１の開口正面９は、図５ないし図７に示すように、段付きに傾斜成形されて外側に徐々に拡開し、蓋体１１の閉鎖時に蓋体１１が円滑、迅速に嵌合するようガイドとして機能する。容器本体１の開口正面９における内周面上下には図１に示すように、左右に位置する係止穴１０がそれぞれ凹み形成されている。
【００２２】
蓋体１１は、図１に示すように、隙間を介して相互に対向嵌合する裏面プレート１２と表面プレート１３とを備え、これら裏面プレート１２と表面プレート１３の間にはラッチ機構１４が内蔵されており、このラッチ機構１４が容器本体１に蓋体１１が嵌合する際、各係止穴１０に出没可能な係止爪１５を係合させ、密封容器の気密状態を確保する。蓋体１１の外周面には図５ないし図７に示すように、凹部からなるエンドレスの嵌合保持溝１６が実質的に切り欠き形成され、外周面の上下には図１に示すように、左右に位置する係止爪１５用の出没孔１７がそれぞれ穿孔形成されている。裏面プレート１２には略棚形のリテーナ１８が着脱自在に装着され、このリテーナ１８が複数枚の精密基板２の前部周縁を弾発的に支持する。また、表面プレート１３の左右にはラッチ機構１４用の操作孔１９がそれぞれ穿孔形成されている。
【００２３】
シール部材２０は、各種の熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム、ＥＰＤＭ、ＮＢＲ等を使用して６０°〜９０°(ＪＩＳ ６２５３に準拠して測定)程度の硬度に成形されている。このシール部材２０の材料としては、加熱時の有機ガス成分の発生量が少なく、精密基板２に対する悪影響が小さいフッ素ゴムが最も好ましい。シール部材２０は、図２ないし図４に示すように、嵌合保持溝１６に嵌入される断面略矩形のエンドレス部２１と、この弾性変形可能なエンドレス部２１の全外周コーナ部から表面外方、あるいは容器本体１の開口正面外方に斜めに伸長するとともに、容器本体１の開口正面９の接触面との間に略鋭角を形成する屈曲可能な突片２２と、エンドレス部２１の表面内外周方向に並べて突出形成され、嵌合保持溝１６の区画内面１６ａに圧接する弾性変形可能な一対の嵌合リブ２３とを備えている。
【００２４】
エンドレス部２１は、図２に示すように、基本的には枠形に形成され、四隅部がそれぞれ丸く面取り形成されている。突片２２は、図３や図４に示すように、根元部から先端部にかけて徐々に細くなるよう断面略三角形の先細りに突出形成され、エンドレス部２１の幅の０．５倍〜３倍、好ましくは０．７倍〜２倍の範囲の長さに形成されている。この突片２２は、良好な反発力が得られるよう根元部の肉厚が０．４ｍｍ〜２ｍｍの範囲で形成され、先端部の肉厚が根元部の肉厚の５０〜８０％の範囲で形成される。突片２２は傾斜して伸長されるが、この突片２２の傾斜角度はエンドレス部２１の外周から容器本体１の開口正面９に対して１０°〜７０°、好ましくは２５°〜４５°の範囲とされる。
【００２５】
一対の嵌合リブ２３は、図３や図４に示すように、エンドレス部２１の外周側に位置する嵌合リブ２３がエンドレス部２１の内周側に位置する嵌合リブ２３よりも高く形成される。各嵌合リブ２３は、同図に示すように、断面略半円形に形成され、嵌合保持溝１６の深さよりも高さが１〜２５％程度高くなるよう形成されており、嵌合保持溝１６にエンドレス部２１が嵌入される際、１〜２５％程度の高さ量が潰され、嵌合保持溝１６の内部空間を埋めて強固に保持される。
なお、シール部材２０の内側の側壁には図３に示すように、垂直壁又は垂直壁を有する位置決め用の突起２７が形成されるのが好ましい。この突起２７により、シール部材２０を嵌合保持溝１６内に正確に位置決めすることができるようになる。こうした保持機構と位置決め機構により、シール部材２０が嵌合保持溝１６内に正確に取り付けられ、位置ずれも抑制されるので、嵌合保持溝１６が好適な状態にシールされる。
【００２６】
上記構成において、複数枚の精密基板２を整列収納した容器本体１の開口正面９を蓋体１１で閉鎖する場合には、予め蓋体１１の嵌合保持溝１６にシール部材２０を嵌合し、シール部材２０の突片２２を外周外方向に向けておく。こうして準備が整ったら、容器本体１の開口正面９に蓋体１１を精密基板加工装置により嵌合して容器本体１と蓋体１１との間にシール部材２０を挟み、シール部材２０の突片２２を容器本体１の開口正面外方に斜めに向けるとともに、突片２２又はその延長線と容器本体１の開口正面９の接触面（内周面）との間に略鋭角を形成させるようにする ( 図５、図６参照 ) 。そして、精密基板加工装置によりラッチ機構１４を施錠操作し、シール部材２０の突片２２を容器本体１の開口正面外方に向け屈曲(図６参照)させれば、容器本体１の開口正面９を蓋体１１で気密状態にシールすることができる。
