JP5115501B2 - 基板仕分け装置及び基板仕分け方法 - Google Patents
基板仕分け装置及び基板仕分け方法Info
- Publication number
- JP5115501B2 JP5115501B2 JP2009059864A JP2009059864A JP5115501B2 JP 5115501 B2 JP5115501 B2 JP 5115501B2 JP 2009059864 A JP2009059864 A JP 2009059864A JP 2009059864 A JP2009059864 A JP 2009059864A JP 5115501 B2 JP5115501 B2 JP 5115501B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- sorting
- buffer device
- carry
- substrates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
本発明は、例えば、LCD(液晶)や半導体工場などのクリーンルーム内に設置される基板仕分け装置及びこの基板仕分け装置を用いて行う基板仕分け方法に関する。
従来、LCD(液晶)などの基板を製作する場合には、大型の基板(例えば、ガラス基板)上に同一の回路パターンを複数形成し、この基板をダイシング(切断)して所望の回路基板を得て、次のボンディング工程に送っている。
近年、回路パターンの製造工程が複雑になり、回路の規模が大きくなったことに伴って、回路不良が発生する率は増加する傾向にある。このような回路不良の基板をそのまま次のボンディング工程に送ると、ボンディングの工程が無駄になる。そのため、ロスを最少限に抑えるため、基板をダイシングする前に、各回路パターンの機能テストを行っている。
そして、回路パターンの機能テストの結果に基づいて、基板上の不良回路の存在位置別に基板を仕分けすることにより、不良回路の修理を行うか、あるいは、ダイシングの後に不良回路を含む基板を廃棄するようにしている。
また、複数品種の基板を同一の製造ラインにおいて順次的に製作する場合もあることから、品種別に基板を仕分けすることも必要になる。
このような仕分け工程においては、特許文献1及び特許文献2に記載されているように、カセット内に水平に重ねられて収納され搬入ポートに搬送されてきた複数の基板を、インラインバッファにより1枚ずつカセットから取り出し、種類毎(ロット毎)に仕分けポートのカセットに搬送して、基板の仕分けを行っている。
この仕分け工程においては、仕分けポートは、基板の種類の数分だけ用意する必要がある。この仕分けポートの数は、枚数の少ないロットがあった場合でも、基板の種類の数に対応している必要がある。
前述のような従来の仕分け工程においては、仕分けする基板の種類の数が仕分けポートの数より多い場合には、仕分け工程を複数回に分けて行う必要があり、仕分けの効率が低下してしまう。
また、インラインバッファは、カセット内に収納された基板を下から順に1枚ずつ取り出すことしかできず、搬入ポートのカセットからの搬出順序を入れ替えることができない。そのため、ある仕分けポートのカセットが満杯になったときに、その仕分けポートに搬送されるべき基板があると、その仕分けポートのカセットの入れ替えが完了するまでは、搬入ポートからの基板の流れを停止させざるを得ない。
そこで、本発明は、前述の実情に鑑みて提案されるものであって、仕分けする基板の種類の数が仕分けポートの数より多い場合にも、効率を低下させずに仕分けすることができ、また、ある仕分けポートのカセットが満杯になったときにも、搬入ポートからの基板の流れを停止させる必要がない基板仕分け装置及び基板仕分け方法を提供することを目的とする。
前述の課題を解決し、前記目的を達成するため、本発明は、以下の構成のいずれか一を有するものである。
〔構成1〕
本発明に係るに基板仕分け装置は、水平に重ねられた状態でカセットに収納されて少なくとも一つの搬入ポートから搬入される複数種類の複数の基板を種類毎に仕分けて各種類に対応された複数の仕分けポートに搬送し各仕分けポートに設置されたカセットに搬出する基板仕分け装置であって、搬入ポートに設置されカセットに収納された基板を一時的に保持する搬入側バッファ装置と、搬入側バッファ装置に保持された基板を一枚ずつ仕分けポートのいずれかに搬送する搬送装置と、各仕分けポートに設置され搬送装置により搬送された基板を一時的に保持する搬出側バッファ装置とを備え、搬入側バッファ装置及び搬出側バッファ装置のうちの少なくとも1台は、基板を保持する複数の保持部のうちの任意の保持部への基板の挿入が可能であって、かつ、保持している複数の基板のうちの任意の基板の取り出しが可能であるランダムアクセスバッファ装置であることを特徴とするものである。
本発明に係るに基板仕分け装置は、水平に重ねられた状態でカセットに収納されて少なくとも一つの搬入ポートから搬入される複数種類の複数の基板を種類毎に仕分けて各種類に対応された複数の仕分けポートに搬送し各仕分けポートに設置されたカセットに搬出する基板仕分け装置であって、搬入ポートに設置されカセットに収納された基板を一時的に保持する搬入側バッファ装置と、搬入側バッファ装置に保持された基板を一枚ずつ仕分けポートのいずれかに搬送する搬送装置と、各仕分けポートに設置され搬送装置により搬送された基板を一時的に保持する搬出側バッファ装置とを備え、搬入側バッファ装置及び搬出側バッファ装置のうちの少なくとも1台は、基板を保持する複数の保持部のうちの任意の保持部への基板の挿入が可能であって、かつ、保持している複数の基板のうちの任意の基板の取り出しが可能であるランダムアクセスバッファ装置であることを特徴とするものである。
