JPH0864897A - 高平均出力qスイッチco▲2▼レーザ装置 - Google Patents
高平均出力qスイッチco▲2▼レーザ装置Info
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- JPH0864897A JPH0864897A JP22264294A JP22264294A JPH0864897A JP H0864897 A JPH0864897 A JP H0864897A JP 22264294 A JP22264294 A JP 22264294A JP 22264294 A JP22264294 A JP 22264294A JP H0864897 A JPH0864897 A JP H0864897A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 パルス発振QスイッチCO2 レーザ装置にお
いて、相対的に小型の装置から高効率でかつ数kW以上
の高い平均出力のパルスCO2 レーザ光を安定して得る
ことができる装置を提供する。 【構成】 パルス発振QスイッチCO2 レーザ装置にお
いて、外部からシードビームを注入するための連続波C
O2 レーザ発振器1と、光アイソレータ2と、共振器中
に共焦点条件テレスコープとその共焦点位置にレーザビ
ーム透過スリットを有する回転チョッパを設置したリン
グ構造を持つ不安定型共振器6によって構成され、不安
定型共振器を構成する一枚の全反射鏡にビーム入射穴を
設け、この穴部分からシードビームを注入する構成とす
る。
いて、相対的に小型の装置から高効率でかつ数kW以上
の高い平均出力のパルスCO2 レーザ光を安定して得る
ことができる装置を提供する。 【構成】 パルス発振QスイッチCO2 レーザ装置にお
いて、外部からシードビームを注入するための連続波C
O2 レーザ発振器1と、光アイソレータ2と、共振器中
に共焦点条件テレスコープとその共焦点位置にレーザビ
ーム透過スリットを有する回転チョッパを設置したリン
グ構造を持つ不安定型共振器6によって構成され、不安
定型共振器を構成する一枚の全反射鏡にビーム入射穴を
設け、この穴部分からシードビームを注入する構成とす
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザビームに対して
高反射率を示すかもしくは熱伝導率が高い難加工性材料
などの特殊材料の加工や、レーザ同位体分離等のレーザ
光化学での応用で要求される高尖頭出力、高パルス繰り
返し率、高平均出力のパルスCO2 レーザ光を高効率、
かつ安定に得るための高平均出力QスイッチCO2 レー
ザ装置に関する。
高反射率を示すかもしくは熱伝導率が高い難加工性材料
などの特殊材料の加工や、レーザ同位体分離等のレーザ
光化学での応用で要求される高尖頭出力、高パルス繰り
返し率、高平均出力のパルスCO2 レーザ光を高効率、
かつ安定に得るための高平均出力QスイッチCO2 レー
ザ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年の連続波CO2 レーザの飛躍的な大
出力化ならびにレーザビーム空間モードの高品質化に伴
い、その応用分野は各種の材料加工を中心として大きな
展開を見せている。さらに昨今、CO2 レーザの発振形
態をパルス化することにより、新たな分野への展開も各
種報告がなされている。その代表的な例として、銅やア
ルミニウム等の従来CO2 レーザでは加工が困難であっ
た材料の切断・溶接加工や鋼材の超高速・精密加工、赤
外多光子励起を用いたレーザ同位体分離、遠赤外レーザ
の光励起などがある。CO2 レーザのこの様な分野への
適用には一般的には10kWを越える高尖頭出力、10
kHz以上の高パルス繰り返し率、数kW以上の高平均
出力性が要求される。
出力化ならびにレーザビーム空間モードの高品質化に伴
い、その応用分野は各種の材料加工を中心として大きな
展開を見せている。さらに昨今、CO2 レーザの発振形
態をパルス化することにより、新たな分野への展開も各
種報告がなされている。その代表的な例として、銅やア
ルミニウム等の従来CO2 レーザでは加工が困難であっ
た材料の切断・溶接加工や鋼材の超高速・精密加工、赤
外多光子励起を用いたレーザ同位体分離、遠赤外レーザ
の光励起などがある。CO2 レーザのこの様な分野への
適用には一般的には10kWを越える高尖頭出力、10
kHz以上の高パルス繰り返し率、数kW以上の高平均
出力性が要求される。
【0003】このような用途に対応するパルスCO2 レ
ーザとして、従来から横方向励起大気圧動作のパルスT
EAレーザがある。TEAレーザでは高電圧・高電流パ
ルス放電を大気圧のレーザガスに印加し急速な反転分布
形成を実現するので、ゲインスイッチング現象により1
0MW以上の高い尖頭出力を100nsec程度のパル
ス幅で容易に取り出すことが出来るが、パルス繰り返し
周波数は実用的には100Hz程度が限界であり、産業
応用のレベルから考えるとかなり低い値に抑えられてい
る。また、単一のシステムから取り出し得る平均出力と
しては1kWレベルが上限となっている。さらに短時間
に大電力パルス放電を行うためレーザ発振器の寿命が短
く、またそのオペレーションに要するコストも増大する
という問題点があった。
ーザとして、従来から横方向励起大気圧動作のパルスT
EAレーザがある。TEAレーザでは高電圧・高電流パ
ルス放電を大気圧のレーザガスに印加し急速な反転分布
形成を実現するので、ゲインスイッチング現象により1
0MW以上の高い尖頭出力を100nsec程度のパル
ス幅で容易に取り出すことが出来るが、パルス繰り返し
周波数は実用的には100Hz程度が限界であり、産業
応用のレベルから考えるとかなり低い値に抑えられてい
る。また、単一のシステムから取り出し得る平均出力と
しては1kWレベルが上限となっている。さらに短時間
に大電力パルス放電を行うためレーザ発振器の寿命が短
く、またそのオペレーションに要するコストも増大する
という問題点があった。
【0004】このような問題点に対応するため、従来か
ら固体レーザによく用いられているQスイッチング技術
をCO2 レーザに適用する方法が各種提案されている。
IEEEJ. Quantum Electronics 誌 Vol. QE-4, p762, 19
68 にはCW励起CO2 レーザの共振器内に損失を制御
する素子を挿入した各種のQスイッチング方法がまとめ