【００２７】
この際、シール部材２０の突片２２を容器本体１の開口正面外方に向け湾曲させ、蓋体１１の取り付け方向（図６の上下方向）にシール部材２０を圧縮しないようにするので、蓋体嵌合時の負荷を大幅に軽減することができる。また、容器本体１と蓋体１１とを円滑に嵌合させ、蓋体開閉時のトラブルを低減することもできる。
【００２８】
上記構成によれば、シール部材２０をフッ素ゴムで単純な形状に簡単に成形することができるので、高精度の寸法や変形の容易化が大いに期待できる。したがって、容器本体１の開口正面内周にシール部材２０を均一に当接させてシールするのがきわめて容易となる。本発明ではシール部材２０を形成する突片２２を断面三角形の先細りとしたので、小さな力で変形可能であり、しかも、外側に傾斜しているので、適度な反発力が得られる。このため、例え容器本体１の開口正面９のコーナ部でも、シール性の著しい低下を招くことがない。
【００２９】
また、シール部材２０の潰し量を大きく設定する必要がないので、シール部材２０の反発力により蓋体１１の開閉装置に必要以上の負荷の作用することがなく、蓋体１１の操作中断のおそれを有効に解消することができる。また、突片２２が外側に傾斜して指向しているので、突片２２が内外いずれにも変形することがない。したがって、突片２２の撓み方向が逆になり、その部分のシール性にむらが生じるのを有効に防止することができる。
【００３０】
また、密封容器の内外に圧力差が発生した場合でも、実に良好なシールが期待できる。すなわち、温度変化等により密封容器の内部圧力が外部に比べて高くなり、内部の気体が外部に押し出される場合には、突片２２が撓む方向にさらに力が加わるので、気体が外部に漏れやすく、圧力差が比較的短い時間に解消される。この際、容器本体１の内部の気体が外部に流出するので、容器本体１の内部が汚染されることがない。逆に、密封容器の外部から圧力が加わり、容器本体１の内部に気体や汚染物等が侵入しようとする場合、撓んでいる方向に突片２２をさらに押圧するので、シール性が増すこととなり、外部から気体が内部に流入しづらくなる。したがって、外部から気体（図６の矢印参照）が内部に流入し、精密基板２が汚れるのを有効に防止することが可能となる。
【００３１】
さらに、嵌合保持溝１６の区画内面１６ａに一対の嵌合リブ２３が強く圧接して位置決めし、抜けにくくするので、例え蓋体１１が頻繁に繰り返し開閉操作されても、シール部材２０の位置ずれすることがない。よって、容器本体１と蓋体１１の嵌合保持溝１６との間でシール部材２０が強く潰されて必要以上に変形したり、シール性を損ねたり、あるいはシール部材２０が部分的に擦れ合い、樹脂粉やパーティクルを発生させて精密基板２の汚染を招くことがない。さらにまた、密封容器の清浄性を確保するため、容器本体１又は蓋体１１にシール部材２０を嵌合した状態で洗浄する場合でも、シール部材２０の露出領域に袋状の凹部２５がなんら存在しないので、全部分を十分に洗浄することができ、水滴Ｗが残存するおそれがない。よって、清浄性や水切り性を著しく向上させ、しかも、乾燥作業の短縮が大いに期待できる。
【００３２】
次に、図７は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、容器本体１の開口正面９におけるシール部材２０との接触部分９ａを開口方向に突出形成し、エンドレス部２１の表面外周側から屈曲可能な突片２２を外周外方向に斜めに突出させるようにしている。容器本体１の接触部分９ａは、突片２２の撓み時の湾曲形状に合致するよう開口正面９の段差部付近に一部湾曲して形成され、蓋体１１の閉鎖時に突片２２の根元部付近に略対向する。突片２２は、直線状に突出させても良いし、僅かに湾曲させた状態で突出させても良い。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００３３】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、容器本体１の接触部分９ａが突片２２の撓み時の湾曲形状に対応してガイド機能を発揮するので、シール部材２０に外圧が作用する場合、突片２２の撓み方向を確実に特定することができる。したがって、シール性能をさらに向上させ、精密基板２の汚染防止を確保できるのは明らかである。
