JP5162387B2 - 圧電振動片の製造方法 - Google Patents
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Description
2 枝部
3 溝部
11 水晶基板
12 第一の金属層
13 第二の金属層
14 レジスト層
15 第一のレジストパターン
16 第二のレジストパターン
17 隙間
21 レジスト層
22 第一のレジストパターン
23 レジスト層
24 第二のレジストパターン
Claims (4)
- 表面に溝部が形成された圧電振動片の製造方法であって、少なくとも、
圧電材料から成る基板の表面に第一の金属層を形成する工程と、
当該第一の金属層の表面に当該第一の金属層よりイオン化傾向が小さい第二の金属層を形成する工程と、
当該第二の金属層の表面に溝部の外形に対応した領域が開口された第一のレジストパターンを形成する工程と、
当該第一のレジストパターンの開口部から露出した前記第二の金属層をエッチングにより除去する第一のエッチング工程と、
前記第一のレジストパターンを除去する工程と、
前記第一のエッチング工程により露出された前記第一の金属層を覆うように前記第二の金属層の表面に圧電振動片の外形に対応した第二のレジストパターンを形成する工程と、
当該第二のレジストパターンから露出した前記第二の金属層をエッチングにより除去する第二のエッチング工程と、
当該第二のエッチング工程により露出された前記第一の金属層をエッチングにより除去する第三のエッチング工程と、
当該第三のエッチング工程により露出された前記基板をエッチングにより除去して圧電振動片の外形を形成する第四のエッチング工程と、
前記第二のレジストパターンを除去する工程と、
前記第二のレジストパターンを除去することで露出された前記第一の金属層をエッチングにより除去する第五のエッチング工程と、
当該第五のエッチング工程により露出された前記基板をエッチングにより一部除去して溝部を形成する第六のエッチング工程と、
を有することを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 前記第三のエッチング工程の直後に前記第二のレジストパターンを除去する工程を行うことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動片の製造方法。
- 前記第四のエッチング工程の直後に前記第二のレジストパターンを除去する工程を行うことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動片の製造方法。
- 前記第一の金属層はCrから成り、前記第二の金属層はAuから成ることを特徴とする請求項1〜3の何れか一つに記載の圧電振動片の製造方法。
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