JP5120712B2 - Qスイッチレーザ発振器 - Google Patents
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このようなQスイッチ手段として、可飽和吸収結晶、可飽和吸収色素溶液を用いたものが知られ、これら可飽和吸収結晶、可飽和吸収色素溶液を共振器内に設けることで、所定強度のレーザ光がQスイッチパルス発振するようになっている(特許文献1、2)。
また、他のQスイッチ手段として、スリットの形成された回転チョッパを用いたものが知られ、上記回転チョッパを回転させることでレーザ光を断続的に遮断し、Qスイッチパルスレーザ発振を得るものも知られている(特許文献3)。
また、レーザ光の波長域に制限されない方式として、特許文献3の回転チョッパを用いたQスイッチ手段があるが、この装置では回転チョッパの回転を細かく制御することができないという問題があった。
また、このような特許文献3のQスイッチ手段の場合、回転チョッパのスリットの位置にレーザ光の焦点を形成するためのテレスコープレンズが必要とされているが、このテレスコープレンズの熱レンズ効果が問題とされていた。
このような問題に鑑み、本発明は高出力の遠赤外波長のレーザ光であっても精度良く発振タイミングを制御することができるQスイッチレーザ発振器を提供するものである。
上記Qスイッチ手段を、上記レーザ光の光路上に充満した可飽和吸収ガスに超音波振動を印加又は消勢する超音波振動発生手段から構成し、
該超音波振動発生手段は、可飽和吸収ガスに超音波振動を印加して上記光路上におけるレーザ光の透過を遮断し、超音波振動を消勢することによりレーザ光を透過させることを特徴としている。
上記発明によれば、Qスイッチ手段としての超音波振動発生手段が可飽和吸収ガスに超音波振動を印加すると、可飽和吸収ガスに高圧の部分と低圧の部分とからなる圧力の高低が層状に形成されるようになっている。
従って、レーザ光は高圧力となった部分の可飽和吸収ガスに吸収されて遮断されることとなり、逆に上記超音波振動を消勢すると、上記圧力の高低が解消されてレーザ光は可飽和吸収ガスを透過することとなる。
そして、超音波振動の印加と消勢とを繰り返せば、可飽和吸収ガスによるレーザ光の遮断と透過を繰り返すこととなる。
つまり、超音波振動発生手段による超音波振動を制御すれば、レーザ光の発振を精度良く制御することができる。また上記発明によれば、回転チョッパやテレスコープレンズを設ける必要がなく、レーザ発振器の構成を簡素化することができしかも安価に製造することができる。
Qスイッチレーザ発振器1は、レーザガスの充満された放電チャンバ2と、可飽和吸収ガスの充満された可飽和吸収ガスチャンバ3と、共振器を構成する出力鏡4およびリヤミラー5と、可飽和吸収ガスチャンバ3に設けられたQスイッチ手段6とを備えている。
上記放電チャンバ2と可飽和吸収ガスチャンバ3とは隣接して設けられており、上記出力鏡4は放電チャンバ2に、上記リヤミラー5は可飽和吸収ガスチャンバ3のそれぞれに設けられ、放電チャンバ2と可飽和吸収ガスチャンバ3との間にはレーザ光Lを透過させるレーザ光透過部材7が設けられている。
そして、上記放電チャンバ2内のレーザガスを放電励起することによって発生したレーザ光Lは、上記レーザ光透過部材7を透過しながら、共振器を構成する出力鏡4とリヤミラー5との間で反射を繰り返すことで増幅され、そのレーザ光の一部が波長10.6μmのレーザ光として出力鏡4から出力されるようになっている。
上記可飽和吸収ガスは、低圧ではレーザ光Lを透過させるが、高圧になるとレーザ光Lを吸収して遮断する性質を有し、可飽和吸収ガスチャンバ3内には、例えば大気(760torr)に対し、6弗化硫黄を分圧:1〜20torrで混合するか、またはフレオン系ガスを分圧:10〜400torrで混合したものが充満されている。なお、大気に代えて、ヘリウムやチッ素などの不活性ガスを充満してもよい。
そして上記分圧で可飽和吸収ガスチャンバ3に充満された可飽和吸収ガスは、エネルギ密度が1〜100mJ/cm2のレーザ光Lを透過させるようになっている。
Qスイッチ手段6は、上記可飽和吸収ガスチャンバ3に固定された樹脂製のバッキング材11と、バッキング材11に固定された超音波振動子12と、超音波振動子12に設けられた振動増幅用ホーン13と、振動増幅用ホーン13の先端に設けられた円筒部材14とから構成されている。
上記バッキング材11は超音波振動による可飽和吸収ガスチャンバ3の共振を抑えるために設けられ、振動増幅用ホーン13は上記超音波振動子12による超音波振動を増幅して上記円筒部材14に伝播させるようになっている。
上記円筒部材14は円筒状で、図示左右方向に所定の長さを有しており、その中央をレーザ光Lが通過するように設けられている。またその中心軸はレーザ光Lの光軸に対して若干角度にして1〜2°傾けて設けられている。
そして、上記超音波振動子12は図示しない制御手段によって制御されるようになっている。
まず、制御手段がQスイッチ手段6の超音波振動子12を超音波振動させ、上記振動増幅用ホーン13を介して円筒部材14が振動し、円筒部材14の内部の可飽和吸収ガスに超音波振動が印加される。
これにより、円筒部材14の内部には可飽和吸収ガスの圧力が定在波状に分布し、可飽和吸収ガスの圧力の高低が層状に形成される。ここで、図2では色の濃い部分が圧力の高い部分を、色の薄い部分が圧力の低い部分を示している。
続いて、この状態から放電チャンバ2内のレーザガスをCW放電励起する。このとき、Qスイッチ手段6により可飽和吸収ガスに超音波振動を印加しているため、上記レーザ光LがQスイッチ手段6における円筒部材14の内部を通過しようとしても、該レーザ光Lは円筒部材14の内部に形成された可飽和吸収ガスの高圧力となった部分に瞬時に吸収される。
また上記円筒部材14の中心軸がレーザ光Lの光軸に対して斜めに設けられていることから、レーザ光Lは必ず可飽和吸収ガスの高圧力となった部分に吸収されるようになっている。
このように、レーザ光LはQスイッチ手段6を透過しないようになっているため、レーザ光Lは出射されないようになっており、励起のエネルギーが共振器内に蓄えられることとなる。。
超音波振動子12による超音波振動を消勢すると、瞬時に円筒部材14内における可飽和吸収ガスの圧力の高低が解消され、レーザ光Lは円筒部材14を通過し、出力鏡5から発振される。
そして図3に示すように超音波振動子12による超音波振動の印加と消勢とを繰り返すことで、断続的にQスイッチ発振を行うことが可能となる。
また上記制御手段は、上記超音波振動子12による超音波振動の印加および消勢のタイミングを自在に変化することができ、これによりQスイッチレーザ発振器1からは所要の出力のレーザ光Lを自在にパルス発振することができるようになっている。
例えば、Qスイッチレーザ発振器1をビアホール加工に用いる場合、レーザ光照射位置を所要の加工位置に設定するまでの間、可飽和吸収ガスに超音波振動を印加し続けることで、その間、レーザ光Lの出射を停止させることができ、設定完了直後にレーザ光Lを照射することができる。
これに対し、上記特許文献1、2のQスイッチレーザ発振器は、CO2レーザ光のような遠赤外波長域のレーザ光ではQスイッチ発振することができないうえ、いわゆる受動発振であることから、パルス制御を精密に行うことができず、また上記特許文献3のQスイッチ手段を有するQスイッチレーザ発振器では、回転チョッパのスリットの間隔や回転速度が決められているため、パルス制御を瞬時に変更することができないという問題があった。
また、本実施例のQスイッチレーザ発振器1では、円筒部材14を超音波振動子12によって超音波振動させるだけであり、またレーザ光Lが直接照射される部材も備えていないことから、組立調整を容易に行うことが可能である。
これに対し、特許文献3のQスイッチレーザ発振器では、上記回転チョッパを回転させる駆動手段や、スリットの位置にレーザ光の焦点を形成するテレスコープレンズが必要であり、可動部のメンテナンスやテレスコープレンズの調整が煩雑であるという問題があった。また回転チョッパには断続的にレーザ光Lが局部的に照射されるため、交換が必要となっている。
Qスイッチ手段6は円筒状の超音波振動子21と、該超音波振動子21の内周に設けられた円筒部材としての内周電極22と、超音波振動子21の外周に設けられた外周電極23とから構成されている。
そして、制御手段の制御により内周電極22と外周電極23との間に電圧を印加すると上記超音波振動子21を超音波振動させることができ、この超音波振動が内周電極22に伝播することで、内周電極22の内側の可飽和吸収ガスに超音波振動が印加されるようになっている。
また上記内周電極22の中心軸は、上記第1実施例の円筒部材14と同様、レーザ光Lの光軸に対してわずかに傾斜して設けられている。
このような構成を有する本実施例のQスイッチ手段6を備えたQスイッチレーザ発振器1は、上記第1実施例におけるQスイッチ手段6を備えたQスイッチレーザ発振器1と同様にレーザ光Lを発振するので、動作についての詳細な説明は省略する。
放電チャンバ内には、上記レーザガスと可飽和吸収ガスとが混合して充満されており、本実施例では可飽和吸収ガスとして6弗化硫黄が充満されている。そしてQスイッチ手段6はこの可飽和吸収ガスに超音波振動を印加する超音波振動発生手段となっている。なお、放電チャンバ内にはレーザガスとしての二酸化炭素も充満されているが、圧力が低く可飽和吸収ガスとして機能しないようになっている。
放電チャンバの両端には、共振器を構成する出力鏡4およびリヤミラー5が設けられており、この出力鏡4とリヤミラー5との間に形成されるレーザ光Lは同じく放電チャンバの両端に設けられた複数の反射鏡31で反射するようになっている。
超音波振動板32および音響反射板33はそれぞれステンレス等の金属やセラミックス製となっており、これらの相対する面は相互に平行となるように保持されている。
上記超音波振動板32は図示しない超音波振動子12によって振動し、この超音波振動が可飽和吸収ガスに印加されると、該超音波振動は可飽和吸収ガスを伝播して上記音響反射板33で反射するようになっている。
このため、超音波振動板32と音響反射板33との間には可飽和吸収ガスの圧力の高低が定在波状に分布するようになり、図5では色の濃い部分が圧力の高い部分を、色の薄い部分が圧力の低い部分を示し、このように可飽和吸収ガスの圧力の高低が層状に形成されることとなる。
なお、上記音響反射板33を設けなくとも、一定の範囲で可飽和吸収ガスの圧力の高低を形成することは可能である。
そして、上記構成を有するQスイッチレーザ発振器1によっても、上記第1、第2実施例と同様にレーザ光Lを発振することができるので、動作についての詳細な説明は省略する。
この場合、レーザ光Lは可飽和吸収ガスの低圧力となる部分を通過してしまうおそれがあるが、レーザ光Lは実際には若干拡散しているため、円筒部材14の全長を長めに設定すれば、レーザ光Lを可飽和吸収ガスの高圧力の部分に吸収させることができ、上記実施例同様、レーザ光Lを遮断することができる。
3 可飽和吸収ガスチャンバ 6 Qスイッチ手段
12 超音波振動子 14 円筒部材
21 超音波振動子 22 内周電極
Claims (6)
- 共振器を構成する出力鏡及びリヤミラーと、これらの間に形成されるレーザ光の光路上に設けられたQスイッチ手段とを備えたQスイッチレーザ発振器において、
上記Qスイッチ手段を、上記レーザ光の光路上に充満した可飽和吸収ガスに超音波振動を印加又は消勢する超音波振動発生手段から構成し、
該超音波振動発生手段は、可飽和吸収ガスに超音波振動を印加して上記光路上におけるレーザ光の透過を遮断し、超音波振動を消勢することによりレーザ光を透過させることを特徴とするQスイッチレーザ発振器。 - 上記超音波振動発生手段は、その内部をレーザ光の光路が通過する円筒部材と、該円筒部材の内部の可飽和吸収ガスに超音波振動を印加する超音波振動子とを有することを特徴とする請求項1に記載のQスイッチレーザ発振器。
- 上記円筒部材の中心軸をレーザ光の光軸に対して傾斜させることを特徴とする請求項2に記載のQスイッチレーザ発振器。
- 上記超音波振動発生手段は、超音波振動する超音波振動板と、上記レーザ光の光路を挟んで上記超音波振動板に平行に設けられた音響反射板とを備え、
超音波振動板が振動すると、超音波振動板と音響反射板との間の可飽和吸収ガスに超音波振動が印加されることを特徴とする請求項1に記載のQスイッチレーザ発振器。 - 上記出力鏡及びリヤミラーの間に、レーザガスが充満した放電チャンバと、可飽和吸収ガスが充満した可飽和吸収ガスチャンバとを設け、該可飽和吸収ガスチャンバ内にQスイッチ手段を設けるとともに、上記放電チャンバと可飽和吸収ガスチャンバとの間にレーザ光を透過するレーザ光透過部材を設けたことを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のQスイッチレーザ発振器。
- 上記可飽和吸収ガスは、6弗化硫黄(SF6)、二酸化炭素(CO2)、フレオン系ガスのいずれかであることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のQスイッチレーザ発振器。
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JP2002311257A (ja) * | 2001-04-13 | 2002-10-23 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | ファイバグレーティングの発現方法及びファイバグレーティング |
JP2004337925A (ja) * | 2003-05-15 | 2004-12-02 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工機 |
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