JP5183585B2 - 測定装置、試験装置および測定方法 - Google Patents

Description

本発明は、測定装置、試験装置および測定方法に関する。特に本発明は、負荷に流れる電流を測定する測定装置、試験装置および測定方法に関する。

半導体回路等の被試験デバイスを試験する試験装置の試験項目として、被試験デバイスに直流電圧を印加した状態で当該被試験デバイスに流れる電流を測定する電圧印加電流測定試験が知られている（例えば、特許文献１、２参照）。試験装置は、電圧印加電流測定試験を行う場合、電源部と被試験デバイスとの間に配置されたセンス抵抗の両端の電位差を検出することにより電流を測定する。

特開２００７−１２７５６８号公報 国際公開第２００５／１１６６７２号パンフレット

ところで、電圧印加電流測定試験において、例えば過電流によりセンス抵抗に大きな電流が流れた場合、センス抵抗の両端の電位差が大きくなる。センス抵抗の電位差が大きくなると、試験装置内の電源部は、被試験デバイスへの印加電圧を一定に維持するべく、出力電圧を大きくする。しかしながら、電源部が出力できる出力電圧には上限がある。従って、電圧印加電流測定試験において、センス抵抗に過電流が流れて電源部の出力電圧が上昇して、電源部の出力電圧が上限値に達しまう場合がある。このような場合、試験装置は、被試験デバイスに対して一定の印加電圧を供給し続けることができなくなってしまう。

このような問題を解決することを目的として、例えば、センス抵抗と並列に順方向のダイオードを接続して、センス抵抗の両端の電位差を制限することが考えられる。これにより、試験装置は、電源部の出力電圧が上限に達しないように制限をすることができる。しかし、このような試験装置は、センス抵抗と並列に順方向のダイオードを接続するので、回路規模が大きくなってしまう。

さらに、このような試験装置では、複数段のダイオードをセンス抵抗に接続して耐圧を大きくし、電流測定時におけるダイオードへの漏れ電流を小さくしなければならない。しかし、このような試験装置は、被試験デバイスに与えるべき印加電圧から出力できる上限電圧までの電圧余裕（ヘッドルーム）が、少なくともダイオードでの電圧降下より大きい電源部を備えなければならないので、電力効率が悪かった。

上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、負荷に流れる電流を測定する測定装置であって、負荷に供給する電流を出力する電源部と、負荷および電源部の間に流れる負荷電流を測定する電流測定部と、負荷および電源部の間に電流測定部と並列に接続されるスイッチと、負荷電流を測定する場合にスイッチを切断状態とし、負荷電流が予め定められた基準範囲外となった場合にスイッチを接続状態に切り替える制御部と、を備える測定装置を提供する。

本発明の第２の形態においては、電子デバイスに流れる電流を測定する試験装置であって、電子デバイスに供給する電流を出力する電源部と、電子デバイスおよび電源部の間に流れる負荷電流を測定する電流測定部と、電子デバイスおよび電源部の間に電流測定部と並列に接続されるスイッチと、負荷電流を測定する場合にスイッチを切断状態とし、負荷電流が予め定められた基準範囲外となった場合にスイッチを接続状態に切り替える制御部と、を備える試験装置を提供する。

本発明の第３の形態においては、負荷に流れる電流を測定する測定装置による測定方法であって、測定装置は、負荷に供給する電流を出力する電源部と、負荷および電源部の間に流れる負荷電流を測定する電流測定部と、負荷および電源部の間に電流測定部と並列に接続されるスイッチとを備え、負荷電流を測定する場合にスイッチを切断状態とし、負荷電流が予め定められた基準範囲外となった場合にスイッチを接続状態に切り替える測定方法を提供する。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を電子デバイス３００とともに示す。 図２は、本実施形態に係る電源装置１８の構成を電子デバイス３００とともに示す。 図３は、電流測定部３４の構成の一例をスイッチ３６とともに示す。 図４は、制御部３８の構成の一例をスイッチ３６とともに示す。 図５は、本実施形態の変形例に係る電流測定部３４の構成をスイッチ３６および制御部３８とともに示す。 図６は、変形例に係る電源装置１８の処理フローを示す。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を電子デバイス３００とともに示す。試験装置１０は、半導体回路等の電子デバイス３００を試験する。試験装置１０は、例えば、電子デバイス３００に対して直流電圧を印加して当該電子デバイス３００に流れる電流を測定する電圧印加電流測定試験をすることができる。

試験装置１０は、パターン発生部１２と、試験信号供給部１４と、判定部１６と、電源装置１８と、制御装置２０とを備える。パターン発生部１２は、電子デバイス３００に与える試験信号の波形等を表すパターンを発生する。試験信号供給部１４は、パターン発生部１２が発生したパターンに応じた波形の試験信号を電子デバイス３００に供給する。判定部１６は、与えられた試験信号に応じて電子デバイス３００が出力した応答信号を受け取る。そして、判定部１６は、パターン発生部１２が発生したパターンに応じた期待値と、受け取った応答信号とを比較して、電子デバイス３００の良否を判定する。

電源装置１８は、電子デバイス３００に電源電圧を供給する。さらに、電源装置１８は、電子デバイス３００に流れる電流を測定する測定装置としても機能する。電源装置１８は、例えば電圧印加電流測定試験において、測定装置として機能する。制御装置２０は、当該試験装置１０の全体を制御する。制御装置２０は、パターン発生部１２の動作制御、および、電源装置１８の動作制御をしてよい。

図２は、本実施形態に係る電源装置１８の構成を電子デバイス３００とともに示す。電源装置１８は、指定された値に安定化された直流の電源電圧を装置出力端２２から発生して、負荷の一例である電子デバイス３００に印加する。さらに、電源装置１８は、装置出力端２２と電子デバイス３００との間に流れる負荷電流を測定する測定装置としても機能する。

電源装置１８は、電源部３２と、電流測定部３４と、スイッチ３６と、制御部３８と、大電流測定部４２とを有する。電源部３２は、電子デバイス３００に供給する電流を出力する。本実施形態において、電源部３２は、装置出力端２２の電圧値が指定された値で安定するような電源電圧を、装置出力端２２に接続された電源部端４６から発生する。より詳しくは、電源部３２は、装置出力端２２の電圧を検出し、検出した装置出力端２２の電圧が指定された参照電圧となるように調整された電源電圧を電源部端４６から発生する。

電流測定部３４は、電子デバイス３００および電源部３２の間に流れる負荷電流を測定する。より詳しくは、電流測定部３４は、電源部端４６と装置出力端２２との間を接続する配線中に挿入され、電源部端４６と装置出力端２２との間に流れる電流を測定する。

スイッチ３６は、電子デバイス３００および電源部３２の間に電流測定部と並列に接続される。より詳しくは、スイッチ３６は、電流測定部３４における、電源部端４６に接続された電源部側端子４８と装置出力端２２側に接続されたデバイス側端子５０との間に接続される。そして、スイッチ３６は、電源部側端子４８とデバイス側端子５０との間を接続状態または切断状態とする。

制御部３８は、スイッチ３６を接続状態とするかまたは切断状態とするかを切り替える。より詳しくは、制御部３８は、電流測定部３４により負荷電流を測定する場合にスイッチ３６を切断状態とする。そして、制御部３８は、電流測定部３４による負荷電流の測定中において、負荷電流が予め定められた基準範囲外となった場合にスイッチ３６を接続状態に切り替える。

なお、予め定められた基準範囲は、一例として、電流測定部３４の両端の電圧が、電源部３２が出力できる上限電圧と装置出力端２２から出力すべき電圧との差電圧から、電源部３２が出力できる下限電圧と装置出力端２２から出力すべき電圧との差電圧までの範囲となるような、負荷電流の範囲であってよい。また、基準範囲外となった場合は、一例として、電源部３２から電子デバイス３００へ流れ出す電流が予め定められた値より大きくなった場合、または、電子デバイス３００から電源部３２へ流れ込む電流が予め定められた値より大きくなった場合であってよい。

