JP5096912B2 - 運動センサー、運動センサージャイロスコープ、運動センサーレートジャイロスコープ、回転レートジャイロスコープ - Google Patents
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Description
mは運動する物体の質量、vは運動する物体の速度ベクトル、そしてωは系の回転の角速度である。
(数2)Vyaw=V(YWP)−V(YWM)
所望の及び誤差成分を表すヨー信号は、次式の通り、理論的に決定される。
(数3)VyawNOM=InphYaw*SIN(2π*Fvib*t)−CrossYaw*RatePitch*C0S(2π*Fvib*t)−(RateYaw+MROyaw)*YSF*C0S(2π*Fvib*t)
上式のSIN項は、駆動振動運動のトランスデューサーのずれから生じる望ましくない誤差成分である同位相信号(AGC信号に対して)である。InphYawは、この同位相のヨー信号の振幅として決定される。この誤差は、YINPH DAC 1410により提供される等しく且つ相対する信号を、検知されたヨー信号(YWP−YWM)に加算器14110において加算することにより除去される。YINPH DAC 1410は、AGC信号(AGP−AGM)を有するその出力を調整する。AGC信号(AGP−AGM)は、YINPH較正係数により増大される。デジタル化の前に検知信号を補正することにより、及びアナログAGC信号を直接利用し振動運動と検知運動の間の位相関係を維持することにより、同位相の誤差成分は、有意に低減される。
Claims (9)
- 宙吊り部材を有する部品であって、該宙吊り部材は、該部品及び該部品に取り付けられた構成要素に結合されることによる不要な振動を防ぎ、該部品に取り付けられた少なくとも1つの構成要素と該部品に取り付けられない外部制御部との間でデジタル信号を渡す、部品、
前記部品に取り付けられた振動部材、
前記部品に取り付けられ、前記振動部材を駆動する駆動装置、
前記部品に取り付けられ、前記振動部材の運動を前記部品の回転に応じて検出し、前記部品の回転に応じて第1のアナログ信号と第2のアナログ信号とを出力するセンサーであって、前記第1のアナログ信号は前記センサーのヨー運動を表し、かつ前記第2のアナログ信号は前記センサーのピッチ運動を表す、センサー、及び
前記部品に取り付けられ、前記センサーと前記宙吊り部材とに結合され、前記駆動装置に駆動信号を印加し、前記センサーから前記アナログ信号を受信し、前記宙吊り部材の少なくとも1つを通じて前記部品の回転を表すデジタルデータを前記外部制御部へ伝達するデジタル電子機器、
を有し、
前記第1のアナログ信号と前記第2のアナログ信号とは、拡大縮小された信号と加算されることで、前記デジタル電子機器での誤差を取り除き、
前記拡大縮小された信号は、拡大縮小された第1のアナログ信号、拡大縮小された第2のアナログ信号、及び拡大縮小された駆動信号のうちの少なくとも1つを表す、
運動センサー。 - 前記1つの宙吊り部材は、導電性弾性体である、
ことを特徴とする請求項1記載の運動センサー。 - 前記デジタルデータは、デジタル通信プロトコルを用いシリアルに通信される、
ことを特徴とする請求項2記載の運動センサー。 - 前記デジタル電子機器は、ASICのプロセス変動、直流オフセット誤差、正弦波誤差、寄生直角位相誤差、及び交差軸誤差のうちの少なくとも1つを除去するための較正値を格納し、及び前記較正値に応じて前記デジタルデータを較正する、
ことを特徴とする請求項1記載の運動センサー。 - 前記較正値は、前記デジタル電子機器の外部で生成され、及び前記デジタル電子機器へデジタル処理で少なくとも1つの前記宙吊り部材を介して伝達される、
ことを特徴とする請求項4記載の運動センサー。 - 前記較正値は、前記デジタル電子機器により得られる、
ことを特徴とする請求項4記載の運動センサー。 - 前記デジタル電子機器は、前記振動部材の振動の振幅を制御する少なくとも1つの前記宙吊り部材を介して伝達されたデジタル値を格納する、
ことを特徴とする請求項1記載の運動センサー。 - 前記デジタル電子機器は、前記駆動装置の起動時の周波数を制御する少なくとも1つの前記宙吊り部材を介して伝達されたデジタル値を格納する、
ことを特徴とする請求項1記載の運動センサー。 - 前記デジタル電子機器は、前記較正係数を決定する自動補正ループを有し、
前記デジタル電子機器は、起動時の前記較正係数のシードである少なくとも1つの宙吊り部材を介して伝達された起動時のデジタル値を更に格納する、
ことを特徴とする請求項6記載の運動センサー。
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---|---|---|---|---|
EP1639315B1 (de) * | 2003-06-30 | 2009-11-25 | Continental Automotive GmbH | Verfahren zur überwachung eines drehratensensors |
US7464590B1 (en) * | 2004-03-12 | 2008-12-16 | Thomson Licensing | Digitally programmable bandwidth for vibratory rate gyroscope |
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FR2920224B1 (fr) * | 2007-08-23 | 2009-10-02 | Sagem Defense Securite | Procede de determination d'une vitesse de rotation d'un capteur vibrant axisymetrique, et dispositif inertiel mettant en oeuvre le procede |
FR2925669B1 (fr) * | 2007-12-21 | 2010-01-15 | Sagem Defense Securite | Mesure par systeme gyroscopique |
JP4851555B2 (ja) | 2008-05-13 | 2012-01-11 | 株式会社デンソー | 力学量センサおよびその製造方法 |
FR2937414B1 (fr) * | 2008-10-20 | 2010-11-26 | Sagem Defense Securite | Mesure gyroscopique par un gyroscope vibrant |
