JP5123701B2 - 光電変換装置、撮像システム、及び光電変換装置の製造方法 - Google Patents
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Description
数式1において、mは整数であり、dは反射防止部3の膜厚であり、nは反射防止部3の屈折率であり、βは反射防止部3に入射した光の屈折角であり、λは反射防止部3へ入射する光の波長である。数式1は、素子分離部11と反射防止部3との界面で位相が反転しながら反射する光と、反射防止部3と溝の底面との界面で位相が反転しながら反射する光とが打ち消し合うための条件を示している。すなわち、素子分離部11及び反射防止部3の界面で反射した光と、反射防止部3及び溝の底面の界面で反射した光との光路差が『波長λの整数倍+波長/2』という関係が成り立たてば、反射防止部3は反射防止膜としての機能を果たすことができる。数式1を満たす膜厚は、カラーフィルタ20を透過する光の反射を防止する値になる。
数式2において、mは整数であり、dは反射部10の膜厚であり、nは反射部10の屈折率、βは反射部10に入射した光の屈折角、λは反射部10に入射した光の波長である。数式2は、素子分離部11(シリコン酸化物)と反射部10(MgF2)との界面で位相が反転せずに反射する光と、反射部10(MgF2)と溝の側面(シリコン)との界面で位相が反転しながら反射する光とが強め合うための条件を示している。すなわち、素子分離部11及び反射部10の界面で反射した光と、反射部10及び溝の底面の界面で反射した光との光路差が『波長λの整数倍』という関係が成り立たてば、反射部10は反射膜としての機能を果たすことができる。数式2を満たす膜厚は、カラーフィルタ20を透過する光の反射する値である。
数式3において、θは臨界角であり、nAは素子分離部11の屈折率であり、nBは反射部10の屈折率である。
11 素子分離部
200,300,400,500 光電変換装置
220,320,420,520 光電変換領域
Claims (11)
- 光電変換領域と周辺領域とを含む半導体基板を有する光電変換装置であって、
前記光電変換領域には、
光に応じた電荷を発生させる複数の光電変換部と、
前記複数の光電変換部を電気的に分離する素子分離部と、
前記素子分離部の上方から前記素子分離部へ入射した光の反射を、前記素子分離部の底面のみにおいて、あるいは、前記素子分離部の底面及び側面下部のみにおいて防止するように形成された反射防止部と、
が配された
ことを特徴とする光電変換装置。 - 前記光電変換領域には、前記素子分離部の下に第1の半導体領域が配され、
前記反射防止部の屈折率は、前記素子分離部の屈折率と前記第1の半導体領域の屈折率との間の値であり、
前記反射防止部は、前記素子分離部と前記第1の半導体領域との界面の反射率を低減する
ことを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。 - 前記第1の半導体領域は、シリコンで形成されており、
前記素子分離部は、シリコン酸化物で形成されており、
前記反射防止部は、シリコン窒化物で形成されている
ことを特徴とする請求項2に記載の光電変換装置。 - 前記光電変換領域には、前記複数の光電変換部のそれぞれの上方にカラーフィルタが配され、
前記反射防止部の厚さは、前記カラーフィルタを透過する光の反射を防止する値である
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の光電変換装置。 - 前記カラーフィルタは、原色フィルターであり、
前記反射防止部の厚さは、30nm以上105nm以下の値である
ことを特徴とする請求項4に記載の光電変換装置。 - 前記光電変換領域には、前記素子分離部の上方から前記素子分離部へ入射した光を前記素子分離部の側面で反射させるように形成された反射部が配された
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の光電変換装置。 - 前記光電変換領域には、前記素子分離部の側方に隣接して第2の半導体領域が配され、
前記反射部の屈折率と前記第2の半導体領域の屈折率との差は、前記素子分離部の屈折率と前記第2の半導体領域の屈折率との差より大きく、
前記反射部は、前記素子分離部と前記第2の半導体領域との界面の反射率を向上させる
ことを特徴とする請求項6に記載の光電変換装置。 - 前記第2の半導体領域は、シリコンで形成されており、
前記素子分離部は、シリコン酸化物で形成されており、
前記反射部は、シリコン酸化物より屈折率の低い物質で形成されている
ことを特徴とする請求項7に記載の光電変換装置。 - 前記光電変換領域には、前記素子分離部の側方に隣接して第2の半導体領域が配され、
前記第2の半導体領域は、シリコンで形成されており、
前記素子分離部は、シリコン酸化物で形成されており、
前記反射部は、金属で形成されている
ことを特徴とする請求項6に記載の光電変換装置。 - 請求項1から9のいずれか1項に記載の光電変換装置と、
前記光電変換装置の前記光電変換領域へ像を形成する光学系と、
前記光電変換装置から出力された信号を処理して画像データを生成する信号処理部と、
を備えたことを特徴とする撮像システム。 - 光電変換領域と周辺領域とを有し、光に応じた電荷を発生させる複数の光電変換部と、前記複数の光電変換部を電気的に分離する素子分離部とが前記光電変換領域に配された光電変換装置の製造方法であって、
半導体基板の表面のうち前記光電変換領域とすべき領域の一部に溝を形成する第1のステップと、
前記素子分離部の上方から前記素子分離部へ入射した光の反射を、前記素子分離部の底面のみにおいて、あるいは、前記素子分離部の底面及び側面下部のみにおいて防止するように、前記溝の底面のみに、あるいは、前記溝の底面及び側面下部のみに、反射防止部を形成する第2のステップと、
前記第2のステップの後に、前記素子分離部を形成する第3のステップと、
を備えたことを特徴とする光電変換装置の製造方法。
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