〔構成2〕
本発明に係るに基板仕分け方法は、搬出側バッファ装置の少なくとも一つがランダムアクセスバッファ装置である構成1を有する基板仕分け装置を用いて、ランダムアクセスバッファ装置には、複数種類の基板を保持させ、種類毎に異なるカセットに搬出することを特徴とするものである。
本発明に係るに基板仕分け方法は、搬出側バッファ装置の少なくとも一つがランダムアクセスバッファ装置である構成1を有する基板仕分け装置を用いて、ランダムアクセスバッファ装置には、複数種類の基板を保持させ、種類毎に異なるカセットに搬出することを特徴とするものである。
〔構成3〕
本発明に係るに基板仕分け方法は、搬入側バッファ装置の少なくとも一つがランダムアクセスバッファ装置である構成1を有する基板仕分け装置を用いて、複数の保持部の全てにおいて基板を保持している搬出側バッファ装置へ搬送されるべき基板を避けて、複数の保持部のいずれかが空いている他の搬出側バッファ装置へ搬送されるべき基板を優先して搬送することを特徴とするものである。
本発明に係るに基板仕分け方法は、搬入側バッファ装置の少なくとも一つがランダムアクセスバッファ装置である構成1を有する基板仕分け装置を用いて、複数の保持部の全てにおいて基板を保持している搬出側バッファ装置へ搬送されるべき基板を避けて、複数の保持部のいずれかが空いている他の搬出側バッファ装置へ搬送されるべき基板を優先して搬送することを特徴とするものである。
構成1を有する本発明に係るに基板仕分け装置においては、搬入側バッファ装置及び搬出側バッファ装置のうちの少なくとも1台がランダムアクセスバッファ装置であり、基板を保持する複数の保持部のうちの任意の保持部への基板の挿入が可能であって、かつ、保持している複数の基板のうちの任意の基板の取り出しが可能であるので、搬出側バッファ装置をランダムアクセスバッファ装置とした場合には、複数種類の基板を保持させ、種類毎に異なるカセットに搬出することが可能であり、また、搬入側バッファ装置をランダムアクセスバッファ装置とした場合には、複数の保持部の全てにおいて基板を保持している搬出側バッファ装置へ搬送されるべき基板を避けて、複数の保持部のいずれかが空いている他の搬出側バッファ装置へ搬送されるべき基板を優先して搬送することができる。
したがって、本発明に係る基板仕分け装置においては、仕分けする基板の種類の数が仕分けポートの数より多い場合にも、効率を低下させずに仕分けすることができ、また、ある仕分けポートのカセットが満杯になったときにも、搬入ポートからの基板の流れを停止させる必要がない。
構成2を有する本発明に係るに基板仕分け方法においては、ランダムアクセスバッファ装置には、複数種類の基板を保持させ、種類毎に異なるカセットに搬出するので、仕分けする基板の種類の数が仕分けポートの数より多い場合にも、効率を低下させずに仕分けすることができる。
構成3を有する本発明に係るに基板仕分け方法においては、複数の保持部の全てにおいて基板を保持している搬出側バッファ装置へ搬送されるべき基板を避けて、複数の保持部のいずれかが空いている他の搬出側バッファ装置へ搬送されるべき基板を優先して搬送するので、ある仕分けポートのカセットが満杯になったときにも、搬入ポートからの基板の流れを停止させる必要がない。
すなわち、本発明は、仕分けする基板の種類の数が仕分けポートの数より多い場合にも、効率を低下させずに仕分けすることができ、また、ある仕分けポートのカセットが満杯になったときにも、搬入ポートからの基板の流れを停止させる必要がない基板仕分け装置及び基板仕分け方法を提供することができるものである。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明に係るに基板仕分け装置の構成を示す平面図である。
本発明に係るに基板仕分け装置は、図1に示すように、水平に重ねられた状態でカセットC1,C2に収納されて少なくとも一つの搬入ポートから搬入される複数種類の複数の基板101を、種類毎に仕分けて各種類に対応された複数の仕分けポートに搬送し、各仕分けポートに設置されたカセットC3〜C11に搬出する装置である。また、本発明に係るに基板仕分け方法は、本発明に係る基板仕分け装置を使用することによって実行される。
図1に示す基板仕分け装置においては、搬入ポートは2箇所となっており、これら搬入ポートに、複数の基板101を収納したカセットC1,C2が設置される。また、仕分けポートは9箇所となっており、これら仕分けポートに、仕分けされた基板101を収納するカセットC3〜C11が設置される。
この基板仕分け装置の搬入ポートには、カセットC1,C2に収納された基板101を一時的に保持する搬入側バッファ装置B1,B2が設置されている。また、仕分けポートには、カセットC3〜C11に収納する基板101を一時的に保持する搬出側バッファ装置B3〜B11が設置されている。
この基板仕分け装置は、搬入側バッファ装置B1,B2に保持された基板101を一枚ずつ仕分けポートのいずれかに搬送する搬送装置1を備えている。この搬送装置1は、図示しない制御装置によって制御されるベルトコンベア装置等であって、基板101を、その種類(品種)や検査結果に応じて、所定の仕分けポートの搬出側バッファ装置B3〜B11まで搬送する。
そして、この基板仕分け装置においては、搬入側バッファ装置B1,B2及び搬出側バッファ装置B3〜B11のうちの少なくとも1台は、ランダムアクセスバッファ装置となっている。図1に示す基板仕分け装置においては、搬出側バッファ装置のうちの1台の搬出側バッファ装置B11がランダムアクセスバッファ装置となっている。
図2は、本発明に係るに基板仕分け装置を構成するランダムアクセスバッファ装置の構成を示す斜視図である。
ランダムアクセスバッファ装置は、図2に示すように、基板101を保持する複数の保持部11の両側側に昇降可能な基板支持機構12を備えており、この基板支持機構12により、複数の保持部11のうちの任意の保持部11への基板101の挿入が可能であって、かつ、保持している複数の基板101のうちの任意の基板の取り出しが可能に構成されている。基板支持機構12は、制御装置によって制御される。
なお、このランダムアクセスバッファ装置の構成については、本願出願人が先に提案した特開2005−170675公報及び特開2005−175429公報に記載されている。
図3は、本発明に係るに基板仕分け装置を構成するインラインバッファ装置の構成を示す斜視図である。
ランダムアクセスバッファ装置ではないバッファ装置B1〜B10は、図3に示すように、インラインバッファ装置となっている。このインラインバッファ装置は、基板101を保持する複数の保持部11の下方に昇降可能な基板支持機構13を備えており、この基板支持機構13により、複数の保持部11に対して上方より順に基板101の挿入が可能であって、また、保持している複数の基板101を下方より順に取り出すことが可能に構成されている。基板支持機構13は、制御装置によって制御される。このインラインバッファ装置においては、基板101の挿入順序及び取り出し順序を変えることはできない。
図4は、本発明に係るに基板仕分け装置におけるランダムアクセスバッファ装置の使用状況を示す正面図である。
この基板仕分け装置においては、図4に示すように、ランダムアクセスバッファ装置B11には、複数の種類の基板101a,101b,101c,101dを、種類毎にまとまった位置に収納することができる。これら複数の種類の基板101a,101b,101c,101dは、ランダムな順序で搬送されてくるが、その種類に応じた所定の保持部11に挿入することにより、各基板101a,101b,101c,101dを種類毎にまとまった位置とすることができる。
このようにランダムアクセスバッファ装置B11内で仕分けされた基板101a,101b,101c,101dは、仕分けポートのカセットC11を順次交換しながら、このカセットC11内に種類毎に搬出することによって、種類毎に異なるカセットC11に収納される。すなわち、この基板仕分け装置においては、ランダムアクセスバッファ装置B11には、複数種類の基板101を保持させ、種類毎に異なるカセットC11に搬出する。
このようなランダムアクセスバッファ装置B11は、他の種類に比較して枚数の少ない種類(ロット)の基板101の搬送先とするに適している。この基板仕分け装置においては、仕分けポートの数よりも多くの種類の基板101の仕分けを行うことができる。
図5は、本発明に係るに基板仕分け装置の動作を示すフローチャートである。
この基板仕分け装置においては、図5に示すように、ステップst1で、複数の基板101を収納したカセットC1,C2により基板101が搬入ポートに搬入されると、ステップst2において、制御装置は、各仕分けポートへ搬送すべき基板101の種類を割付ける。そして、ステップst3において、カセットC1,C2内の基板101を全て搬入側バッファ装置B1,B2に移動させる。
次に、制御装置は、ステップst4において、次に搬送する基板101の搬送先を検索し、決定する。ステップst5において、搬入側バッファ装置B1,B2から、搬送する1枚の基板101を搬送装置1上に移動させる。ステップst6では、基板101のIDを読込み、ステップst7において、搬送先となる搬出側バッファ装置B3〜B11のいずれかに基板101を搬送する。
このとき、ステップst8に進み、インラインバッファ装置である搬出側バッファ装置B3〜B10が、カセットC3〜C10への基板101の搬出中であるか否かを判別し、搬出中であれば、ランダムアクセスバッファ装置である搬出側バッファ装置B11に基板101を搬送してステップst10に進み、搬出中でなければ、ステップst9に進む。
ステップst9では、インラインバッファ装置である搬出側バッファ装置B3〜B10への基板101の搬送を優先して行い、ステップst10に進む。
ステップst10では、搬出側バッファ装置B3〜B11のいずれかが基板101によって満杯となっているか否かを判別し、満杯となっていればステップst11に進み、満杯となっていなければステップst5に戻る。このようにして、いずれかの搬出側バッファ装置B3〜B11が満杯となるまで、基板101の搬送が行われる。
そして、いずれかの搬出側バッファ装置B3〜B11が満杯となったときには、ステップst11において、搬出側バッファ装置内の基板101の全てを仕分けポートのカセットC3〜C11に搬出する。次に、ステップst12において、カセットC3〜C11を搬出して、ステップst1に戻る。