られている。Qスイッチングの方法には、共振器内に可
飽和吸収体を挿入する受動的Qスイッチング、電気光学
素子を用いる方法、回転ミラーを共振器内に組み込む方
法、テレスコープと回転チョッパの組合せからなるQス
イッチ装置を共振器内に挿入する方法、さらには特開昭
62-160783 号公報に開示されているファブリペロエタロ
ンを共振器内に挿入する方法などが提案されている。中
でも回転チョッパとテレスコープを用いる方法は、Qス
イッチング速度を速くする課題があるが、その他の制御
性・安定性からこの方法が主流となっている。Gas Flow
&Chemical Lasers (GCL) Conference Proceedings, Vi
ena 1988, Vol. 1031, SPIE, p48 にはCWCO2 レー
ザに回転チョッパ方式によるQスイッチを組み込み、パ
ルスエネルギ27mJ、パルス尖頭出力150kW、パ
ルス繰り返し周波数10kHz、平均出力270Wの性
能を実現した例が報告されており、さらに本願発明者ら
も各種の検討を進め、パルス尖頭出力の改善を図るため
に回転チョッパと同期したRFパルス放電を用いる方法
について特開平04-259278 号公報において出願してき
た。以上に示したQスイッチCO2 レーザは何れも安定
型共振器に基づいたレーザ装置であり、レーザ出力は部
分反射鏡からなる出力鏡から取り出される。この部分反
射特性は一般に多層膜蒸着によって実現されるが、この
反射膜の耐光強度やミラー素材の熱レンズ化による制約
から、1台のシステムから得られる平均出力には上限が
存在し、現在までに報告されている例では1kW内外が
限界となっている。
ら固体レーザによく用いられているQスイッチング技術
をCO2 レーザに適用する方法が各種提案されている。
IEEEJ. Quantum Electronics 誌 Vol. QE-4, p762, 19
68 にはCW励起CO2 レーザの共振器内に損失を制御
する素子を挿入した各種のQスイッチング方法がまとめ
られている。Qスイッチングの方法には、共振器内に可
飽和吸収体を挿入する受動的Qスイッチング、電気光学
素子を用いる方法、回転ミラーを共振器内に組み込む方
法、テレスコープと回転チョッパの組合せからなるQス
イッチ装置を共振器内に挿入する方法、さらには特開昭
62-160783 号公報に開示されているファブリペロエタロ
ンを共振器内に挿入する方法などが提案されている。中
でも回転チョッパとテレスコープを用いる方法は、Qス
イッチング速度を速くする課題があるが、その他の制御
性・安定性からこの方法が主流となっている。Gas Flow
&Chemical Lasers (GCL) Conference Proceedings, Vi
ena 1988, Vol. 1031, SPIE, p48 にはCWCO2 レー
ザに回転チョッパ方式によるQスイッチを組み込み、パ
ルスエネルギ27mJ、パルス尖頭出力150kW、パ
ルス繰り返し周波数10kHz、平均出力270Wの性
能を実現した例が報告されており、さらに本願発明者ら
も各種の検討を進め、パルス尖頭出力の改善を図るため
に回転チョッパと同期したRFパルス放電を用いる方法
について特開平04-259278 号公報において出願してき
た。以上に示したQスイッチCO2 レーザは何れも安定
型共振器に基づいたレーザ装置であり、レーザ出力は部
分反射鏡からなる出力鏡から取り出される。この部分反
射特性は一般に多層膜蒸着によって実現されるが、この
反射膜の耐光強度やミラー素材の熱レンズ化による制約
から、1台のシステムから得られる平均出力には上限が
存在し、現在までに報告されている例では1kW内外が
限界となっている。
【0005】以上のような限界を打破するため、マスタ
ーオシレータから得られたレーザパルスをパワーアンプ
リファイアによって増幅する方式もいくつか提案がなさ
れている。Gas Flow & Chemical Lasers (GCL) Confere
nce Proceedings, Crete 1992, Vol. 1810, SPIE, p57
には、QスイッチCO2 レーザをマスターオシレータと
し、利得長7.2m(装置全長17.2m)のマイクロ
波励起単一パス増幅器をパワーアンプリファイアとして
用いる構成によって、パルスエネルギ155mJ、パル
ス尖頭出力750kW、パルス繰り返し周波数10kH
z、平均出力1.55kWの出力を得ていることが示さ
れている。このマスターオシレータ・パワーアンプリフ
ァイア方式には上記のような単一発振器構成による出力
制約が緩和される利点があるが、パワーアンプリファイ
アに単一パス増幅器を用いていることから、増幅器前半
部におけるエネルギ抽出効率が悪く、大出力を得るため
には上記のごとく装置が巨大になってしまい、装置コス
ト、ランニングコスト共に大幅に高くなってしまうとい
う問題点がある。
ーオシレータから得られたレーザパルスをパワーアンプ
リファイアによって増幅する方式もいくつか提案がなさ
れている。Gas Flow & Chemical Lasers (GCL) Confere
nce Proceedings, Crete 1992, Vol. 1810, SPIE, p57
には、QスイッチCO2 レーザをマスターオシレータと
し、利得長7.2m(装置全長17.2m)のマイクロ
波励起単一パス増幅器をパワーアンプリファイアとして
用いる構成によって、パルスエネルギ155mJ、パル
ス尖頭出力750kW、パルス繰り返し周波数10kH
z、平均出力1.55kWの出力を得ていることが示さ
れている。このマスターオシレータ・パワーアンプリフ
ァイア方式には上記のような単一発振器構成による出力
制約が緩和される利点があるが、パワーアンプリファイ
アに単一パス増幅器を用いていることから、増幅器前半
部におけるエネルギ抽出効率が悪く、大出力を得るため
には上記のごとく装置が巨大になってしまい、装置コス
ト、ランニングコスト共に大幅に高くなってしまうとい
う問題点がある。
【0006】一方、連続波CO2 レーザのパワースケー
リングを実現するために、一般に共振器形態を安定型か
ら不安定型へ変更する手法が採用されている。不安定型
共振器は、レーザビームを共振器内の1往復毎に拡大
し、最終的にビームの外周部分を出力として取り出す方
式である。したがって、共振器構成ミラーは全反射鏡の
みで共振系を組めることから、安定型共振器のように部
分反射鏡を用いる制約が無く、かつレーザ共振中にビー