【００３４】
次に、図８は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、エンドレス部２１の内周面側から屈曲可能な突片２２を断面略釣り針形に湾曲させて外周外方向に斜めに折り返し突出させ、エンドレス部２１の表面に一対の嵌合リブ２３を並べて突出形成するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、上記第１、第２の実施形態を採用することができない場合にきわめて有意義である。
【００３５】
次に、図９は本発明の第４の実施形態を示すもので、この場合には、容器本体１の開口正面内周に、エンドレスの嵌合保持溝１６を断面略Ｌ字形の区画片を介し実質的に切り欠き形成し、この凹部からなる嵌合保持溝１６にシール部材２０を嵌入するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、上記第１、第２、第３の実施形態を採用することができない場合に有意義である。
【００３６】
次に、図１０ないし図１３は本発明の第５の実施形態を示すもので、この場合には、エンドレス部２１の全外周コーナ部から突片２２をやや湾曲させながら斜めに伸長し、この突片２２の先端部に一体的な断面球形の球形突起２８を膨出形成し、エンドレス部２１の表面には、傾きの異なる略三角形の嵌合リブ２３ａ・２３ｂを並べて突出形成するようにしている。
【００３７】
突片２２は、容器本体１の開口方向に向けてＲ３〜１０ｍｍの曲率半径で湾曲形成される。また、球形突起２８は、好ましくはＲ０．３〜０．８ｍｍの範囲の曲率半径で形成される。また、嵌合リブ２３ａ・２３ｂは、図１０や図１３に示すように、表面から内側面にかけて傾斜面が形成され、エンドレス部２１の表面内側に位置する嵌合リブ２３ａが低く（例えば、高さ０．８ｍｍ）、エンドレス部２１の表面外側に位置する嵌合リブ２３ｂが高くなるよう突出形成されている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００３８】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、突片２２の先端部に球形突起２８を膨出形成し、直線的で成形が困難なナイフエッジ部分を省略するようにしているので、成形の容易化が大いに期待できる。また、突片２２の先端部が丸い球形突起２８であるから、容器本体１と繰り返し接触するシール部材２０の先端部からパーティクルが発生するのを少なくすることができる。
【００３９】
また、図１２に示すように、突片２２を圧縮方向に対して内向きに湾曲させ、この湾曲形状に沿って突片２２を撓ませる（同図の矢印参照）ようにしているので、容器本体１との摩擦抵抗を大幅に減少させることができる。この結果、蓋体開閉の抵抗を低減することができるので、小さな圧縮力で確実にシールすることができ、蓋体１１の開閉トラブルをきわめて有効に抑制防止することができる。さらに図１３に示すように、組立時に奥側となる内側に位置する嵌合リブ２３ａを低く（ｈ１）、組立時に開口手前側となる外側に位置する嵌合リブ２３ｂを高く（ｈ２）なるよう配設しているので、組立時には嵌合保持溝１６にシール部材２０を円滑に嵌合することができる。
【００４０】
さらにまた、図１３に示すように、嵌合リブ２３ａ、２３ｂは、略三角形の突起であり、それぞれの内外の角度２９ａ・２９ｂの間に、２９ａ＜２９ｂの関係がある。したがって、蓋体１１の嵌合後には、嵌合リブ２３ａ、２３ｂの先端部が嵌合溝１６の開口方向に倒れて圧接し、開口部への引き抜き方向に対して逆目状となり、抜けにくくすることができる。よって、使用時にきわめて位置ずれしにくい構造を得ることができる。
【００４１】
なお、上記実施形態では蓋体１１にラッチ機構１４を内蔵したが、このラッチ機構１４は、クランプや係止部品等の他の係止機構に置き換えることができる。また、枠形のシール部材２０を示したが、なんらこれに限定されるものではなく、中空を形成する円形、楕円形、多角形等のシール部材２０でも良い。エンドレス部２１も断面略矩形ではなく、断面略小判形等とすることができる。
【００４２】
【実施例】
以下、本発明に係る密封容器の実施例を比較例と共に説明する。
１．密封容器のシール性の確認試験
実施例