FR2939192B1 (fr) * | 2008-11-28 | 2010-12-10 | Sagem Defense Securite | Calibrage de systemes gyroscopiques a gyroscopes vibrants |
JP5370064B2 (ja) * | 2009-10-13 | 2013-12-18 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ |
CN102472623B (zh) * | 2009-07-22 | 2015-07-15 | 松下电器产业株式会社 | 角速度传感器 |
US10479531B2 (en) * | 2010-08-24 | 2019-11-19 | Honeywell International Inc. | Shell rotor assembly for use in a control moment gyroscope and method of making the same |
CN103115618B (zh) * | 2011-11-17 | 2015-07-08 | 西安邮电学院 | 一种基于振动式微机械陀螺的正交误差和寄生科氏力的分离测试方法 |
US9200973B2 (en) | 2012-06-28 | 2015-12-01 | Intel Corporation | Semiconductor package with air pressure sensor |
US20140026658A1 (en) * | 2012-07-27 | 2014-01-30 | Biao Zhang | Mems device and a method of using the same |
US9429427B2 (en) * | 2012-12-19 | 2016-08-30 | Intel Corporation | Inductive inertial sensor architecture and fabrication in packaging build-up layers |
FR3000194B1 (fr) | 2012-12-24 | 2015-03-13 | Commissariat Energie Atomique | Gyroscope a calibration simplifiee et procede de calibration simplifie d'un gyroscope |
US9575089B1 (en) * | 2013-01-08 | 2017-02-21 | Maxim Integrated Products, Inc. | Adaptive phase delay adjustment for MEMS sensors |
CN103148847B (zh) * | 2013-03-06 | 2015-07-22 | 莫冰 | 一种基于作差消除微机械陀螺同相误差***及方法 |
DE202013011690U1 (de) * | 2013-04-05 | 2014-02-26 | Isabellenhütte Heusler Gmbh & Co. Kg | Messwiderstand |
KR101462772B1 (ko) * | 2013-04-12 | 2014-11-20 | 삼성전기주식회사 | 직각 위상 에러 제거수단을 갖는 자가발진 회로 및 그를 이용한 직각 위상 에러 제거방법 |
US9410806B2 (en) * | 2013-08-26 | 2016-08-09 | Robert Bosch Gmbh | System and method for gyroscope zero-rate-offset drift reduction through demodulation phase error correction |
US9273749B2 (en) | 2014-03-28 | 2016-03-01 | Honeywell International Inc. | Low profile three parameter isolators and isolation systems employing the same |
CN103983260B (zh) * | 2014-05-06 | 2018-01-16 | 华侨大学 | 一种静电驱动电容式微机械陀螺仪有效抑制正交误差的方法 |
GB2534562B (en) * | 2015-01-26 | 2017-11-29 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Gyroscope loop filter |
US9756751B1 (en) | 2015-03-05 | 2017-09-05 | Lockheed Martin Corporation | Tunable vibration isolation system with integrated A-frame architecture for low phase noise radio frequency synthesizers |
GB2547415A (en) * | 2016-02-09 | 2017-08-23 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Inertial sensors |
CN108007473A (zh) * | 2016-10-28 | 2018-05-08 | 敦宏科技股份有限公司 | 应用于微机电***的电子电路 |
CN107063309B (zh) * | 2017-05-08 | 2020-02-18 | 中国船舶重工集团公司第七〇七研究所 | 一种旋转式捷联惯导陀螺标度误差补偿方法 |
JP6801684B2 (ja) * | 2018-03-29 | 2020-12-16 | 株式会社デンソー | 振動型ジャイロスコープ |
JP7024566B2 (ja) * | 2018-04-06 | 2022-02-24 | 株式会社デンソー | 振動型ジャイロスコープ |
GB2580116B (en) * | 2018-12-21 | 2023-07-19 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Gyroscope |
DE102019211578A1 (de) * | 2019-08-01 | 2021-02-04 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Selbstkalibrierung eines Drehratensensors und Drehratensensor |
