JP5100751B2 - プローブおよびプローブカード - Google Patents
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
10…テストヘッド
20…インタフェース部
30…プローブカード
31…プローブ基板
40…プローブ
41…台座部
42…梁部
422…後端領域
43A〜43C…溝
44…配線部
45…接点部
100…被試験半導体ウェハ
110…入出力端子
Claims (6)
- 被試験電子部品のテストに際して前記被試験電子部品と試験装置との間の電気的な接続を確立するために、前記被試験電子部品の入出力端子に接触するプローブであって、
前記被試験電子部品の入出力端子に電気的に接続される導電部と、
前記導電部が一方の主面に設けられた複数の梁部と、
前記複数の梁部をまとめて片持ち支持している台座部と、を備え、
前記各梁部は、当該梁部の後端領域で前記台座部に支持されており、
前記後端領域において、隣接する前記梁部同士の間に溝が設けられており、
前記溝は、先端側に向かって開口していると共に、前記後端領域における最先端と最後端との間に終端面を有していることを特徴とするプローブ。 - 前記溝の終端面と前記後端領域の最後端との間において、隣接する前記梁部同士が平面を介してつながっていることを特徴とする請求項1記載のプローブ。
- 前記溝における前記終端面と側面との間のコーナ部分は、テーパ状又は曲面状に形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載のプローブ。
- 前記導電部は、
前記各梁部の前記一方の主面に長手方向に沿って設けられた配線部と、
前記配線部の先端に設けられ、前記被試験電子部品の前記入出力端子に接触する接点部と、を有していることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のプローブ。 - 前記溝の終端面と前記後端領域の最後端との間において、隣接する前記梁部同士が平面を介してつながっており、
隣接する前記配線部同士の間のピッチは、前記平面上において広がっていることを特徴とする請求項4記載のプローブ。 - 請求項1〜5の何れかに記載のプローブと、
前記プローブが有する前記台座部が固定される基板と、を備えたことを特徴とするプローブカード。
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