３００ｍｍの精密基板（シリコンウェーハ）２を２５枚収納する工程内搬送用、精密基板収納用のシール部材２０をフッ素ゴムを用いて図２ないし図４の形状に形成し、このシール部材２０を密封容器に嵌入し、シール性の確認試験を実施した。
【００４３】
確認試験は図１４に示すような要領で実施した。具体的には、容器本体１の背面下部に貫通孔を穿孔してこの貫通孔にはフレキシブルホースからなる配管３０を接続し、この貫通孔と配管３０との隙間をシーラント剤で封止した。容器本体１の開口正面９には、シール部材２０付きの蓋体１１を嵌合して閉鎖した。また、配管３０には圧力計３１を設置するとともに、配管３０の自由端部には密封容器の内部を加圧する加圧装置３２と、密封容器の内部を減圧するポンプ装置とを開閉バルブ３３を介して接続した。そしてその後、密封容器の内部を加圧（２×１０４Ｐａ加圧時）して開閉バルブ３３を閉じた場合と、密封容器の内部を減圧（−２×１０４Ｐａ加圧時）して開閉バルブ３３を閉じた場合との圧力差の変動を圧力計３１で測定し、シール性を確認して結果を表１にまとめた。
【００４４】
比較例
シール部材２０をフッ素ゴムを用いて図１５の形状に形成し、実施例と同様の確認試験を実施し、結果を表１にまとめた。
【００４５】
【表１】
２．シール部材の反発力の測定
実施例
シール性の確認試験で使用したシール部材２０の直線部分を３ｃｍに切断し、これを押し潰すときの潰し量とそのときの反発力とを（株）島津製作所製の精密万能試験機（商品名：オートグラフ）で測定し、結果を表２にまとめた。
比較例
実施例同様、シール性の確認試験で使用したシール部材２０の直線部分を３ｃｍに切断し、これを押し潰すときの潰し量とそのときの反発力とを上記精密万能試験機で測定し、結果を表２にまとめた。
【００４７】
【表２】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、精密基板を収納する容器本体の開口面内周等を略均一にシールすることができるという効果がある。また、嵌合保持部の内面に嵌合リブが強く接触して位置決めし、抜けにくくするので、例え蓋体が頻繁に繰り返し開閉操作されても、シール部材の位置ずれを抑制することができる。よって、シール部材が強く潰されて必要以上に変形したり、シール性を損ねたり、あるいはシール部材が部分的に擦れ合い、精密基板の汚染を招くのを防ぐことができる。また、例えシール部材を容器本体又は蓋体と共に洗浄しても、良好に洗浄することができ、清浄性や水切り性を向上させ、しかも、乾燥作業の短縮等が期待できる。さらに、容器本体の内外に圧力差が発生した場合でも、圧力差を比較的短い時間に解消して良好なシールを維持することができ、精密基板が汚れるのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る密封容器及びそのシール方法の実施形態を示す概略分解斜視説明図である。
【図２】本発明に係るシール部材、密封容器及びそのシール方法の実施形態におけるシール部材を示す正面図である。
【図３】図２のＩＩＩ‐ＩＩＩ線断面図である。
【図４】図２のＩＶ‐ＩＶ線断面図である。
【図５】本発明に係る密封容器及びそのシール方法の実施形態における容器本体にシール部材付きの蓋体を嵌合する状態を示す部分断面説明図である。
【図６】図６のシール部材の突片が屈曲した状態を示す部分断面説明図である。
【図７】本発明に係る密封容器及びそのシール方法の第２の実施形態を示す部分断面説明図である。
【図８】本発明に係る密封容器及びそのシール方法の第３の実施形態を示す部分断面説明図である。
【図９】本発明に係る密封容器及びそのシール方法の第４の実施形態を示す部分断面説明図である。
【図１０】本発明に係る密封容器及びそのシール方法の第５の実施形態におけるシール部材を示す断面説明図である。
【図１１】図１０のシール部材を使用して容器本体に蓋体を嵌合する状態を示す部分断面説明図である。
【図１２】図１１のシール部材の突片が撓む状態を示す部分断面説明図である。
【図１３】図１０のシール部材を示す要部拡大説明図である。
【図１４】本発明に係る密封容器及びそのシール方法の実施例を示す断面説明図である。
【図１５】従来の密封容器及びそのシール方法を示す部分断面説明図である。
【図１６】図１５のシール部材が変形した状態を示す部分断面説明図である。
【符号の説明】
１ 容器本体
２ 精密基板
９ 開口正面(開口面)
９ａ 接触部分
１１ 蓋体
１２ 裏面プレート
１３ 表面プレート
１６ 嵌合保持溝(嵌合保持部)
１６ａ 区画内面
２０ シール部材
２１ エンドレス部