ムを徐々に拡大しつつ増幅することから利得領域を有効
に利用できる利点があるので、高出力取り出しに適合し
た形態である。しかしながら、通常の共振器ミラーが対
向するタイプの不安定型共振器では、その名のごとく共
振器中のレーザビームの進行方向に従ってビームの伝送
挙動が発散ビームや平行ビーム特性の間で変化してしま
うため、単純に共振器中にテレスコープを挿入すると、
ビームの進行方向毎に集光位置が変化してしまい回転チ
ョッパタイプのQスイッチを適用することはできない。
また他のQスイッチ方法として電気光学変調素子や回転
ミラーを共振器中に挿入する方法もあるが、前者につい
てはCO2 レーザの発振波長帯である10μm近傍でk
Wレベルの平均出力に耐え得る電気光学変調素子が存在
しないため適用できない。さらに後者については、不安
定型共振器でのレーザビーム直径が一般に数10mmレ
ベルと大きいため、共振器が成立する許容立体角が比較
的大きく、回転ミラー方式では有効なQスイッチ発振を
実現することが困難である。
リングを実現するために、一般に共振器形態を安定型か
ら不安定型へ変更する手法が採用されている。不安定型
共振器は、レーザビームを共振器内の1往復毎に拡大
し、最終的にビームの外周部分を出力として取り出す方
式である。したがって、共振器構成ミラーは全反射鏡の
みで共振系を組めることから、安定型共振器のように部
分反射鏡を用いる制約が無く、かつレーザ共振中にビー
ムを徐々に拡大しつつ増幅することから利得領域を有効
に利用できる利点があるので、高出力取り出しに適合し
た形態である。しかしながら、通常の共振器ミラーが対
向するタイプの不安定型共振器では、その名のごとく共
振器中のレーザビームの進行方向に従ってビームの伝送
挙動が発散ビームや平行ビーム特性の間で変化してしま
うため、単純に共振器中にテレスコープを挿入すると、
ビームの進行方向毎に集光位置が変化してしまい回転チ
ョッパタイプのQスイッチを適用することはできない。
また他のQスイッチ方法として電気光学変調素子や回転
ミラーを共振器中に挿入する方法もあるが、前者につい
てはCO2 レーザの発振波長帯である10μm近傍でk
Wレベルの平均出力に耐え得る電気光学変調素子が存在
しないため適用できない。さらに後者については、不安
定型共振器でのレーザビーム直径が一般に数10mmレ
ベルと大きいため、共振器が成立する許容立体角が比較
的大きく、回転ミラー方式では有効なQスイッチ発振を
実現することが困難である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、パル
ス発振QスイッチCO2 レーザ装置において、従来技術
欄に示したような安定型共振器に基づく従来方式での平
均出力のスケーリング性の制約を打破し、さらに単一パ
ス増幅器を用いたマスターオシレータパワーアンプリフ
ァイアシステムのように装置を巨大化することなく、不
安定型共振器の高出力化性能を活かして数kW以上の平
均出力を相対的に小型のシステムから得ることのできる
QスイッチCO2 レーザ装置を実現することにある。
ス発振QスイッチCO2 レーザ装置において、従来技術
欄に示したような安定型共振器に基づく従来方式での平
均出力のスケーリング性の制約を打破し、さらに単一パ
ス増幅器を用いたマスターオシレータパワーアンプリフ
ァイアシステムのように装置を巨大化することなく、不
安定型共振器の高出力化性能を活かして数kW以上の平
均出力を相対的に小型のシステムから得ることのできる
QスイッチCO2 レーザ装置を実現することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、QスイッチC
O2 レーザ装置において、外部からシードビームを注入
するための連続波CO2 レーザ発振器と、光アイソレー
タと、共振器中に共焦点条件テレスコープとその共焦点
位置にレーザビーム透過スリットを有する回転チョッパ
を設置したリング構造を持つ不安定型共振器によって構
成され、不安定型共振器を構成する一枚の全反射鏡にビ
ーム入射穴を設け、この穴部分からシードビームを注入
することを特徴とする高平均出力QスイッチCO2 レー
ザ装置である。
O2 レーザ装置において、外部からシードビームを注入
するための連続波CO2 レーザ発振器と、光アイソレー
タと、共振器中に共焦点条件テレスコープとその共焦点
位置にレーザビーム透過スリットを有する回転チョッパ
を設置したリング構造を持つ不安定型共振器によって構
成され、不安定型共振器を構成する一枚の全反射鏡にビ
ーム入射穴を設け、この穴部分からシードビームを注入
することを特徴とする高平均出力QスイッチCO2 レー
ザ装置である。
【0009】
【作用】以下に本発明を詳細に説明する。まず初めに、
本発明の骨子であるリング構造を持つ不安定型共振器を
用いる理由について図面を用いて説明する。図2は、通
常の全反射鏡が対向する配置の正分枝共焦点不安定型共
振器の構成を示したものであり、あわせてビームパスの
挙動を併記した。共振器中のレーザビーム5は凹面鏡8
から凸面鏡11へ伝送する際は平行ビームであり、逆方
向のパスにおいて発散ビームとなり、これを繰り返すこ
とにより最終的に取り出し鏡14によって円環状ビーム
として出力が取り出される。図3はレーザビームが全反
射鏡で多重回反射しつつ拡大する様子を、反射部分を展
開して模式的に示したものである。図中Cは凹面鏡、X
は凸面鏡での反射を表し、当初の平行なレーザビーム
が、X→Cでビーム径が拡大し、C→Xでは平行ビーム
で伝送しつつ増幅を受ける状況を示している。ここで凹
面鏡(C)の近傍に、図2に示すように、共焦点テレス
コープを構成する集光光学素子F1、F2を挿入するこ
とを考える。C→Xのビームパスにおいては、テレスコ
ープへの入射レーザビームは平行ビームであることか
ら、F1によって集光されF2を通過したレーザビーム
は平行ビームに変換されて凸面鏡(X)へ向かう。次に
X→Cのビームパスにおいてはレーザビームは発散ビー
ムであることから、F2を通過したビームはC→Xのビ
ームパスにおいてF1で集光された位置よりもF1に近
い側で集光点を作り、その後、発散してF1を通過す
る。F1でのビーム径はこの段階でもはや図3の実線よ
り小さい値となっており、これ以降のビーム挙動は図3
の実線に比べて大幅に異なるものとなる。ここでF1、
F2を設置する位置ならびにその間隙を適宜選択するこ
とによってF1、F2間以外でのレーザビーム挙動を図
3の実線と一致させることは可能であるが、F1、F2
間での集光点の位置はC→X方向パスとX→C方向パス
でそれぞれ異なる。これは、C→X方向ではレーザビー
ムが平行であるのに対して、X→C方向ではレーザビー
ムが発散状況にあるという、不安定型共振器が持つ本質
的な条件に起因するためである。以上のような制約条件
のために、通常の全反射鏡が対向する配置の不安定型共
振器にテレスコープを挿入しても、一定の位置に共焦点
が得られないので、回転チョッパタイプのQスイッチン
グを実現することは不可能である。
本発明の骨子であるリング構造を持つ不安定型共振器を
用いる理由について図面を用いて説明する。図2は、通
常の全反射鏡が対向する配置の正分枝共焦点不安定型共
振器の構成を示したものであり、あわせてビームパスの
挙動を併記した。共振器中のレーザビーム5は凹面鏡8
から凸面鏡11へ伝送する際は平行ビームであり、逆方
向のパスにおいて発散ビームとなり、これを繰り返すこ
とにより最終的に取り出し鏡14によって円環状ビーム
として出力が取り出される。図3はレーザビームが全反
射鏡で多重回反射しつつ拡大する様子を、反射部分を展
開して模式的に示したものである。図中Cは凹面鏡、X
は凸面鏡での反射を表し、当初の平行なレーザビーム
が、X→Cでビーム径が拡大し、C→Xでは平行ビーム
で伝送しつつ増幅を受ける状況を示している。ここで凹
面鏡(C)の近傍に、図2に示すように、共焦点テレス
コープを構成する集光光学素子F1、F2を挿入するこ
とを考える。C→Xのビームパスにおいては、テレスコ
ープへの入射レーザビームは平行ビームであることか
ら、F1によって集光されF2を通過したレーザビーム
は平行ビームに変換されて凸面鏡(X)へ向かう。次に
X→Cのビームパスにおいてはレーザビームは発散ビー
ムであることから、F2を通過したビームはC→Xのビ
ームパスにおいてF1で集光された位置よりもF1に近
い側で集光点を作り、その後、発散してF1を通過す
る。F1でのビーム径はこの段階でもはや図3の実線よ
り小さい値となっており、これ以降のビーム挙動は図3
の実線に比べて大幅に異なるものとなる。ここでF1、
F2を設置する位置ならびにその間隙を適宜選択するこ
とによってF1、F2間以外でのレーザビーム挙動を図
3の実線と一致させることは可能であるが、F1、F2
間での集光点の位置はC→X方向パスとX→C方向パス
でそれぞれ異なる。これは、C→X方向ではレーザビー
ムが平行であるのに対して、X→C方向ではレーザビー
ムが発散状況にあるという、不安定型共振器が持つ本質
的な条件に起因するためである。以上のような制約条件
のために、通常の全反射鏡が対向する配置の不安定型共
振器にテレスコープを挿入しても、一定の位置に共焦点
が得られないので、回転チョッパタイプのQスイッチン
グを実現することは不可能である。
【0010】一方、上記の制約条件はX→Cのビームパ
スとC→Xのビームパスがお互いに空間的に重なってい
るため、集光素子F1、F2を共振器中に挿入してしま
うとどちらのパスでも集光素子を通過する構成になって
いることから発生している。したがって、両者のパスを
空間的に分離し、例えばC→Xのパスでのみ集光素子を
通過させることが実現できれば上記のような問題点は解
決できる。これを模式的に示した説明図が図4である。
図4においてはC→Xの平行条件ビームパスにおいての
み共焦点テレスコープが挿入される条件になっているこ
とから、本来の共焦点不安定型共振器の条件をくずすこ
となく、かつ集光素子F1、F2間の一定位置に集光位
置を得ることができるので、回転チョッパQスイッチを
実現することが可能となる。ここで、ビームパスを分離
する方法としては、レーザビームが対向ミラー間を往復
するのではなく、図5に模式的に示すような共振器内を
回転するリング構造を持つ共振器を適用すれば実現でき
る。従来、安定型共振器でリング構造を持つものは公知
であるが、不安定型共振器にリング構造を適用した例は
無く、これが本発明の骨子となっている。なお、レーザ
ビームが共振器内を回転する場合、その方向として図5
中に示した実線、点線の2種類の方向が有り得る。ここ
で、共焦点テレスコープを特定の位置に設置した場合、
レーザビームの回転方向によっては、図4のC→Xビー
ムパス上に設置される場合と、X→Cビームパス上に設
置される場合の2通りの場合が存在する。したがって、
リング型共振器に特有のレーザビームの回転方向の自由
度に関しては、何らかの手段によってレーザ共振をある
特定の方向に規定する必要がある。これに関しては、レ
ーザ発振の立ち上がりを自然発光から自発的に立ち上げ
るのではなく、外部からシードビームをリング構造を持
つ共振器に注入し、このシードビームから誘導放出を引
き起こす構成とすれば、回転方向を特定することが可能
となる。
スとC→Xのビームパスがお互いに空間的に重なってい
るため、集光素子F1、F2を共振器中に挿入してしま
うとどちらのパスでも集光素子を通過する構成になって
いることから発生している。したがって、両者のパスを
空間的に分離し、例えばC→Xのパスでのみ集光素子を
通過させることが実現できれば上記のような問題点は解
決できる。これを模式的に示した説明図が図4である。
図4においてはC→Xの平行条件ビームパスにおいての
み共焦点テレスコープが挿入される条件になっているこ
とから、本来の共焦点不安定型共振器の条件をくずすこ
となく、かつ集光素子F1、F2間の一定位置に集光位
置を得ることができるので、回転チョッパQスイッチを
実現することが可能となる。ここで、ビームパスを分離
する方法としては、レーザビームが対向ミラー間を往復
するのではなく、図5に模式的に示すような共振器内を
回転するリング構造を持つ共振器を適用すれば実現でき
る。従来、安定型共振器でリング構造を持つものは公知
であるが、不安定型共振器にリング構造を適用した例は
無く、これが本発明の骨子となっている。なお、レーザ
ビームが共振器内を回転する場合、その方向として図5
中に示した実線、点線の2種類の方向が有り得る。ここ
で、共焦点テレスコープを特定の位置に設置した場合、
レーザビームの回転方向によっては、図4のC→Xビー
ムパス上に設置される場合と、X→Cビームパス上に設
置される場合の2通りの場合が存在する。したがって、
リング型共振器に特有のレーザビームの回転方向の自由
度に関しては、何らかの手段によってレーザ共振をある
特定の方向に規定する必要がある。これに関しては、レ