大電流測定部４２は、電子デバイス３００および電源部３２の間に流れる負荷電流を測定する。より詳しくは、電流測定部３４は、電源部端４６と装置出力端２２との間を接続する配線中に挿入され、電源部端４６と装置出力端２２との間に流れる電流を測定する。大電流測定部４２は、一例として、電流測定部３４に対して直列に接続され、例えば測定レンジが電流測定部３４と比較して広い。大電流測定部４２は、一例として、電子デバイス３００の機能試験中において、電子デバイス３００に対して供給される電流を測定してよい。

電流測定部３４は、電子デバイス３００および電源部３２の間に流れる負荷電流を測定する。より詳しくは、電流測定部３４は、電源部端４６と装置出力端２２との間を接続する配線中に挿入され、電源部端４６と装置出力端２２との間に流れる電流を測定する。

また、電源装置１８は、電流測定部３４による負荷電流の測定処理を行う場合には、スイッチ３６を開放状態とする。これにより、電源装置１８は、電子デバイス３００に電源電圧を供給できるとともに、電子デバイス３００に供給される負荷電流を電流測定部３４を用いて測定することができる。

さらに、電源装置１８は、電流測定部３４による負荷電流の測定中において、負荷電流が基準範囲外となった場合、スイッチ３６を接続状態に切り替える。これにより、電源装置１８は、負荷電流が基準範囲外となったことにより測定を中断する場合であっても、電子デバイス３００への電源電圧の供給を継続することができる。

また、試験装置１０は、電子デバイス３００の直近に、電子デバイス３００に対して並列にコンデンサ４０を備えてよい。コンデンサ４０は、一例として、電子デバイス３００の電源端子とグランドとの間に接続されてよい。コンデンサ４０は、電子デバイス３００のインピーダンス変動に対して電源部３２が発生する電源電圧の応答に遅れが生じた場合、電源部３２に代わって電子デバイス３００に電流を供給することができる。また、電源装置１８は、更に、装置出力端２２とグランドとの間にコンデンサを有してもよい。

図３は、電流測定部３４の構成の一例をスイッチ３６とともに示す。電流測定部３４は、一例として、センス抵抗５２と、第１電位差検出部５４と、電流検出部５６と、電流測定部内スイッチ５８とを含んでよい。

センス抵抗５２は、予め定められた抵抗値を有し、電子デバイス３００および電源部３２の間にスイッチ３６と並列に接続される。より詳しくは、センス抵抗５２は、電源部側端子４８とデバイス側端子５０との間の配線に挿入される。

第１電位差検出部５４は、センス抵抗５２の両端の電位差を検出する。第１電位差検出部５４は、センス抵抗５２の両端の電位差に応じた電圧を発生する差動増幅器であってよい。

電流検出部５６は、第１電位差検出部５４が検出した電位差に基づいて負荷電流を検出する。電流検出部５６は、一例として、センス抵抗５２の両端の電位差をＡＤ変換することにより負荷電流に応じたデジタルデータを取得してもよい。電流検出部５６は、一例として、このデジタルデータをセンス抵抗５２の抵抗値で除することにより、負荷電流を算出してもよい。そして、電流検出部５６は、検出した負荷電流の値を表わす信号またはデータを測定結果として出力する。

電流測定部内スイッチ５８は、電源部側端子４８とデバイス側端子５０との間の配線に、センス抵抗５２に対して直列に挿入され、電源部側端子４８とデバイス側端子５０との間にセンス抵抗５２を接続した状態または切断した状態とする。電流測定部内スイッチ５８は、当該電流測定部３４により負荷電流の測定が行われる場合には接続状態に制御され、当該電流測定部３４により負荷電流の測定が行われない場合には切断状態に制御される。

図４は、制御部３８の構成の一例をスイッチ３６とともに示す。制御部３８は、一例として、第２電位差検出部７２と、判定部７４と、記憶部７６と、制御回路７８とを含んでよい。

第２電位差検出部７２は、電流測定部３４による負荷電流の測定中において、図３に示されたセンス抵抗５２の両端の電位差、即ち、スイッチ３６の両端の電位差を検出する。第２電位差検出部７２は、スイッチ３６の両端の電位差（即ち、センス抵抗５２の両端の電位差）に応じた電圧を発生する差動増幅器であってよい。

判定部７４は、第２電位差検出部７２が検出した電位差が、基準範囲に応じて設定された電圧範囲内か否かを判定する。判定部７４は、第２電位差検出部７２が検出した電位差が電圧範囲外である場合に論理Ｈとなり、第２電位差検出部７２が検出した電位差が電圧範囲内である場合に論理Ｌとなる判定信号を出力する。

記憶部７６は、電流測定部３４による負荷電流の測定中において、負荷電流が基準範囲外となった場合に、判定部７４による判定結果に基づいて、判定結果が負荷電流の測定がフェイルしたことを示す検出情報を格納する。また、記憶部７６は、制御装置２０から与えられたクリア指示を受け取った場合、記憶している検出情報をクリアする。

制御回路７８は、電流測定部３４による負荷電流の測定中において、判定部７４により電位差が電圧範囲外である判断された場合に、スイッチ３６を接続状態に切り替える。また、制御回路７８は、当該電流測定部３４による負荷電流の測定期間中において、記憶部７６に検出情報が格納された場合に、検出情報がクリアされるまでの間、スイッチ３６を接続状態のまま維持する。

制御回路７８は、ＯＲ回路８０を含む。ＯＲ回路８０は、判定部７４が出力する判定信号と、記憶部７６が出力する、検出情報が記憶されている場合に論理Ｈとなる記憶内容との論理和を算出する。そして、制御回路７８は、ＯＲ回路８０により算出された論理和が論理Ｈである場合に、スイッチ３６を接続状態とする。このような構成の制御部３８は、電流測定部３４による負荷電流の測定中において、負荷電流が基準範囲外となった場合に、記憶部７６がクリアされるまでの間スイッチ３６を接続状態に切り替えることができる。

なお、このような構成の制御部３８において、第２電位差検出部７２は、電源部３２におけるフィードバック電圧の変動に対する出力電圧の応答速度よりも、高速に動作することが好ましい。これにより、第２電位差検出部７２は、負過電流が基準範囲外となった場合、電源部３２の出力電圧が上限に達する前に、スイッチ３６を接続状態に切り替えて、電子デバイス３００への電源電圧の供給を継続することができる。また、第２電位差検出部７２は、第１電位差検出部５４より高速に動作することが好ましい。例えば、第２電位差検出部７２および第１電位差検出部５４のそれぞれが差動増幅器の場合、第２電位差検出部７２の応答速度は、第１電位差検出部５４の応答速度より高速であることが好ましい。これにより、第２電位差検出部７２は、負荷電流が基準範囲外となった場合に高速にスイッチ３６を接続状態に切り替えることができる。

また、第１電位差検出部５４は、当該電圧印加電流測定試験における測定機能の仕様を満たす精度で電位差を検出する。また、第１電位差検出部５４は、第２電位差検出部７２より高精度に電位差を検出してよい。例えば、第２電位差検出部７２および第１電位差検出部５４のそれぞれが差動増幅器の場合、第１電位差検出部５４は、第２電位差検出部７２より精度が良くてよい。これにより、第１電位差検出部５４は、負荷電流を精度良く測定することができる。なお、第１電位差検出部５４および第２電位差検出部７２は、当該電圧印加電流測定試験における測定機能の仕様を満たし、且つ、十分に高速に応答する１個の差動増幅器により実現されてもよい。

以上のように、電源装置１８は、電流測定部３４による負荷電流の測定中において、負荷電流が基準範囲外となった場合、スイッチ３６を接続状態に切り替えて、電子デバイス３００への電源電圧の供給を継続する。これにより、電源装置１８によれば、回路規模を増加させずに、電源部３２の出力電圧が上限に達しないように制限をすることができる。さらに、このような電源装置１８によれば、電源部端４６と装置出力端２２との間においてダイオード等の回路を備えないので、装置出力端２２から出力すべき電圧から電源部３２の上限電圧までの電圧余裕（ヘッドルーム）を小さくして、電源部３２により消費される電力を削減することができる。

図５は、本実施形態の変形例に係る電流測定部３４の構成をスイッチ３６および制御部３８とともに示す。本変形例に係る電流測定部３４は、図３に示された電流測定部３４と略同一の構成および機能を採るので、図３に示された電流測定部３４が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。

本変形例に係る電流測定部３４は、複数のセンス抵抗５２（５２−１〜５２−Ｎ）と、第１電位差検出部５４と、電流検出部５６と、複数の電流測定部内スイッチ５８（５８−１〜５８−Ｎ）と、選択スイッチ９０と、選択部９２とを含む。

複数のセンス抵抗５２のそれぞれは、電子デバイス３００および電源部３２の間にスイッチ３６と並列にいずれか１つが選択されて接続される。さらに、複数のセンス抵抗５２のそれぞれは、予め定められた互いに異なる抵抗値を有する。

選択スイッチ９０は、複数のセンス抵抗５２のうち選択されたいずれか１つのセンス抵抗５２の両端の電位差を第１電位差検出部５４に与える。第１電位差検出部５４は、複数のセンス抵抗５２のうちの電子デバイス３００および電源部３２の間に接続されたセンス抵抗５２の両端の電位差を検出する。

複数の電流測定部内スイッチ５８のそれぞれは、複数のセンス抵抗５２のそれぞれに対応して設けられる。複数の電流測定部内スイッチ５８のそれぞれは、当該電流測定部３４により負荷電流の測定が行われる場合に、対応するセンス抵抗５２が電子デバイス３００および電源部３２の間に接続される場合には、接続状態に制御される。

選択部９２は、第１電位差検出部５４が検出した電位差に応じていずれのセンス抵抗５２を電子デバイス３００および電源部３２の間に接続するかを選択する。選択部９２は、一例として、両端の電位差が予め定められた電圧範囲（例えば、第１電位差検出部５４が入力可能な電圧範囲）となる抵抗値を有するセンス抵抗５２を選択して、電子デバイス３００および電源部３２の間に接続してよい。

図６は、電源装置１８の処理フローを示す。電源装置１８は、当該試験装置１０が例えば電圧印加電流測定試験等を実行したことにより、電流測定部３４による負荷電流の測定開始の指示が例えば制御装置２０等から与えられる。

負荷電流の測定開始の指示が与えられると、まず、選択部９２は、負荷電流の測定レンジを設定し、設定した測定レンジに応じたいずれか一つのセンス抵抗５２を選択して、電子デバイス３００および電源部３２の間に接続する（ステップＳ１３）。続いて、制御部３８は、負荷電流の測定開始に先立って、スイッチ３６を切断状態とする（ステップＳ１４）。これにより、制御部３８は、電源部端４６から電子デバイス３００の間を流れる負荷電流を電流測定部３４内の選択されたセンス抵抗５２に流すことができる。

続いて、電流測定部３４は、負荷電流の測定を開始する（ステップＳ１５）。電流測定部３４は、負荷電流の測定を開始すると、負荷電流の値を表わす測定結果を外部に出力する。

続いて、制御部３８は、負荷電流の測定中において、測定終了の指示が与えられたか否かを判断する（ステップＳ１６）。制御部３８は、測定終了の指示が与えられた場合には（ステップＳ１６のＹｅｓ）、スイッチ３６を接続状態とする（ステップＳ１７）。これにより、制御部３８は、以後、電子デバイス３００に電源電圧を供給した状態を継続できる。続いて、電流測定部３４は、負荷電流の測定が成功であったことに応じた処理（例えば成功したことを通知する処理）を行う（ステップＳ１８）。

一方、測定終了の指示が与えられていない場合には（ステップＳ１６のＮｏ）、制御部３８は、負荷電流が基準範囲外か否かを判断する（ステップＳ１９）。負荷電流が基準範囲外ではない場合には（ステップＳ１９のＮｏ）、制御部３８は、ステップＳ１６およびステップＳ１９の処理を繰返し実行する。

