JP5146636B2 - 高さ測定装置 - Google Patents
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先ず、図示省略の入力手段を操作して初期設定がなされる。この初期設定は、例えば、カラーフィルタ基板7の搬送速度Vや、DMD3のマイクロミラー11の駆動パターンであってカラーフィルタ基板7の搬送方向及び搬送方向と交差する方向のマイクロミラー11の駆動間隔等であり、入力されたデータは制御手段6のメモリ21に記憶される。
2…光源
3…DMD(ビーム光照射手段)
4…集光光学系
5…光検出手段
6…制御手段
7…カラーフィルタ基板(被測定物)
11…マイクロミラー(ビーム光発生部)
11a〜11d…マイクロミラー列
Claims (5)
- 搬送手段により被測定物を一定方向に搬送し、
光源からの光を受けてビーム光を発生する複数のビーム光発生部を前記被測定物の搬送方向及び該搬送方向と交差する方向に沿ってマトリクス状に配列し、前記搬送方向と交差する各列のビーム光発生部と前記搬送手段の上面との間の光学距離が列毎に異なるようにされたビーム光照射手段により前記搬送方向と交差する複数列のビーム光を生成して前記被測定物に向けて照射し、
前記搬送手段の上面に対して光軸を直交させて設けられた集光光学系により、前記複数のビーム光のうち前記搬送方向に交差する各列のビーム光を列毎に前記被測定物の表面近傍の異なる高さ位置に集光させ、
前記各列の各ビーム光により照射された前記被測定物上の各測定点からの反射光の輝度を光検出手段で検出し、
前記光検出手段で検出された複数の輝度のうちから、前記被測定物が搬送されることにより同一の測定点が前記各列のビーム光により異なるタイミングで照射されて得られた複数の輝度を測定点毎に抽出し、
前記抽出された複数の輝度に基づいて各測定点における反射光のピーク輝度を演算し、
前記各ピーク輝度により各測定点の高さを求める、
ことを特徴とする高さ測定方法。 - 被測定物を載置して一定方向に搬送する搬送手段と、
前記搬送手段の上方に配設され、光源からの光を受けてビーム光を発生する複数のビーム光発生部を前記被測定物の搬送方向及び該搬送方向と交差する方向に沿ってマトリクス状に配列し、前記複数のビーム光発生部のうち前記搬送方向に交差する各列のビーム光発生部と前記搬送手段の上面との間の光学距離が列毎に異なるようにされ、前記搬送方向と交差する複数列のビーム光を生成して前記被測定物に向けて照射するビーム光照射手段と、
前記搬送手段と前記ビーム光照射手段との間に、前記搬送手段の上面に対して光軸を直交させて配設され、前記複数のビーム光発生部で発生された各ビーム光を列毎に前記被測定物の表面近傍の異なる高さ位置に集光させる集光光学系と、
前記ビーム光照射手段の各ビーム光発生部に対応して複数の受光素子を具備し、前記各列の各ビーム光により照射された前記被測定物上の各測定点からの反射光の輝度を前記受光素子により検出する光検出手段と、
前記光検出手段で検出された複数の輝度のうちから、前記被測定物が搬送されることにより同一の測定点が前記各列のビーム光により異なるタイミングで照射されて得られた複数の輝度を測定点毎に抽出し、該抽出された複数の輝度に基づいて各測定点における反射光のピーク輝度を演算し、該各ピーク輝度により各測定点の高さを求める制御手段と、
を備えたことを特徴とする高さ測定装置。 - 前記ビーム光照射手段のビーム光発生部は、個別に傾動可能に形成されたマイクロミラーであることを特徴とする請求項2記載の高さ測定装置。
- 前記ビーム光照射手段は、前記被測定物の上面に対して前記搬送方向に所定の角度だけ傾斜させて備えられたことを特徴とする請求項2又は3記載の高さ測定装置。
- 前記集光光学系は、テレセントリック光学系であることを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載の高さ測定装置。
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