２２ 突片
２３ 嵌合リブ
２３ａ 嵌合リブ
２３ｂ 嵌合リブ
２７ 位置決め用の突起
２８ 球形突起
ｈ１ 嵌合リブ２３ａの高さ
ｈ２ 嵌合リブ２３ｂの高さ
Claims (6)
- 精密基板を収納する容器本体とその開口面を開閉する蓋体との間に介在される弾性変形可能なシール部材であって、
容器本体の開口面内周と蓋体外周のいずれか一方に切り欠き形成された嵌合保持部に嵌められるエンドレス部と、このエンドレス部から外周外方向に略斜めに伸びる屈曲可能な突片と、エンドレス部の表裏の少なくとも一方に突出形成されて嵌合保持部の内面に圧力作用状態で接触する嵌合リブとを含み、
容器本体の開口面を蓋体により閉じる際、突片を屈曲させてその屈曲部分と容器本体の接触面あるいは蓋体の接触面とを接触させ、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも高まった場合には、容器本体内部から外部への気体の漏れを許容し、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも低くなった場合には、外部から容器本体内部への気体の侵入を規制するようにしたことを特徴とするシール部材。 - 突片の先端部に、断面球形の球形突起を設けた請求項１記載のシール部材。
- 嵌合リブを複数にしてエンドレス部の内外方向に並べ、この複数の嵌合リブのうち、エンドレス部の外周側に形成された嵌合リブの高さをエンドレス部の内周側に形成された嵌合リブよりも高くした請求項１又は２記載のシール部材。
- 精密基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口正面に着脱自在に嵌め合わされる蓋体と、容器本体の開口正面内周と蓋体の外周のいずれか一方に切り欠き形成される嵌合保持部と、この嵌合保持部に嵌められて容器本体と蓋体との間に介在する弾性変形可能なシール部材とを備えた密封容器であって、
シール部材を、嵌合保持部に嵌められるエンドレス部と、このエンドレス部から外周外方向に略斜めに伸びる屈曲可能な突片と、エンドレス部の表裏の少なくとも一方に突出形成されて嵌合保持部の区画内面に圧力作用状態で接触する嵌合リブとから形成し、
容器本体の開口正面を蓋体により閉じる際、シール部材の突片を屈曲させてその屈曲部分と容器本体の接触面あるいは蓋体の接触面とを接触させ、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも高まった場合には、容器本体内部から外部への気体の漏れを許容し、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも低くなった場合には、外部から容器本体内部への気体の侵入を規制するようにしたことを特徴とする密封容器。 - シール部材を、フッ素ゴム組成物を用いて形成した請求項４記載の密封容器。
- 精密基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口正面に着脱自在に嵌め合わされる蓋体と、容器本体の開口正面内周と蓋体の外周のいずれか一方に切り欠き形成される嵌合保持部と、この嵌合保持部に嵌められて容器本体と蓋体との間に介在する弾性変形可能なシール部材とを用いて密封容器をシールする方法であって、
シール部材を、嵌合保持部に嵌められるエンドレス部と、このエンドレス部から外周外方向に略斜めに伸びる屈曲可能な突片と、エンドレス部の表裏の少なくとも一方に突出形成されて嵌合保持部の区画内面に圧力作用状態で接触する嵌合リブとから形成し、
容器本体の開口正面を蓋体により閉じる際、シール部材の突片を屈曲させてその屈曲部分と容器本体の接触面あるいは蓋体の接触面とを接触させ、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも高まった場合には、容器本体内部から外部への気体の漏れを許容し、蓋体により閉じられた容器本体の内圧が外圧よりも低くなった場合には、外部から容器本体内部への気体の侵入を規制することを特徴とする密封容器のシール方法。
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| JP5028445B2 (ja) * | 2009-05-13 | 2012-09-19 | 三菱電線工業株式会社 | 密封構造 |