負荷電流が基準範囲外の場合には（ステップＳ１９のＹｅｓ）、制御部３８は、スイッチ３６を接続状態に切り替える（ステップＳ２０）。これにより、制御部３８は、電源部３２の出力電圧が上限に達して電子デバイス３００に定電圧を供給できなくなることを回避することができる。

続いて、制御部３８は、負荷電流が基準範囲外の場合、最大の測定レンジが設定されている状態（即ち、抵抗値が最も小さいセンス抵抗５２が選択されている状態）か否かを判断する（ステップＳ２１）。制御部３８は、最大の測定レンジが設定されていない場合（ステップＳ２１のＮｏ）、負荷電流が基準範囲外となってから予め定められた期間の間、スイッチ３６を接続状態とし、その後、処理をステップＳ１３に戻して、測定レンジの設定を再度行う。

測定レンジの再設定をする場合（ステップＳ１３）において、制御部３８は、測定レンジを大きくしてよい。即ち、制御部３８は、負荷電流が基準範囲外となったセンス抵抗５２より大きい値の別個のセンス抵抗５２を選択してよい。これにより、制御部３８は、最適な測定レンジに自動的に切り替えることができる。これに代えて、制御部３８は、負荷電流が基準範囲外となったときの測定レンジと同一の測定レンジを、再度設定してもよい。これにより、電源装置１８は、一時的に負荷電流が基準範囲外となった場合であっても、その後負荷電流が基準範囲内となっていれば、負荷電流の測定処理を継続することができる。

ステップＳ１８の処理を終えた場合またはステップＳ２１において最大の測定レンジが設定されている状態と判断された場合（ステップＳ２１のＹｅｓ）、電流測定部３４は、電流測定部３４による負荷電流の測定処理を終了する（ステップＳ２２）。以上のように、電源装置１８は、電流測定部３４による負荷電流の測定中において、負荷電流が基準範囲外となった場合、スイッチ３６を接続状態に切り替えて、電子デバイス３００への電源電圧の供給を継続する。これにより、電源装置１８によれば、次の試験を実行する場合、または、測定レンジの設定をし直して同様の負荷電流の測定処理を繰り返す場合、電源部３２の出力電圧が上限に達して電子デバイス３００に定電圧を供給できなくなることを回避することができる。

なお、制御部３８の制御回路７８は、判定部７４により電位差が電圧範囲外であると判定され、かつ、電子デバイス３００および電源部３２の間に複数のセンス抵抗５２のうち最も抵抗値が低いセンス抵抗５２が接続されている場合に、スイッチ３６を接続状態に切り替えてもよい。これにより、制御回路７８は、最大の測定レンジが設定されている状態で且つ測定レンジ外となる場合にのみ、負荷電流が電流測定部３４により測定できない基準範囲外となると判断して、スイッチ３６を接続状態に切り替えることができる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

１０ 試験装置、１２ パターン発生部、１４ 試験信号供給部、１６ 判定部、１８ 電源装置、２０ 制御装置、３００ 電子デバイス、２２ 装置出力端、３２ 電源部、３４ 電流測定部、３６ スイッチ、３８ 制御部、４０ コンデンサ、４２ 大電流測定部、４６ 電源部端、４８ 電源部側端子、５０ デバイス側端子、５２ センス抵抗、５４ 第１電位差検出部、５６ 電流検出部、５８ 電流測定部内スイッチ、７２ 第２電位差検出部、７４ 判定部、７６ 記憶部、７８ 制御回路、８０ ＯＲ回路、９０ 選択スイッチ、９２ 選択部

Claims (12)