CN110501028A (zh) * | 2019-09-16 | 2019-11-26 | 哈尔滨工程大学 | 一种用于双轴旋转mems-sins的十六位置旋转调制方法 |
CN110779509B (zh) * | 2019-10-30 | 2023-10-17 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 一种动力调谐陀螺仪前置放大器电路板 |
Family Cites Families (47)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3744322A (en) * | 1970-12-07 | 1973-07-10 | Space Res Corp | Angular velocity sensors |
US4488249A (en) * | 1982-02-04 | 1984-12-11 | Martin Marietta Corporation | Alignment error calibrator and compensator |
US4574245A (en) * | 1982-10-05 | 1986-03-04 | Rockwell International Corporation | Multisensor demodulator and A/D converter |
DE3308716A1 (de) * | 1983-03-11 | 1984-09-13 | Graaff Kg, 3210 Elze | Einbausatz fuer einen dem transport von pulverfoermigem oder rieselfaehigem gut dienenden kessel |
US4512192A (en) * | 1983-09-02 | 1985-04-23 | Sundstrand Data Control, Inc. | Two axis angular rate and specific force sensor utilizing vibrating accelerometers |
US4590801A (en) * | 1983-09-02 | 1986-05-27 | Sundstrand Data Control, Inc. | Apparatus for measuring inertial specific force and angular rate of a moving body |
DE3843143A1 (de) * | 1988-12-22 | 1990-06-28 | Bosch Gmbh Robert | Sensor zur bestimmung der winkelgeschwindigkeit |
EP0461761B1 (en) * | 1990-05-18 | 1994-06-22 | British Aerospace Public Limited Company | Inertial sensors |
US5237871A (en) | 1990-10-12 | 1993-08-24 | Teledyne Industries Incorporated | Vibration attenuation assembly with venting passageway |
JPH04238216A (ja) * | 1991-01-23 | 1992-08-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ジャイロのスケールファクタの算出方法 |
US5241861A (en) * | 1991-02-08 | 1993-09-07 | Sundstrand Corporation | Micromachined rate and acceleration sensor |
GB9111316D0 (en) * | 1991-05-24 | 1991-07-17 | Burdess James S | Improvements in or relating to gyroscopic devices |
JPH06160100A (ja) * | 1992-11-19 | 1994-06-07 | Fujitsu Ten Ltd | 振動ジャイロの信号処理回路 |
US5459432A (en) * | 1993-07-22 | 1995-10-17 | Rockwell International Corporation | Use of a chopper and a sigma-delta modulator for downconverting and digitizing an analog signal including information modulated by a carrier |
US5491725A (en) * | 1993-09-07 | 1996-02-13 | Rockwell International Corporation | Tracking filter and quadrature-phase reference generator |
US5942686A (en) * | 1994-09-15 | 1999-08-24 | Bei Electronics, Inc. | Ratiometric transducer and method |
DE4442033C2 (de) * | 1994-11-25 | 1997-12-18 | Bosch Gmbh Robert | Drehratensensor |
DE19519488B4 (de) * | 1995-05-27 | 2005-03-10 | Bosch Gmbh Robert | Drehratensensor mit zwei Beschleunigungssensoren |
JP3090024B2 (ja) * | 1996-01-22 | 2000-09-18 | 株式会社村田製作所 | 角速度センサ |
DE19641284C1 (de) * | 1996-10-07 | 1998-05-20 | Inst Mikro Und Informationstec | Drehratensensor mit entkoppelten orthogonalen Primär- und Sekundärschwingungen |
JP3336605B2 (ja) * | 1997-02-12 | 2002-10-21 | トヨタ自動車株式会社 | 角速度センサ |
DE19710359B4 (de) * | 1997-03-13 | 2006-05-11 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Ermittlung einer Bewegungsgröße mit automatischer Schalenfaktornachführung |
JP3757546B2 (ja) * | 1997-05-21 | 2006-03-22 | 株式会社村田製作所 | 外力計測装置 |
GB2329471B (en) | 1997-09-18 | 2001-08-15 | British Aerospace | A digital control system for a vibrating structure gyroscope |
JP3341661B2 (ja) * | 1997-12-10 | 2002-11-05 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
JP3399336B2 (ja) * | 1997-12-22 | 2003-04-21 | 株式会社豊田中央研究所 | 検出器 |
US6421622B1 (en) * | 1998-06-05 | 2002-07-16 | Crossbow Technology, Inc. | Dynamic attitude measurement sensor and method |
JP4263790B2 (ja) * | 1998-11-13 | 2009-05-13 | 株式会社ワコー | 角速度センサ |
CN1145014C (zh) * | 1998-12-17 | 2004-04-07 | Nec东金株式会社 | 朝向角检测器 |
GB9828478D0 (en) * | 1998-12-24 | 1999-02-17 | British Aerospace | Method of manufacturing a vibrating structure gyroscope |
FR2792722B1 (fr) * | 1999-04-23 | 2001-07-27 | Sagem | Capteur gyroscopique et appareil de mesure de rotation en comportant application |
JP2001021360A (ja) * | 1999-07-08 | 2001-01-26 | Mitsubishi Electric Corp | 角速度センサ |
US6257059B1 (en) * | 1999-09-24 | 2001-07-10 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Microfabricated tuning fork gyroscope and associated three-axis inertial measurement system to sense out-of-plane rotation |
FR2805039B1 (fr) | 2000-02-15 | 2002-04-19 | Sagem | Capteur gyroscopique |
KR100389095B1 (ko) * | 2000-04-04 | 2003-06-25 | 학교법인고려중앙학원 | 자이로스코프의 커패시턴스 변화량 측정장치 |
JP3525862B2 (ja) * | 2000-05-22 | 2004-05-10 | トヨタ自動車株式会社 | センサ素子及びセンサ装置 |
GB2378517B (en) | 2000-05-22 | 2003-08-06 | Toyota Motor Co Ltd | Sensing device and sensor apparatus |
JP3674467B2 (ja) * | 2000-06-27 | 2005-07-20 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置 |
US6497146B1 (en) | 2000-09-15 | 2002-12-24 | Bei Technologies, Inc. | Inertial rate sensor and method with built-in testing |
JP3512004B2 (ja) * | 2000-12-20 | 2004-03-29 | トヨタ自動車株式会社 | 力学量検出装置 |
JP4631240B2 (ja) * | 2001-09-11 | 2011-02-16 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | 物理量センサ |
US6880399B1 (en) * | 2001-11-29 | 2005-04-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
US6823734B1 (en) * | 2002-04-26 | 2004-11-30 | California Institute Of Technology | Electrostatic spring softening in redundant degree of freedom resonators |
GB0227084D0 (en) * | 2002-11-20 | 2002-12-24 | Bae Systems Plc | Method and apparatus for measuring scalefactor variation in a vibrating structure gyroscope |
JP4590853B2 (ja) * | 2003-10-17 | 2010-12-01 | パナソニック株式会社 | 回転率センサおよび多軸検出型回転率センサ |
DE602005018322D1 (de) * | 2004-02-04 | 2010-01-28 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Verfahren zur verringerung des vorspannungsfehlers in einem kreisel mit vibrierender struktur |
US7464590B1 (en) | 2004-03-12 | 2008-12-16 | Thomson Licensing | Digitally programmable bandwidth for vibratory rate gyroscope |
-
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