JP5130237B2 - 半導体物理量センサ - Google Patents
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Description
2:半導体基板
3:下部支持基板
4:可動電極部
41:おもり部
42,44:ばね部
43,45,46:支持部
5:固定電極部
51:固定電極
52:端子部
6a,6b:電極端子
7:欠如部
Claims (2)
- 可動電極と該可動電極に対向配置された固定電極との間の静電容量の変化を検知することにより所定の物理量を検出する半導体物理量センサにおいて、
前記可動電極となるおもり部と、
前記おもり部の一方端側に形成され、第1のばね部を介して前記おもり部を規定方向へ揺動自在に支持する第1の支持部と、
前記おもり部の他方端側に形成され、第2のばね部を介して前記おもり部を規定方向へ揺動自在に支持する一組の第2の支持部と、
前記第1の支持部に一又は複数設けられた所定の大きさの欠如部とを備え、
前記欠如部は、前記支持部の前記おもり部側端部に形成された切り欠きであることを特徴とする半導体物理量センサ。 - 可動電極と該可動電極に対向配置された固定電極との間の静電容量の変化を検知することにより所定の物理量を検出する半導体物理量センサにおいて、
前記可動電極となるおもり部と、
前記おもり部の一方端側に形成され、第1のばね部を介して前記おもり部を規定方向へ揺動自在に支持する第1の支持部と、
前記おもり部の他方端側に形成され、第2のばね部を介して前記おもり部を規定方向へ揺動自在に支持する一組の第2の支持部と、
前記第1の支持部に一又は複数設けられた所定の大きさの欠如部とを備え、
前記欠如部は、前記支持部の前記おもり部側端部から規定方向へ直線状に伸び、その後、電極端子の形成位置において当該電極端子の略周囲を囲むように湾曲する溝であることを特徴とする半導体物理量センサ。
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JP2009038066A JP5130237B2 (ja) | 2009-02-20 | 2009-02-20 | 半導体物理量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2009038066A JP5130237B2 (ja) | 2009-02-20 | 2009-02-20 | 半導体物理量センサ |
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