1. 負荷に流れる電流を測定する測定装置であって、
   前記負荷に供給する電流を出力する電源部と、
   前記負荷および前記電源部の間に流れる負荷電流を測定する電流測定部と、
   前記負荷および前記電源部の間に前記電流測定部と並列に接続されるスイッチと、
   前記負荷電流を測定する場合に前記スイッチを切断状態とし、前記負荷電流が予め定められた基準範囲外となった場合に前記スイッチを接続状態に切り替える制御部と、
   を備える測定装置。
2. 前記電流測定部は、
   前記負荷および前記電源部の間に前記スイッチと並列に接続されるセンス抵抗と、
   前記センス抵抗の両端の電位差を検出する第１電位差検出部と、
   前記第１電位差検出部が検出した電位差に基づいて前記負荷電流を検出する電流検出部と、
   を有する請求項１に記載の測定装置。
3. 前記制御部は、
   前記スイッチの両端の電位差を検出する第２電位差検出部と、
   前記第２電位差検出部が検出した電位差が、前記基準範囲に応じて設定された電圧範囲内か否かを判定する判定部と、
   前記判定部により前記電位差が前記電圧範囲外である判断された場合に、前記スイッチを接続状態に切り替える制御回路と、
   を有する請求項２に記載の測定装置。
4. 前記制御回路は、
   前記負荷に対する電源投入後、前記負荷電流が前記基準範囲内となるまでの間の期間の少なくとも一部において、前記スイッチを接続状態とし、
   前記負荷電流の測定開始に先立って、前記スイッチを切断状態とする
   請求項３に記載の測定装置。
5. 前記制御部は、前記負荷電流が前記基準範囲外となったことを示す検出情報を格納する記憶部を更に有し、
   前記制御回路は、前記負荷電流の測定期間中において、前記記憶部に前記検出情報が格納された場合に、前記検出情報がクリアされるまでの間、前記スイッチを接続状態のまま維持する
   請求項３または４に記載の測定装置。
6. 前記制御回路は、
   前記判定部が出力する、前記電位差が前記電圧範囲外である場合に論理Ｈとなる判定信号と、前記記憶部が出力する、前記検出情報が記憶されている場合に論理Ｈとなる記憶内容との論理和が論理Ｈである場合に、前記スイッチを接続状態とする請求項５に記載の測定装置。
7. 前記電流測定部は、
   前記負荷および前記電源部の間に前記スイッチと並列にいずれか１つが選択されて接続される、互いに抵抗値が異なる複数のセンス抵抗と、
   前記負荷および前記電源部の間に接続されたセンス抵抗の両端の電位差を検出する第１電位差検出部と、
   前記第１電位差検出部が検出した電位差に応じていずれの前記センス抵抗を前記負荷および前記電源部の間に接続するかを選択する選択部と、
   前記第１電位差検出部が検出した電位差に基づいて前記負荷電流を検出する電流検出部と、
   を有する請求項１から６の何れかに記載の測定装置。
8. 前記制御回路は、前記負荷電流が前記基準範囲外となってから予め定められた期間の間、前記スイッチを接続状態とする請求項３から６の何れかに記載の測定装置。
9. 前記第２電位差検出部は、前記第１電位差検出部より高速に動作する請求項３から６の何れかまたは請求項８に記載の測定装置。
10. 前記第１電位差検出部は、前記第２電位差検出部より高精度に前記電位差を検出する請求項３から６の何れかまたは請求項８から９の何れかに記載の測定装置。
11. 電子デバイスに流れる電流を測定する試験装置であって、
    前記電子デバイスに供給する電流を出力する電源部と、
    前記電子デバイスおよび前記電源部の間に流れる負荷電流を測定する電流測定部と、
    前記電子デバイスおよび前記電源部の間に前記電流測定部と並列に接続されるスイッチと、
    前記負荷電流を測定する場合に前記スイッチを切断状態とし、前記負荷電流が予め定められた基準範囲外となった場合に前記スイッチを接続状態に切り替える制御部と、
    を備える試験装置。
12. 負荷に流れる電流を測定する測定装置による測定方法であって、
    前記測定装置は、
    前記負荷に供給する電流を出力する電源部と、
    前記負荷および前記電源部の間に流れる負荷電流を測定する電流測定部と、
    前記負荷および前記電源部の間に前記電流測定部と並列に接続されるスイッチとを備え、
    前記負荷電流を測定する場合に前記スイッチを切断状態とし、前記負荷電流が予め定められた基準範囲外となった場合に前記スイッチを接続状態に切り替える
    測定方法。

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