JP5100241B2 - 研磨パッド及びその製造方法 - Google Patents
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1)イソシアネート末端プレポリマーの気泡分散液を作製する発泡工程
イソシアネート末端プレポリマー(第1成分)にシリコン系界面活性剤を添加し、非反応性気体の存在下で撹拌し、非反応性気体を微細気泡として分散させて気泡分散液とする。前記プレポリマーが常温で固体の場合には適宜の温度に予熱し、溶融して使用する。
2)硬化剤(鎖延長剤)混合工程
上記の気泡分散液に鎖延長剤(第2成分)を添加、混合、撹拌して発泡反応液とする。
3)注型工程
上記の発泡反応液を長尺モールドに流し込む。
4)硬化工程
長尺モールドに流し込まれた発泡反応液を加熱し、反応硬化させる。
(平均気泡径)
作製した研磨層及びクッション層を厚み1mm以下になるべく薄くミクロトームカッターで平行に切り出したものを平均気泡径測定用試料とした。試料をスライドガラス上に固定し、SEM(S−3500N、日立サイエンスシステムズ(株))を用いて100倍で観察した。得られた画像を画像解析ソフト(WinRoof、三谷商事(株))を用いて、任意範囲の全気泡径を測定し、平均気泡径を算出した。
JIS Z8807−1976に準拠して行った。作製した研磨層及びクッション層を4cm×8.5cmの短冊状(厚み:任意)に切り出したものを比重測定用試料とし、温度23℃±2℃、湿度50%±5%の環境で16時間静置した。測定には比重計(ザルトリウス社製)を用い、比重を測定した。
JIS K6253−1997に準拠して行った。作製した研磨層を2cm×2cm(厚み:任意)の大きさに切り出したものを硬度測定用試料とし、温度23℃±2℃、湿度50%±5%の環境で16時間静置した。測定時には、試料を重ね合わせ、厚み6mm以上とした。硬度計(高分子計器社製、アスカーD型硬度計)を用い、硬度を測定した。
JIS K−7312に準拠して行った。作製したクッション層を5cm×5cm(厚み:任意)の大きさに切り出したものをサンプルとし、温度23℃±2℃、湿度50%±5%の環境で16時間静置した。測定時には、サンプルを重ね合わせ、厚み10mm以上とした。硬度計(高分子計器社製、アスカーC型硬度計、加圧面高さ:3mm)を用い、加圧面を接触させてから60秒後の硬度を測定した。
(研磨層の作製)
トルエンジイソシアネート(2,4−体/2,6−体=80/20の混合物)32重量部、4,4’−ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート8重量部、ポリテトラメチレングリコール(数平均分子量:1006)54重量部、及びジエチレングリコール6重量部を混合し、80℃で120分間加熱撹拌してイソシアネート末端プレポリマー(イソシアネート当量:2.1meq/g)を作製した。該イソシアネート末端プレポリマー100重量部、シリコン系界面活性剤(東レダウコーニングシリコーン社製、SH−192)3重量部を混合して80℃に温度調節した混合物を調製した。該混合物80重量部、及び120℃で溶融した4,4’−メチレンビス(o−クロロアニリン)(イハラケミカル社製、イハラキュアミンMT)20重量部を混合チャンバー内で混合し、同時に空気を混合物中に機械的に撹拌することにより分散させて気泡分散ウレタン組成物Aを調製した。
容器にPOP36/28(三井化学株式会社製、ポリマーポリオール、水酸基価:28mgKOH/g)50重量部、PCL210(ダイセル化学工業株式会社製、ポリエステルポリオール、水酸基価:112mgKOH/g)25重量部、ジエチレングリコール5重量部、PCL312(ダイセル化学工業株式会社製、ポリエステルポリオール、水酸基価:134mgKOH/g)20重量部、シリコン系界面活性剤(ゴールドシュミット社製、B−8443)6重量部、及び触媒(No.25、花王製)0.25重量部を入れて混合し40℃に温度調節した混合物を調製した。該混合物106重量部、及びミリオネートMTL(日本ポリウレタン工業製)35.2重量部を混合チャンバー内で混合し、同時に空気を混合物中に機械的に撹拌することにより分散させて気泡分散ウレタン組成物Bを調製した。
2:研磨定盤
3:研磨剤(スラリー)
4:被研磨材(半導体ウエハ)
5:支持台(ポリシングヘッド)
6、7:回転軸
8:供給ロール
9:研磨層
10:非可動式定板
11:気泡分散ウレタン組成物
12:ミキシングヘッド
13:粘着シート
14:ブレード
15:加熱オーブン
Claims (5)
- 研磨層を送り出しつつその上に機械発泡法により調製した気泡分散ウレタン組成物を連続的に吐出する工程、前記気泡分散ウレタン組成物上に、樹脂シートの片面に粘着層を有する粘着シートを気泡分散ウレタン組成物と樹脂シートが接触するように積層する工程、及び厚さを均一に調整しつつ気泡分散ウレタン組成物を硬化させることにより熱硬化性ポリウレタン発泡体からなるクッション層を形成する工程を含む研磨パッドの製造方法。
- 前記気泡分散ウレタン組成物は、イソシアネート成分、高分子量ポリオールを含む活性水素含有化合物、及びシリコン系界面活性剤を含み、前記高分子量ポリオールの水酸基価は、20〜200mgKOH/gである請求項1記載の研磨パッドの製造方法。
- 前記気泡分散ウレタン組成物は、イソシアネート成分、高分子量ポリオールを含む活性水素含有化合物、及びシリコン系界面活性剤を含み、前記高分子量ポリオールは、アクリロニトリル及び/又はスチレン−アクリロニトリル共重合体からなるポリマー粒子を分散させたポリマーポリオールを20〜100重量%含有する請求項1記載の研磨パッドの製造方法。
- 前記活性水素含有化合物は、低分子量ポリオール、低分子量ポリアミン、及びアルコールアミンの少なくとも1種を合計で2〜15重量%含有する請求項2又は3記載の研磨パッドの製造方法。
- 前記クッション層は、平均気泡径30〜200μm、かつアスカーC硬度10〜80度の連続気泡構造を有する熱硬化性ポリウレタン発泡体からなる請求項1〜4のいずれかに記載の研磨パッドの製造方法。
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