図6は、本発明に係るに基板仕分け装置の構成の他の例を示す平面図である。
本発明に係るに基板仕分け装置は、図6に示すように、搬入側バッファ装置B1,B2の少なくとも一つをランダムアクセスバッファ装置として構成してもよい。この場合には、搬出側バッファ装置B3〜B11は、全てをインラインバッファ装置としてもよいし、いずれかをランダムアクセスバッファ装置としてもよい。
この基板仕分け装置を用いると、複数の保持部11の全てにおいて基板101を保持している搬出側バッファ装置B3〜B11(満杯となっている搬出側バッファ装置)へ搬送されるべき基板101を避けて、複数の保持部11のいずれかが空いている他の搬出側バッファ装置B3〜B11へ搬送されるべき基板101を優先して搬送することができる。したがって、この基板仕分け装置においては、ある搬出側バッファ装置B3〜B11が満杯になったときにも、搬入ポートからの基板101の流れを停止させる必要がなく、迅速な仕分けを行うことができる。
図7は、本発明に係るに基板仕分け装置の他の構成例における動作を示すフローチャートである。
すなわち、この基板仕分け装置においては、図7に示すように、ステップst21で、複数の基板101を収納したカセットC1,C2により基板101が搬入ポートに搬入されると、ステップst22において、制御装置は、各仕分けポートへ搬送すべき基板101の種類を割付ける。そして、ステップst23において、カセットC1,C2内の基板101を全て搬入側バッファ装置B1,B2に移動させる。
次に、制御装置は、ステップst24において、次に搬送する基板101の搬送先を検索し、決定する。
そして、ステップst25に進み、搬出側バッファ装置B3〜B11が、カセットC3〜C11への基板101の搬出中であるか否かを判別し、搬出中であれば、ステップst24に戻り、搬出中でなければ、ステップst26に進む。ここで、ステップst24に戻った場合には、基板101の搬送先として、基板101の搬出中ではない搬出側バッファ装置B3〜B11を再検索し、決定する。
ステップst26においては、搬入側バッファ装置B1,B2から、搬送する1枚の基板101を搬送装置1上に移動させる。ステップst27では、基板101のIDを読込み、ステップst28において、搬送先となる搬出側バッファ装置B3〜B11のいずれかに基板101を搬送する。
ステップst29では、搬出側バッファ装置B3〜B11のいずれかが基板101によって満杯となっているか否かを判別し、満杯となっていればステップst30に進み、満杯となっていなければステップst26に戻る。このようにして、いずれかの搬出側バッファ装置B3〜B11が満杯となるまで、基板101の搬送が行われる。
そして、いずれかの搬出側バッファ装置B3〜B11が満杯となったときには、ステップst30において、搬出側バッファ装置内の基板101の全てを仕分けポートのカセットC3〜C11に搬出する。次に、ステップst31において、カセットC3〜C11を搬出して、ステップst21に戻る。
本発明に係る基板仕分け装置は、例えば、LCD(液晶)や半導体工場などのクリーンルーム内に設置されて使用される。
1 搬送装置
101 基板
B1,B2 搬入側バッファ装置
B3〜B11 搬出側バッファ装置
C1,C2 カセット
C3〜C11 カセット
101 基板
B1,B2 搬入側バッファ装置
B3〜B11 搬出側バッファ装置
C1,C2 カセット
C3〜C11 カセット
Claims (3)
- 水平に重ねられた状態でカセットに収納されて少なくとも一つの搬入ポートから搬入される複数種類の複数の基板を、種類毎に仕分けて、各種類に対応された複数の仕分けポートに搬送し、各仕分けポートに設置されたカセットに搬出する基板仕分け装置であって、
前記搬入ポートに設置され、前記カセットに収納された基板を一時的に保持する搬入側バッファ装置と、
前記搬入側バッファ装置に保持された基板を一枚ずつ前記仕分けポートのいずれかに搬送する搬送装置と、
前記各仕分けポートに設置され、前記搬送装置により搬送された基板を一時的に保持する搬出側バッファ装置と
を備え、
前記搬入側バッファ装置及び前記搬出側バッファ装置のうちの少なくとも1台は、基板を保持する複数の保持部のうちの任意の保持部への基板の挿入が可能であって、かつ、保持している複数の基板のうちの任意の基板の取り出しが可能であるランダムアクセスバッファ装置である
ことを特徴とする基板仕分け装置。 - 前記搬出側バッファ装置の少なくとも一つが前記ランダムアクセスバッファ装置である請求項1記載の基板仕分け装置を用いて、
前記ランダムアクセスバッファ装置には、複数種類の基板を保持させ、種類毎に異なるカセットに搬出する
ことを特徴とする基板仕分け方法。 - 前記搬入側バッファ装置の少なくとも一つが前記ランダムアクセスバッファ装置である請求項1記載の基板仕分け装置を用いて、
前記複数の保持部の全てにおいて基板を保持している搬出側バッファ装置へ搬送されるべき基板を避けて、前記複数の保持部のいずれかが空いている他の搬出側バッファ装置へ搬送されるべき基板を優先して搬送する
ことを特徴とする基板仕分け方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009059864A JP5115501B2 (ja) | 2009-03-12 | 2009-03-12 | 基板仕分け装置及び基板仕分け方法 |
TW99106771A TWI401198B (zh) | 2009-03-12 | 2010-03-09 | Substrate classification method |
CN2010101362069A CN101840845B (zh) | 2009-03-12 | 2010-03-11 | 基板分类方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009059864A JP5115501B2 (ja) | 2009-03-12 | 2009-03-12 | 基板仕分け装置及び基板仕分け方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010208843A JP2010208843A (ja) | 2010-09-24 |
JP5115501B2 true JP5115501B2 (ja) | 2013-01-09 |
Family
ID=42744146
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009059864A Expired - Fee Related JP5115501B2 (ja) | 2009-03-12 | 2009-03-12 | 基板仕分け装置及び基板仕分け方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5115501B2 (ja) |
CN (1) | CN101840845B (ja) |
TW (1) | TWI401198B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9545724B2 (en) * | 2013-03-14 | 2017-01-17 | Brooks Automation, Inc. | Tray engine with slide attached to an end effector base |
JP7191472B2 (ja) * | 2019-01-25 | 2022-12-19 | 株式会社ディスコ | 加工装置の使用方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03238204A (ja) * | 1990-02-14 | 1991-10-24 | Murata Mach Ltd | 収納・搬送システム |
JP2511166B2 (ja) * | 1990-03-20 | 1996-06-26 | 富士通株式会社 | 搬送システム |
JP2786819B2 (ja) * | 1994-08-03 | 1998-08-13 | 株式会社イトーキクレビオ | ホルダ用自動格納装置の制御方法 |
JP3185595B2 (ja) * | 1995-04-03 | 2001-07-11 | 株式会社ダイフク | 基板仕分け装置を備えた荷保管設備 |
JP3523014B2 (ja) * | 1997-05-08 | 2004-04-26 | 平田機工株式会社 | 環状部材の搬送装置 |
JP2000085927A (ja) * | 1998-09-17 | 2000-03-28 | Pfu Ltd | 出荷確認システム |
DE19921243C2 (de) * | 1999-05-07 | 2002-12-05 | Infineon Technologies Ag | Anlage zur Bearbeitung von Wafern |
DE19922936B4 (de) * | 1999-05-19 | 2004-04-29 | Infineon Technologies Ag | Anlage zur Bearbeitung von Wafern |
AR027340A1 (es) * | 2000-02-01 | 2003-03-26 | Johnson & Johnson Vision Care | Aparato para manipular productos y método realizado por un sistema de procesamiento por computadora para manipular productos. |
JP2003054711A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-26 | Murata Mach Ltd | 物品収納装置 |
JP4461960B2 (ja) * | 2003-11-21 | 2010-05-12 | 株式会社Ihi | 基板保管搬送装置、基板搬入システム、基板搬出システム及び基板搬入/搬出システム |
JP4371009B2 (ja) * | 2003-11-21 | 2009-11-25 | 株式会社Ihi | 基板搬送装置、基板保管搬送装置、基板搬入システム、基板搬出システム及び基板搬入/搬出システム |
WO2008038393A1 (fr) * | 2006-09-28 | 2008-04-03 | Hirata Corporation | Entrepôt automatisé |
JP4992906B2 (ja) * | 2006-10-03 | 2012-08-08 | 株式会社Ihi | 基板搬送システム |
JP2008204996A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Toppan Printing Co Ltd | バッファ装置 |
-
2009
- 2009-03-12 JP JP2009059864A patent/JP5115501B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-03-09 TW TW99106771A patent/TWI401198B/zh not_active IP Right Cessation
- 2010-03-11 CN CN2010101362069A patent/CN101840845B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI401198B (zh) | 2013-07-11 |
CN101840845B (zh) | 2012-06-20 |
JP2010208843A (ja) | 2010-09-24 |
CN101840845A (zh) | 2010-09-22 |
TW201033095A (en) | 2010-09-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7778721B2 (en) | Small lot size lithography bays | |
US6351686B1 (en) | Semiconductor device manufacturing apparatus and control method thereof | |
US7221993B2 (en) | Systems and methods for transferring small lot size substrate carriers between processing tools | |
JP4170864B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理装置における基板搬送方法および基板処理方法 | |
US6643558B2 (en) | Installation for processing wafers | |
US8251635B2 (en) | Apparatus and method for supplying articles to processing tool | |
US6398476B1 (en) | Automatic storage unit and automatic storing method | |
JP2013038126A (ja) | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 | |
JP5115501B2 (ja) | 基板仕分け装置及び基板仕分け方法 | |
US6623231B2 (en) | Plant for producing semiconductor products | |
JP5183861B2 (ja) | 小ロットサイズ基板キャリアを使用する方法および半導体デバイス製造施設 | |
JPH0278243A (ja) | ウェーハの連続処理装置及び連続処理方法 | |
KR100592131B1 (ko) | 제조 대상물의 반송 장치 및 제조 대상물의 반송 방법 | |
TWI520252B (zh) | Substrate discrimination device | |
JP2011020790A (ja) | 仕分け装置及び仕分け装置制御方法 | |
US6809510B2 (en) | Configuration in which wafers are individually supplied to fabrication units and measuring units located in a fabrication cell | |
WO2022125196A1 (en) | Method and apparatus for continuous substrate cassette loading | |
JP4989250B2 (ja) | 基板生産方法および電子部品実装装置 | |
JP4184018B2 (ja) | 半導体製造装置、半導体製造システムおよび半導体製造方法 | |
JP2004319889A (ja) | 製造対象物の受け渡し装置および製造対象物の受け渡し方法 | |
JP5231666B2 (ja) | 基板生産方法および電子部品実装装置 | |
JPH11330221A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2006228886A (ja) | 基板の製造ライン | |
TWI401766B (zh) | 試驗處理機及其零件移送方法 | |
KR20080023588A (ko) | 기판 세정 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120918 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121001 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151026 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |