JP5094464B2 - 記録ヘッド、及びこれを備えた記録装置 - Google Patents
記録ヘッド、及びこれを備えた記録装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5094464B2 JP5094464B2 JP2008044115A JP2008044115A JP5094464B2 JP 5094464 B2 JP5094464 B2 JP 5094464B2 JP 2008044115 A JP2008044115 A JP 2008044115A JP 2008044115 A JP2008044115 A JP 2008044115A JP 5094464 B2 JP5094464 B2 JP 5094464B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- conductive layer
- thickness
- oxide layer
- heating element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Description
141と、該発熱素子131の他端部に隣接する共通電極142と、を含んでなり、個別電極141における第1部位141aの厚みが、共通電極142における第1部位142aの厚みと異なるので、発熱素子131を発熱させた際に最も温度が高くなる部位(以下、「ヒートスポット」とする)を発熱素子131の中心からずらすことができる。
そのため、サーマルヘッドXでは、熱を伝達させるうえで好ましい位置にヒートスポットを位置させることができる。したがって、サーマルヘッドXでは、発熱素子131で発生した熱をより有効に利用することができる。
図4(a)に示すように、基板11上に蓄熱層12を形成する。具体的には、スパッタリングなどの成膜技術により蓄熱膜を成膜した後、フォトリソグラフィなどの微細加工技術により該蓄熱膜を長手方向D2,D3に延びた形となるように加工したり、蓄熱層12の前駆体を印刷してこれを焼成したりすることによって、蓄熱層12が形成される。
図4(b)に示すように、基板11上に、これに形成された蓄熱層12上に位置するようにして抵抗体層13を形成する。具体的には、スパッタリングや蒸着などの成膜技術により抵抗体膜を例えば0.01[μm]以上0.5[μm]以下の範囲の厚みで成膜した後、フォトリソグラフィなどの微細加工技術により該抵抗体膜を各発熱部131の配置領域が離間するようにパターン加工することによって、抵抗体層13が形成される。
図4(c)に示すように、基板11上に形成された抵抗体層13上に位置するようにして厚みTの導電層14を形成する。具体的には、抵抗体層13上を覆うように、スパッタリングや蒸着などの成膜技術により導電膜としてアルミニウム膜を例えば0.5[μm]以上2.0[μm]以下の範囲の厚みで成膜した後、フォトリソグラフィなどの微細加工技術により該アルミニウム膜を抵抗体層13上に位置するようにパターン加工することによって、導電層14が形成される。この導体層形成工程では、パターン加工する際に抵抗体層13の一部を露出させており、この露出した抵抗体層13の一部が発熱素子131として機能する。
図4(d)に示すように、基板11上に形成された導電層14を覆うようにして酸化物層15を形成する。具体的には、フォトリソグラフィなどの微細加工技術により該アルミニウム上にマスクを形成するとともに、酸化物層15を形成する領域に位置する導電層14の一部をマスクから露出させる。次に、この露出した導電層14の一部を陽極酸化し、酸化物層15が形成される。この陽極酸化は、溶液中に基板11を浸すとともに、導電層14に正の電圧を、溶液に負の電圧を印加することによって行われる。この溶液としては、例えばリン酸と、ホウ酸と、シュウ酸と、酒石酸と、硫酸とを含む電解液が挙げられる。本実施形態における酸化物層15は、各部位151,152,153,154で異なる厚みを有している。このように厚みの異なる部位は、部位毎にマスクを形成したり、厚みを大きくする部位の陽極酸化を複数回したりすることにより形成される。また、導電層14の厚みは、この酸化物層形成工程で形成した酸化物層15の厚みに応じて小さくなる。
図4(e)に示すように、基板11上に形成された蓄熱層12と、抵抗体層13と、導電層14と、酸化物層15とを覆うようにして保護層16を形成する。具体的には、フォトリソグラフィなどの微細加工技術により保護部位上を露出させるようにマスクを形成し、スパッタリングや蒸着などの成膜技術により保護層16が形成される。
以上のようにして基体10が製造される。
基体10の所定の領域に駆動IC20を配置する。具体的には、基体10と駆動IC20とを例えば導電性バンプや異方性導電材などの導電性部材を介して接続する。
基体10の所定の領域に外部接続用部材30を配置する。具体的には、基体10と外部接続用部材30とを例えば導電性バンプや、異方性導電材や、ハンダ材料などの導電性部材を介して接続する。
Y サーマルプリンタ
10 基体
11 基板
12 蓄熱層
13 抵抗体層
131 発熱素子
14 導電層
141 個別電極(第1電極)
141a 第1部位
141b 第2部位
142 共通電極(第2電極)
142a 第1部位
142b 第2部位
15 酸化物層
16 保護層
20 駆動IC
30 外部接続用部材
40 搬送機構
41 プラテンローラ
42,43,44,45 搬送ローラ