| JP2011190698A (ja) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Denso Corp | スロットル弁装置 |
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| JP5627509B2 (ja) * | 2011-03-01 | 2014-11-19 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
| JP5240594B1 (ja) | 2012-04-12 | 2013-07-17 | Ｎｏｋ株式会社 | ガスケット |
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| JP6576811B2 (ja) * | 2015-12-04 | 2019-09-18 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
| JP6687840B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2020-04-28 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ロードポート |
| JP6572466B2 (ja) * | 2016-05-27 | 2019-09-11 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
| JP6673185B2 (ja) * | 2016-12-22 | 2020-03-25 | 株式会社Sumco | 緩衝材 |
| JP6709176B2 (ja) * | 2017-01-26 | 2020-06-10 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器の管理方法 |
| DE102017203703A1 (de) * | 2017-03-07 | 2018-09-13 | Robert Bosch Gmbh | Ventilanordnung für ein Magnetventil und korrespondierendes Magnetventil |
| KR102484514B1 (ko) | 2017-06-01 | 2023-01-05 | 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 | 기판 수납 용기 |
| WO2019009065A1 (ja) | 2017-07-07 | 2019-01-10 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
| KR20200142540A (ko) | 2018-04-19 | 2020-12-22 | 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 | 기판 수납 용기 |
| JP7073599B2 (ja) * | 2018-05-28 | 2022-05-24 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
| KR102083111B1 (ko) * | 2018-08-20 | 2020-02-28 | 박현진 | 패킹 구조 |
| CN109963424A (zh) * | 2019-03-07 | 2019-07-02 | 深圳市海洋王照明工程有限公司 | 端面密封结构及防爆网关控制器 |
| JP6849047B2 (ja) * | 2019-12-06 | 2021-03-24 | 株式会社Sumco | 緩衝材 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014116490A (ja) * | 2012-12-11 | 2014-06-26 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
| JP2017092229A (ja) * | 2015-11-10 | 2017-05-25 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
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