JP5106278B2 - 基板洗浄装置および基板洗浄方法、ならびに記憶媒体 - Google Patents
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Description
また、そのような方法を実施するためのプログラムを記憶した記憶媒体を提供することを目的とする。
2;チャンバ
3;スピンチャック
4;モーター
5;カップ
6;排気・排液管
7;搬入出口
10;洗浄液供給機構
11a;表面側洗浄液ノズル
11b;裏面側洗浄液ノズル
12;洗浄液供給源
20;洗浄機構
21、21′、21″;ブラシ
21a;小径部
21b;大径部
21c;接合部
21d;第1の洗浄部
21e;切り込み
21f;第2の洗浄部
22;回転支持部材
25;回動アーム
26;シャフト部
27;回動・昇降部
30;制御部
61;コントローラ
62;ユーザーインターフェース
63;記憶部
W;半導体ウエハ(基板)
Claims (8)
- 基板の端面を含む周縁部をブラシ洗浄する基板洗浄装置であって、
基板を回転可能に保持する基板保持機構と、
前記基板保持機構に保持されている基板を回転する基板回転機構と、
前記基板保持機構に保持されている基板に洗浄液を供給する洗浄液供給機構と、
基板の端面を含む周縁部を洗浄するブラシを有する洗浄機構と
を具備し、
前記ブラシは洗浄機能が異なる複数の洗浄部を有し、基板の付着物の付着状況に応じて適切な洗浄部を選択し、その洗浄部にて基板の端面を含む周縁部を洗浄し、
前記ブラシは、円筒状の小径部と前記小径部に連続する円筒状の大径部とを有し、前記小径部と前記大径部との接合部である第1の洗浄部と、前記大径部の周面に形成された切り込みからなる第2の洗浄部とを有し、
前記第1の洗浄部では、前記小径部の周面が基板の端面に当接するとともに、前記大径部の前記小径部との接続面が基板の裏面または表面の周縁部に接触し、基板の端面と、基板の裏面または表面の周縁部とを洗浄し、
前記第2の洗浄部を構成する前記切り込みは、洗浄すべき基板の周縁部の形状に応じた形状を有し、前記第2の洗浄部では、前記切り込みへ基板の周縁部を挿入した状態で基板の端面と、基板の裏面および表面の周縁部とを洗浄することを特徴とする基板洗浄装置。 - 基板の付着物の付着状況に応じて適切な洗浄部を選択し、選択された洗浄部で基板の周縁部を洗浄するように前記ブラシの位置を制御する制御機構をさらに具備することを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄装置。
- 前記ブラシはスポンジ状の樹脂からなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の基板洗浄装置。
- 前記洗浄機構は、前記ブラシを回転させるブラシ回転機構と、前記ブラシを基板に対して接離させる接離機構とを有し、前記ブラシ回転機構により回転された前記ブラシを、前記接離機構により前記基板回転機構により回転されている基板に接触させて、その状態で基板の端面を含む周縁部を洗浄することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。
- 基板の端面を含む周縁部をブラシ洗浄する基板洗浄方法であって、
洗浄機能が異なる複数の洗浄部を有するブラシを用い、基板の付着物の付着状況に応じて適切な洗浄部を選択し、その洗浄部にて基板の前記洗浄部位を洗浄し、
前記ブラシは、円筒状の小径部と前記小径部に連続する円筒状の大径部とを有し、前記小径部と前記大径部との接合部である第1の洗浄部と、前記大径部の周面に形成された切り込みからなる第2の洗浄部とを有し、
前記第1の洗浄部では、前記小径部の周面が基板の端面に当接するとともに、前記大径部の前記小径部との接続面が基板の裏面または表面の周縁部に接触し、基板の端面と、基板の裏面または表面の周縁部とを洗浄し、
前記第2の洗浄部を構成する前記切り込みは、洗浄すべき基板の周縁部の形状に応じた形状を有し、前記第2の洗浄部では、前記切り込みへ基板の周縁部を挿入した状態で基板の端面と、基板の裏面および表面の周縁部とを洗浄することを特徴とする基板洗浄方法。 - 前記ブラシはスポンジ状の樹脂からなることを特徴とする請求項5に記載の基板洗浄方法。
- 前記ブラシを回転させつつ、当該ブラシを回転されている基板の端面を含む周縁部に接触させて洗浄することを特徴とする請求項5または請求項6に記載の基板洗浄方法。
- コンピュータ上で動作し、基板洗浄装置を制御するプログラムが記憶された記憶媒体であって、前記プログラムは、実行時に、請求項5から請求項7のいずれかの基板洗浄方法が行われるようにコンピュータに前記基板洗浄装置を制御させることを特徴とする記憶媒体。
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JP2008174367A JP5106278B2 (ja) | 2008-07-03 | 2008-07-03 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法、ならびに記憶媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2008174367A JP5106278B2 (ja) | 2008-07-03 | 2008-07-03 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法、ならびに記憶媒体 |
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JP2010016156A JP2010016156A (ja) | 2010-01-21 |
JP5106278B2 true JP5106278B2 (ja) | 2012-12-26 |
Family
ID=41701996
Family Applications (1)
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JP4486003B2 (ja) * | 2005-07-07 | 2010-06-23 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板洗浄ブラシ、ならびにこれを用いた基板処理装置および基板処理方法 |
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- 2008-07-03 JP JP2008174367A patent/JP5106278B2/ja active Active
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