ーザ発振の立ち上がりを自然発光から自発的に立ち上げ
るのではなく、外部からシードビームをリング構造を持
つ共振器に注入し、このシードビームから誘導放出を引
き起こす構成とすれば、回転方向を特定することが可能
となる。
【0011】以上の説明に基づいた実際のレーザ共振器
の構成と動作について、以下に図面を用いて説明する。
図1は本発明に係わる高平均出力QスイッチCO2 レー
ザ装置の構成を模式的に示したものである。図において
1はリング構造を持つ不安定型共振器中のレーザビーム
の回転方向を規定するために外部からシードビームを注
入するための連続波CO2 レーザ発振器である。ここで
各種の応用においては、CO2 レーザにおいて複数存在
する発振線の内の特定の波長を選択したい場合や、縦モ
ードを単一化したい場合があるが、この様な目的に対し
ては、この連続波発振器の出力を特定の波長や縦モード
に制御することとなる。一般には特定波長を選択する際
には、回折格子を用いることが多く、この場合、シード
ビームは直線偏光を有することになる。
の構成と動作について、以下に図面を用いて説明する。
図1は本発明に係わる高平均出力QスイッチCO2 レー
ザ装置の構成を模式的に示したものである。図において
1はリング構造を持つ不安定型共振器中のレーザビーム
の回転方向を規定するために外部からシードビームを注
入するための連続波CO2 レーザ発振器である。ここで
各種の応用においては、CO2 レーザにおいて複数存在
する発振線の内の特定の波長を選択したい場合や、縦モ
ードを単一化したい場合があるが、この様な目的に対し
ては、この連続波発振器の出力を特定の波長や縦モード
に制御することとなる。一般には特定波長を選択する際
には、回折格子を用いることが多く、この場合、シード
ビームは直線偏光を有することになる。
【0012】図1中の2は光アイソレータであり、連続
波発振器1からリング構造を持つQスイッチ不安定型共
振器6へのレーザビームは高効率で通過させるが、不安
定型共振器6から逆に戻ってくるレーザビームに対して
は、ビームを遮断する機能を持つ。これは不安定型共振
器6から一部戻ってくるレーザビームが増幅されている
ため、この戻りビームによって連続波発振器1の発振を
不安定化したり、連続波発振器1そのものの損傷を防止
するためのものである。図に示した例においては、偏光
選択反射鏡3はs偏光に対しては高反射率を示すが、p
偏光はその大半を吸収する特性を持ち、反射率を偏光の
向きによって変化させる素子である。次に位相遅延反射
鏡4は、1/4波長の位相遅延を与える反射鏡であり、
直線偏光が入射した場合、反射光は円偏光となるもので
ある。以上の構成において、連続波発振器1からのレー
ザビーム5はs偏光を有するので偏光選択反射鏡3によ
って反射された後、位相遅延反射鏡4によって円偏光に
変化し、不安定型共振器6へ入射する。不安定型共振器
6から一部戻ってくるレーザビームは入射したビームと
同じ円偏光を有するので、位相遅延反射鏡4によって反
射されるとp偏光に変換する。このp偏光は偏光選択反
射鏡3によってその大半のパワーが吸収されるので、連
続波発振器1へのビーム戻りが防止される。なお、以上
の例においては光アイソレータ2として最も簡単な構成
を示したが、偏光子と位相遅延鏡の組合せの他、偏光に
よってアイソレーション機能を持つものであれば、何れ
の方式でもよい。
波発振器1からリング構造を持つQスイッチ不安定型共
振器6へのレーザビームは高効率で通過させるが、不安
定型共振器6から逆に戻ってくるレーザビームに対して
は、ビームを遮断する機能を持つ。これは不安定型共振
器6から一部戻ってくるレーザビームが増幅されている
ため、この戻りビームによって連続波発振器1の発振を
不安定化したり、連続波発振器1そのものの損傷を防止
するためのものである。図に示した例においては、偏光
選択反射鏡3はs偏光に対しては高反射率を示すが、p
偏光はその大半を吸収する特性を持ち、反射率を偏光の
向きによって変化させる素子である。次に位相遅延反射
鏡4は、1/4波長の位相遅延を与える反射鏡であり、
直線偏光が入射した場合、反射光は円偏光となるもので
ある。以上の構成において、連続波発振器1からのレー
ザビーム5はs偏光を有するので偏光選択反射鏡3によ
って反射された後、位相遅延反射鏡4によって円偏光に
変化し、不安定型共振器6へ入射する。不安定型共振器
6から一部戻ってくるレーザビームは入射したビームと
同じ円偏光を有するので、位相遅延反射鏡4によって反
射されるとp偏光に変換する。このp偏光は偏光選択反
射鏡3によってその大半のパワーが吸収されるので、連
続波発振器1へのビーム戻りが防止される。なお、以上
の例においては光アイソレータ2として最も簡単な構成
を示したが、偏光子と位相遅延鏡の組合せの他、偏光に
よってアイソレーション機能を持つものであれば、何れ
の方式でもよい。
【0013】図1中の6は本発明の骨子となるリング構
造を持つQスイッチ不安定型CO2レーザ共振器の構成
である。図において不安定型共振器としては正分枝共焦
点不安定型共振器の例を示し、かつビームパスの挙動を
中心軸のみ併せて模式的に示した。光アイソレータ2を
通過した連続波発振器1の出力レーザビーム5は、レー
ザビーム入射用全透過ウインドウ7を介して不安定型共
振器6へ投入される。不安定型共振器6は不安定型共振
器を構成する凹面鏡8、凸面鏡11、平面鏡12、共焦
点テレスコープを構成する集光鏡9、9’、回転チョッ
パ10ならびに取り出し鏡14からなる共振器部、およ
び図示されない放電励起部、ガス流通部および熱交換部
からなる。凹面鏡8の中央には連続波発振器1からのレ
ーザビーム5を通過させるための入射穴が設けられてお
り、入射ビームは集光鏡9の方向に入射し増幅を受け
る。集光鏡9で集光されたレーザビームは回転チョッパ
10のスリットが開放した段階でQスイッチ発振パルス
に変換され、集光鏡9’によって平行ビームに戻され、
凸面鏡11方向へ伝送しつつ増幅を受ける。凸面鏡11
によって反射されたレーザビームは拡大しつつ増幅され
平面鏡12での反射を介して凹面鏡8の方向へ戻る。こ
こで図1の構造では、図5の模式的なリング構造に比べ
てビームパスがたすきがけ状になっているが、これは球
面収差の混入を防止するため凸面鏡11や凹面鏡8への
入反射角を小さくするためであり、原理的には図5と同
様なリング構造となっている。次に共振器中を1回転し
たビーム径は、不安定型共振器の拡大率M(共焦点条件
の場合、M=凹面鏡曲率半径/凸面鏡曲率半径)にした
がって大きくなるので、凹面鏡8へ戻ってきたパワーの
1/M2 の成分は凹面鏡8の入射穴から光アイソレータ
方向へ散逸するが、(1−1/M2 )の成分は不安定型
共振器中に残存することとなる。共振器中に残存したレ
ーザパワーは、この後共振器中を回転することで、ビー
ム径を広げつつ増幅を受け、ビーム外径が最終的に取り
出し鏡14の内径より大きくなった段階でレーザビーム
取り出し用全透過ウインドウ13から発振出力として取
り出される。以上の構成においては凹面鏡8から集光鏡
9、9’を経て凸面鏡11へ至るまでは平行ビームであ
り(図中でPと示した)、凸面鏡11から平面鏡12を
介して凹面鏡8へ至るまでは発散ビームであり(図中で
Eと示した)これでリング共振器を1回まわることにな
る。ここで反対方向にレーザビームが回転する場合は、
図中のPとEが置き換わることになり、集光鏡9、9’
のある位置では発散ビームが入射することとなる。これ
が、上述したリング共振器内のレーザビームの回転方向
を規定しなくてはならない理由であり、このために外部
からシードビームを注入し、リング構造中のレーザビー
ムの回転方向を図中の矢印方向に規定している。
造を持つQスイッチ不安定型CO2レーザ共振器の構成
である。図において不安定型共振器としては正分枝共焦
点不安定型共振器の例を示し、かつビームパスの挙動を
中心軸のみ併せて模式的に示した。光アイソレータ2を
通過した連続波発振器1の出力レーザビーム5は、レー
ザビーム入射用全透過ウインドウ7を介して不安定型共
振器6へ投入される。不安定型共振器6は不安定型共振
器を構成する凹面鏡8、凸面鏡11、平面鏡12、共焦
点テレスコープを構成する集光鏡9、9’、回転チョッ
パ10ならびに取り出し鏡14からなる共振器部、およ
び図示されない放電励起部、ガス流通部および熱交換部
からなる。凹面鏡8の中央には連続波発振器1からのレ
ーザビーム5を通過させるための入射穴が設けられてお
り、入射ビームは集光鏡9の方向に入射し増幅を受け
る。集光鏡9で集光されたレーザビームは回転チョッパ
10のスリットが開放した段階でQスイッチ発振パルス
に変換され、集光鏡9’によって平行ビームに戻され、
凸面鏡11方向へ伝送しつつ増幅を受ける。凸面鏡11
によって反射されたレーザビームは拡大しつつ増幅され
平面鏡12での反射を介して凹面鏡8の方向へ戻る。こ
こで図1の構造では、図5の模式的なリング構造に比べ
てビームパスがたすきがけ状になっているが、これは球
面収差の混入を防止するため凸面鏡11や凹面鏡8への
入反射角を小さくするためであり、原理的には図5と同
様なリング構造となっている。次に共振器中を1回転し
たビーム径は、不安定型共振器の拡大率M(共焦点条件
の場合、M=凹面鏡曲率半径/凸面鏡曲率半径)にした
がって大きくなるので、凹面鏡8へ戻ってきたパワーの
1/M2 の成分は凹面鏡8の入射穴から光アイソレータ
方向へ散逸するが、(1−1/M2 )の成分は不安定型
共振器中に残存することとなる。共振器中に残存したレ
ーザパワーは、この後共振器中を回転することで、ビー
ム径を広げつつ増幅を受け、ビーム外径が最終的に取り
出し鏡14の内径より大きくなった段階でレーザビーム
取り出し用全透過ウインドウ13から発振出力として取
り出される。以上の構成においては凹面鏡8から集光鏡
9、9’を経て凸面鏡11へ至るまでは平行ビームであ
り(図中でPと示した)、凸面鏡11から平面鏡12を
介して凹面鏡8へ至るまでは発散ビームであり(図中で
Eと示した)これでリング共振器を1回まわることにな
る。ここで反対方向にレーザビームが回転する場合は、
図中のPとEが置き換わることになり、集光鏡9、9’
のある位置では発散ビームが入射することとなる。これ
が、上述したリング共振器内のレーザビームの回転方向
を規定しなくてはならない理由であり、このために外部
からシードビームを注入し、リング構造中のレーザビー
ムの回転方向を図中の矢印方向に規定している。
【0014】ここで本発明において不安定型共振器を用
いる最大の理由は、高平均出力を得ることであるが、共
振器が不安定型であるがゆえに回転チョッパのスリット
が若干でも開放し始めるとレーザ共振が開始し、集光鏡
9、9’間の集光位置におけるレーザパワー密度はかな
り高くなる。したがって、回転チョッパブレードの損傷
を防止するために、レーザビームの集光はパワー密度を
低減するよう線状集光を行い、線状のスリットの開閉に
よって共振器Q値の制御を行うことが望ましい。なお、
線状集光は円柱ミラーや断面が放物線形状の放物線柱ミ
ラーによって実現可能である。ここで、この議論は、チ
ョッパブレードの耐光強度とレーザパワー密度との兼ね
合いであるので、チョッパブレードの耐久性に問題がな
い限りにおいては、通常の点状集光方式を用いることも
可能である。この場合、点状集光は球面もしくは放物面
ミラーによって実現される。
いる最大の理由は、高平均出力を得ることであるが、共
振器が不安定型であるがゆえに回転チョッパのスリット
が若干でも開放し始めるとレーザ共振が開始し、集光鏡
9、9’間の集光位置におけるレーザパワー密度はかな
り高くなる。したがって、回転チョッパブレードの損傷
を防止するために、レーザビームの集光はパワー密度を
低減するよう線状集光を行い、線状のスリットの開閉に
よって共振器Q値の制御を行うことが望ましい。なお、
線状集光は円柱ミラーや断面が放物線形状の放物線柱ミ
ラーによって実現可能である。ここで、この議論は、チ
ョッパブレードの耐光強度とレーザパワー密度との兼ね
合いであるので、チョッパブレードの耐久性に問題がな
い限りにおいては、通常の点状集光方式を用いることも
可能である。この場合、点状集光は球面もしくは放物面
ミラーによって実現される。
【0015】以上の図1に示した不安定型共振器の構成
では、レーザビーム取り出し用全透過ウインドウ13を
固体媒質として示したが、高平均出力性に対する耐力を
考慮して空気力学的な窓によって筐体内の低圧部分と大
気圧部分を遮断する構成をとることも可能である。ま
た、同様に正分枝共焦点不安定型共振器の例を示した
が、負分枝条件や共焦点条件でない不安定型共振器にも
本発明が適用可能であることは言うまでもない。さらに
一般に不安定型共振器CO2 レーザでは直交流型(レー
ザ光軸と、放電・ガス流方向が直交する型)が用いられ
るが、放電励起媒質の空間的な不均一性や収差が入るこ
とが知られている。そこでこれらを補正するため、Rev.
Sci. Instrum.誌, vol.64, No.9, p2488, 1993 に紹介
されているような円錐台型ミラーやルーフプリズムによ
って共振器中でレーザビームを鏡像反転するような折り
返しミラーを共振器内に導入することも可能である。さ
らにここまでの説明においては、レーザ媒質をCO2 レ
ーザに特定して述べてきたが、COレーザやヨウ素レー
ザ等の他のレーザに対しても本発明を適用することは可
能である。
では、レーザビーム取り出し用全透過ウインドウ13を
固体媒質として示したが、高平均出力性に対する耐力を
考慮して空気力学的な窓によって筐体内の低圧部分と大
気圧部分を遮断する構成をとることも可能である。ま
た、同様に正分枝共焦点不安定型共振器の例を示した
が、負分枝条件や共焦点条件でない不安定型共振器にも
本発明が適用可能であることは言うまでもない。さらに
一般に不安定型共振器CO2 レーザでは直交流型(レー
ザ光軸と、放電・ガス流方向が直交する型)が用いられ
るが、放電励起媒質の空間的な不均一性や収差が入るこ
とが知られている。そこでこれらを補正するため、Rev.
Sci. Instrum.誌, vol.64, No.9, p2488, 1993 に紹介
されているような円錐台型ミラーやルーフプリズムによ
って共振器中でレーザビームを鏡像反転するような折り
返しミラーを共振器内に導入することも可能である。さ
らにここまでの説明においては、レーザ媒質をCO2 レ
ーザに特定して述べてきたが、COレーザやヨウ素レー
ザ等の他のレーザに対しても本発明を適用することは可
能である。
【0016】
【実施例】作用欄で説明した構成に基づく実施例を以下
に示す。図1において連続波発振器1は、直流放電励起
連続波CO2 レーザ発振器であり、発振波長は10.5
9μm、単一縦モード、単一横モード発振において、平
均出力10Wが得られる。出力ビーム径は2mmであ
り、s偏光に偏波した直線偏光を有する。
に示す。図1において連続波発振器1は、直流放電励起
連続波CO2 レーザ発振器であり、発振波長は10.5
9μm、単一縦モード、単一横モード発振において、平
均出力10Wが得られる。出力ビーム径は2mmであ
り、s偏光に偏波した直線偏光を有する。
【0017】光アイソレータ2の内、偏光選択反射鏡3
はs偏光反射率が98.5%以上、p偏光反射率が1.
5%以下の性能を持つ反射鏡であり、連続波発振器1か
らのレーザビーム5を98.5%以上の効率で反射す
る。位相遅延反射鏡4は、1/4波長の位相遅延を与え
る反射鏡であり、入射レーザビーム5の直線偏光を円偏
光に変換して反射する。
はs偏光反射率が98.5%以上、p偏光反射率が1.
5%以下の性能を持つ反射鏡であり、連続波発振器1か
らのレーザビーム5を98.5%以上の効率で反射す
る。位相遅延反射鏡4は、1/4波長の位相遅延を与え
る反射鏡であり、入射レーザビーム5の直線偏光を円偏
光に変換して反射する。
【0018】リング構造を持つQスイッチ不安定型共振
器6は直流放電励起連続波CO2 レーザ装置をベースと
したもので、正分枝不安定型共振器によって構成され
る。凹面鏡8は銅ミラーに金コートを施した全反射鏡で
あり、その曲率半径は16.3mであり、中央部に直径
2mmの開口が設けられている。凸面鏡11は銅ミラー
に金コートを施した全反射鏡であり、その曲率半径は
5.1mであり、凸面鏡11から凹面鏡8へ至るいわゆ
る対向型共振器における共振器長は5.6mである。集
光鏡9、9’は焦点距離150mmの円柱鏡であり、3
00mm間隔の共焦点条件で設置されており、焦点位置
において最大長さ40mmの線状集光ビームを形成す
る。回転チョッパ10は周上に50ケ、長さ50mmの
線状スリットを有する円板であり、これが12,000
rpmで回転することにより、パルス繰り返し周波数1
0kHzのQスイッチ発振を実現する。取り出し鏡14
はその中央に45゜傾いた開口が設けられた銅製金コー
トミラーであり、光軸方向から見た開口直径は12mm
である。レーザ出力は両面に減反射コーティングが施さ
れた平板ZnSe製レーザビーム取り出し用全透過ウイ
ンドウ13から大気中に取り出される。以上の共焦点不
安定型共振器の拡大率は3.2であり、集光鏡9、9’
ならびに回転チョッパ10の代わりに平面全反射鏡を設
置し連続波発振させた場合、外径約39mmの連続波発
振出力レーザビームが得られ、その出力は8kWであ
る。
器6は直流放電励起連続波CO2 レーザ装置をベースと
したもので、正分枝不安定型共振器によって構成され
る。凹面鏡8は銅ミラーに金コートを施した全反射鏡で
あり、その曲率半径は16.3mであり、中央部に直径
2mmの開口が設けられている。凸面鏡11は銅ミラー
に金コートを施した全反射鏡であり、その曲率半径は
5.1mであり、凸面鏡11から凹面鏡8へ至るいわゆ
る対向型共振器における共振器長は5.6mである。集
光鏡9、9’は焦点距離150mmの円柱鏡であり、3
00mm間隔の共焦点条件で設置されており、焦点位置
において最大長さ40mmの線状集光ビームを形成す
る。回転チョッパ10は周上に50ケ、長さ50mmの
線状スリットを有する円板であり、これが12,000
rpmで回転することにより、パルス繰り返し周波数1
0kHzのQスイッチ発振を実現する。取り出し鏡14
はその中央に45゜傾いた開口が設けられた銅製金コー
トミラーであり、光軸方向から見た開口直径は12mm
である。レーザ出力は両面に減反射コーティングが施さ
れた平板ZnSe製レーザビーム取り出し用全透過ウイ
ンドウ13から大気中に取り出される。以上の共焦点不
安定型共振器の拡大率は3.2であり、集光鏡9、9’
ならびに回転チョッパ10の代わりに平面全反射鏡を設
置し連続波発振させた場合、外径約39mmの連続波発
振出力レーザビームが得られ、その出力は8kWであ
る。
【0019】以上の構成において、連続波発振器1から
のレーザビーム5を両面に減反射コーティングが施され
た平板ZnSe製レーザビーム入射用全透過ウインドウ
7を介して不安定型共振器6に入射させ、Qスイッチ発
振を行った。その結果、パルス繰り返し周波数10kH
z、パルスエネルギ350mJ、パルスピーク出力1.
2MW、平均出力3.5kWのパルス発振出力が得られ
た。
のレーザビーム5を両面に減反射コーティングが施され
た平板ZnSe製レーザビーム入射用全透過ウインドウ
7を介して不安定型共振器6に入射させ、Qスイッチ発
振を行った。その結果、パルス繰り返し周波数10kH
z、パルスエネルギ350mJ、パルスピーク出力1.
2MW、平均出力3.5kWのパルス発振出力が得られ
た。
【0020】
【発明の効果】以上に説明したごとく本発明による高平
均出力QスイッチCO2 レーザ装置によれば、安定型共
振器QスイッチCO2 レーザにおける平均出力のスケー
リング性の制約を受けることなく、さらに単一パス増幅
器のように装置を巨大化することなく、相対的に小型の
装置から高効率でかつ高い平均出力のパルスQスイッチ
CO2 レーザ光を安定して得ることができるという実用
上の大きな利点を有する。
均出力QスイッチCO2 レーザ装置によれば、安定型共
振器QスイッチCO2 レーザにおける平均出力のスケー
リング性の制約を受けることなく、さらに単一パス増幅
器のように装置を巨大化することなく、相対的に小型の
装置から高効率でかつ高い平均出力のパルスQスイッチ
CO2 レーザ光を安定して得ることができるという実用
上の大きな利点を有する。
【図1】本発明の高平均出力QスイッチCO2 レーザ装
置の構成を示す図である。
置の構成を示す図である。
【図2】従来の共振器ミラーが対向するタイプの不安定
型共振器の構造を示す模式図である。
型共振器の構造を示す模式図である。
【図3】図2の構造の不安定型共振器中のレーザビーム
の伝送挙動として反射鏡における反射を展開して模式的
に示した説明図である。
の伝送挙動として反射鏡における反射を展開して模式的
に示した説明図である。
【図4】本発明の高平均出力QスイッチCO2 レーザ装
置のリング構造を持つQスイッチ不安定型共振器中のレ
ーザビームの伝送挙動として反射鏡における反射を展開
して模式的に示した説明図である。
置のリング構造を持つQスイッチ不安定型共振器中のレ
ーザビームの伝送挙動として反射鏡における反射を展開
して模式的に示した説明図である。
【図5】リング構造を持つ共振器の構成を示す模式図で
ある。
ある。
1 連続波発振器 2 光アイソレータ 3 偏光選択反射鏡 4 位相遅延反射鏡 5 レーザビーム 6 リング構造を持つQスイッチ不安定型共振器 7 レーザビーム入射用全透過ウインドウ 8 凹面鏡 9、9’ 集光鏡 10 回転チョッパ 11 凸面鏡 12 平面鏡 13 レーザビーム取り出し用全透過ウインドウ 14 取り出し鏡 F1、F2 集光光学素子
Claims (3)
- 【請求項1】 QスイッチCO2 レーザ装置において、
外部からシードビームを注入するための連続波CO2 レ
ーザ発振器と、光アイソレータと、共振器中に共焦点条
件テレスコープとその共焦点位置にレーザビーム透過ス
リットを有する回転チョッパを設置したリング構造を持
つ不安定型共振器によって構成され、不安定型共振器を
構成する一枚の全反射鏡にビーム入射穴を設け、この穴
部分からシードビームを注入することを特徴とする高平
均出力QスイッチCO2 レーザ装置。 - 【請求項2】 共焦点条件テレスコープが円柱ミラー対
もしくは放物線柱ミラー対からなり、共焦点位置での集
光レーザビーム形状が線状であり、回転チョッパ上のレ
ーザビーム透過スリットが線状集光レーザビームを透過
させる線状の形状であることを特徴とする請求項1記載
の高平均出力QスイッチCO2 レーザ装置。 - 【請求項3】 共焦点条件テレスコープが球面ミラー対
もしくは放物面ミラー対からなり、共焦点位置での集光
レーザビーム形状が点状であり、回転チョッパ上のレー
ザビーム透過スリットが点状集光レーザビームを透過さ
せる形状であることを特徴とする請求項1記載の高平均
出力QスイッチCO2 レーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22264294A JPH0864897A (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | 高平均出力qスイッチco▲2▼レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22264294A JPH0864897A (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | 高平均出力qスイッチco▲2▼レーザ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0864897A true JPH0864897A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16785657
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22264294A Withdrawn JPH0864897A (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | 高平均出力qスイッチco▲2▼レーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0864897A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002043666A (ja) * | 2000-07-07 | 2002-02-08 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | 材料加工用のレーザ装置 |
JP2008153526A (ja) * | 2006-12-19 | 2008-07-03 | Sony Corp | レーザ光源装置及びこれを用いた画像生成装置 |
JP2009182353A (ja) * | 2009-05-18 | 2009-08-13 | Sony Corp | レーザ光源装置及びこれを用いた画像生成装置 |
JP2010016194A (ja) * | 2008-07-03 | 2010-01-21 | Shibuya Kogyo Co Ltd | Qスイッチレーザ発振器 |
WO2021010089A1 (ja) | 2019-07-16 | 2021-01-21 | 日亜化学工業株式会社 | Qスイッチ共振器、及びパルス発生器 |
WO2024103020A1 (en) * | 2022-11-11 | 2024-05-16 | Blue Laser Fusion Inc. | Laser fusion system and method |
-
1994
- 1994-08-24 JP JP22264294A patent/JPH0864897A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002043666A (ja) * | 2000-07-07 | 2002-02-08 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | 材料加工用のレーザ装置 |
JP2008153526A (ja) * | 2006-12-19 | 2008-07-03 | Sony Corp | レーザ光源装置及びこれを用いた画像生成装置 |
US7701986B2 (en) | 2006-12-19 | 2010-04-20 | Sony Corporation | Laser light source apparatus and image generating apparatus using such laser light source apparatus |
JP2010016194A (ja) * | 2008-07-03 | 2010-01-21 | Shibuya Kogyo Co Ltd | Qスイッチレーザ発振器 |
JP2009182353A (ja) * | 2009-05-18 | 2009-08-13 | Sony Corp | レーザ光源装置及びこれを用いた画像生成装置 |
WO2021010089A1 (ja) | 2019-07-16 | 2021-01-21 | 日亜化学工業株式会社 | Qスイッチ共振器、及びパルス発生器 |
US12003072B2 (en) | 2019-07-16 | 2024-06-04 | Nichia Corporation | Q switch resonator, and pulse generator |
WO2024103020A1 (en) * | 2022-11-11 | 2024-05-16 | Blue Laser Fusion Inc. | Laser fusion system and method |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20011106 |