50 駆動手段
P 記録媒体
Claims (10)
- 基板と、
前記基板上に位置する発熱素子と、
前記発熱素子に隣接する第1部位と該第1部位を介して前記発熱素子に接続され且つ前記第1部位より厚みの大きい第2部位とを有し、金属を含んでなる導電層と、
少なくとも一部が前記第1部位上に位置し、前記金属の酸化物を含んでなる酸化物層と、を備えており、
前記導電層は、前記発熱素子の一端部に隣接する第1電極と、該発熱素子の他端部に隣接する第2電極と、を含んでなり、
前記酸化物層は、その一部が前記第1部位上から前記発熱素子に隣接する側の側面にかけて位置しており、
前記第1電極における前記側面に接する前記酸化物層の厚みは、前記第2電極における前記側面に接する前記酸化物層の厚みと異なることを特徴とする、記録ヘッド。 - 前記酸化物層は、その一部が前記第2部位上に位置していることを特徴とする、請求項1に記載の記録ヘッド。
- 前記酸化物層の厚みは、前記第2部位上に位置する部分に比べて、前記第1部位上に位置する部分の方が大きいことを特徴とする、請求項2に記載の記録ヘッド。
- 前記第1部位と該第1部位上に位置する前記酸化物層との積層厚みは、前記第2部位と該第2部位上に位置する前記酸化物層との積層厚みと略等しいことを特徴とする、請求項3に記載の記録ヘッド。
- 前記導電層は、前記発熱素子の一端部に隣接する第1電極と、該発熱素子の他端部に隣接する第2電極と、を含んでなり、
前記第1電極における前記第1部位の厚みは、前記第2電極における前記第1部位の厚みと異なることを特徴とする、請求項1から4のいずれかに記載の記録ヘッド。 - 前記第1部位の少なくとも一部は、前記発熱素子から離れるほど厚くなるように構成されていることを特徴とする、請求項1から5のいずれかに記載の記録ヘッド。
- 前記基体と前記第1部位との間に位置する蓄熱層を更に有することを特徴とする、請求項1から6のいずれかに記載の記録ヘッド。
- 前記酸化物層の硬度は、前記導電層の硬度に比べて大きいことを特徴とする、請求項1から7のいずれかに記載の記録ヘッド。
- 前記金属は、アルミニウムであることを特徴とする、請求項1から8のいずれかに記載の記録ヘッド。
- 請求項1から9に記載の記録ヘッドと、前記発熱素子上に記録媒体を搬送する搬送手段と、を備えることを特徴とする、記録装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008044115A JP5094464B2 (ja) | 2008-02-26 | 2008-02-26 | 記録ヘッド、及びこれを備えた記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008044115A JP5094464B2 (ja) | 2008-02-26 | 2008-02-26 | 記録ヘッド、及びこれを備えた記録装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009202349A JP2009202349A (ja) | 2009-09-10 |
JP5094464B2 true JP5094464B2 (ja) | 2012-12-12 |
Family
ID=41145120
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008044115A Expired - Fee Related JP5094464B2 (ja) | 2008-02-26 | 2008-02-26 | 記録ヘッド、及びこれを備えた記録装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5094464B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8810618B2 (en) * | 2010-12-25 | 2014-08-19 | Kyocera Corporation | Thermal head and thermal printer including the same |
US10179463B2 (en) | 2015-03-27 | 2019-01-15 | Kyocera Corporation | Thermal head and thermal printer |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5859093A (ja) * | 1981-10-05 | 1983-04-07 | Seiko Epson Corp | サ−マルヘツド |
JPH0238062A (ja) * | 1988-07-28 | 1990-02-07 | Nec Corp | サーマルヘッド |
JPH0439065A (ja) * | 1990-06-05 | 1992-02-10 | Seiko Instr Inc | サーマルヘッド |
JPH05305724A (ja) * | 1992-04-28 | 1993-11-19 | Ricoh Co Ltd | サーマルヘッド |
JP3323960B2 (ja) * | 1994-01-27 | 2002-09-09 | ローム株式会社 | 薄膜型サーマルプリントヘッド |
JPH08290574A (ja) * | 1995-04-24 | 1996-11-05 | Canon Inc | インクジエット記録ヘッドなどの積層膜デバイスおよびその製造方法 |
JP2002011899A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-15 | Kyocera Corp | サーマルヘッドの製造方法 |
JP3643577B2 (ja) * | 2002-09-09 | 2005-04-27 | 日本メカテック株式会社 | 可逆性感熱記録媒体の印字・消去装置および方法 |
JP4163921B2 (ja) * | 2002-09-30 | 2008-10-08 | 京セラ株式会社 | サーマルヘッド及びそれを用いたサーマルプリンタ |
JP4522183B2 (ja) * | 2003-10-17 | 2010-08-11 | 京セラ株式会社 | サーマルヘッド及びそれを用いたサーマルプリンタ |
JP2004345361A (ja) * | 2004-09-01 | 2004-12-09 | Nippon Mekatekku Kk | 可逆性感熱記録媒体の印字・消去装置および方法 |
-
2008
- 2008-02-26 JP JP2008044115A patent/JP5094464B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009202349A (ja) | 2009-09-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2016164005A (ja) | サーマルヘッドおよびこれを備えるサーマルプリンタ | |
JP4548370B2 (ja) | サーマルヘッド及びプリンタ装置 | |
JP5918383B2 (ja) | サーマルヘッドおよびこれを備えるサーマルプリンタ | |
US8098268B2 (en) | Thermal head and printing device | |
JP4684352B2 (ja) | 記録ヘッドおよびこれを備える記録装置 | |
WO2009157269A1 (ja) | 記録ヘッド、および該記録ヘッドを備える記録装置 | |
US8477166B2 (en) | Thermal head, thermal printer and manufacturing method for the thermal head | |
JP4746134B2 (ja) | 記録ヘッドおよびこれを備える記録装置 | |
JP2010247470A (ja) | サーマルヘッドおよびこれを備えるサーマルプリンタ、ならびにサーマルヘッドの駆動方法 | |
JP5094464B2 (ja) | 記録ヘッド、及びこれを備えた記録装置 | |
JP2009184272A (ja) | サーマルヘッド、サーマルプリンタ、及びサーマルヘッドの製造方法 | |
JP5106089B2 (ja) | 記録ヘッド、及びこれを備えた記録装置 | |
JP2012030439A (ja) | サーマルヘッドおよびこれを備えるサーマルプリンタ | |
JP2007245671A (ja) | サーマルヘッド及びプリンタ装置 | |
US8169452B2 (en) | Thermal head and printer | |
US20090195632A1 (en) | Thermal head and thermal printer | |
JP5964739B2 (ja) | サーマルヘッドおよびこれを備えるサーマルプリンタ | |
JP6971751B2 (ja) | サーマルヘッド及びサーマルプリンタ | |
JP6290632B2 (ja) | サーマルヘッドおよびこれを備えるサーマルプリンタ | |
WO2012115231A1 (ja) | サーマルヘッドおよびこれを備えるサーマルプリンタ | |
JP6039795B2 (ja) | サーマルヘッドおよびサーマルプリンタ | |
JP2015003437A (ja) | サーマルヘッドおよびこれを備えるサーマルプリンタ | |
JP2010030144A (ja) | 記録ヘッドおよびこれを備えた記録装置 | |
WO2023210301A1 (ja) | サーマルプリントヘッド、およびサーマルプリントヘッドの製造方法 | |
JP5230455B2 (ja) | 記録ヘッドとその製造方法、ならびに多数個取り基体および記録装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100915 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120528 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120605 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120802 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120821 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120918 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150928 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |