JP5066184B2 - 試験装置および伝送装置 - Google Patents
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Description
1.特願2007−184132 出願日 2007年7月13日
Claims (9)
- 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに与える試験信号を発生する試験信号発生部と、
前記試験信号に応じた出力電圧を、前記被試験デバイスの信号入出力端子に接続された入出力ピンに対して出力するメイン駆動部と、
前記試験信号に応じた比較電圧を出力するレプリカ駆動部と、
前記比較電圧を抵抗分圧した分圧電圧を発生する抵抗分圧部と、
前記入出力ピンの電圧を前記分圧電圧と比較する比較部と、
前記比較部による比較結果に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
前記抵抗分圧部の分圧比を調整して、前記分圧電圧を、前記メイン駆動部から前記出力電圧が出力され且つ前記被試験デバイスの前記信号入出力端子から応答信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧と予め定められた閾値電圧とを加算した電圧に一致させる調整部と
を備える試験装置。 - 前記出力電圧が出力され且つ前記応答信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧を測定する電圧測定部を更に備え、
前記調整部は、前記電圧測定部の測定結果に基づき、前記抵抗分圧部の分圧比を調整する
請求項1に記載の試験装置。 - 前記電圧測定部は、前記被試験デバイスの直流特性を試験する直流試験中において、前記出力電圧が出力され且つ前記応答信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧を測定し、
前記調整部は、前記試験信号の論理を変化させて前記被試験デバイスの機能を試験する機能試験に先立って、前記抵抗分圧部の分圧比を調整して、前記分圧電圧を前記電圧測定部により測定された電圧に一致させる
請求項2に記載の試験装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに与える試験信号を発生する試験信号発生部と、
前記試験信号に応じた出力電圧を、前記被試験デバイスの信号入出力端子に接続された入出力ピンに対して出力するメイン駆動部と、
前記試験信号に応じた比較電圧を出力するレプリカ駆動部と、
前記入出力ピンの電圧を、予め定められた閾値電圧と前記比較電圧とを加算した電圧と比較する比較部と、
前記比較部による比較結果に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
前記レプリカ駆動部から出力される前記比較電圧を、前記メイン駆動部から前記出力電圧が出力され且つ前記被試験デバイスの前記信号入出力端子から応答信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧に一致させる調整部と
を備える試験装置。 - 前記比較部は、
前記入出力ピンの電圧を、前記応答信号がH論理であるか否かを判別するH側閾値電圧と前記比較電圧とを加算した電圧と比較する第1比較部と、
前記入出力ピンの電圧を、前記応答信号がL論理であるか否かを判別するL側閾値電圧と前記比較電圧とを加算した電圧と比較するL第2比較部と
を有する請求項4に記載の試験装置。 - 前記メイン駆動部は、前記試験信号がH論理の場合にH側出力電圧を出力し、前記試験信号がL論理の場合にL側出力電圧を出力し、
前記レプリカ駆動部は、前記試験信号がH論理の場合にH側比較電圧を出力し、前記試験信号がL論理の場合にL側比較電圧を出力し、
前記調整部は、
前記H側比較電圧を、前記H側出力電圧が出力され且つ前記応答信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧と一致させ、
前記L側比較電圧を、前記L側出力電圧が出力され且つ前記応答信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧と一致させる
請求項5に記載の試験装置。 - 前記メイン駆動部は、前記試験信号がH論理の場合にH側出力電圧を出力し、前記試験信号がL論理の場合にL側出力電圧を出力し、前記試験信号が終端を表す値の場合には終端電圧を出力し、
前記第1比較部は、前記試験信号が終端を表す値以外の場合、前記入出力ピンの電圧を、前記応答信号がH論理であるか否かを判別するH側閾値電圧と前記比較電圧とを加算した電圧と比較し、前記試験信号が終端を表す値の場合、前記入出力ピンの電圧を前記H側閾値電圧と比較し、
第2比較部は、前記試験信号が終端を表す値以外の場合、前記入出力ピンの電圧を、前記応答信号がL論理であるか否かを判別するL側閾値電圧と前記比較電圧とを加算した電圧と比較し、前記試験信号が終端を表す値の場合、前記入出力ピンの電圧を前記L側閾値電圧と比較する
を有する請求項5に記載の試験装置。 - 対象装置と信号を送受信する伝送装置であって、
送信信号に応じた出力電圧を、前記対象装置の信号入出力端子に接続された入出力ピンに対して出力するメイン駆動部と、
前記送信信号に応じた比較電圧を出力するレプリカ駆動部と、
前記比較電圧を抵抗分圧した分圧電圧を発生する抵抗分圧部と、
前記入出力ピンの電圧を前記分圧電圧と比較する比較部と、
前記抵抗分圧部の分圧比を調整して、前記分圧電圧を、前記メイン駆動部から前記出力電圧が出力され且つ前記対象装置の前記信号入出力端子から受信信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧と予め定められた閾値電圧とを加算した電圧に一致させる調整部と
を備える伝送装置。 - 対象装置と信号を送受信する伝送装置であって、
送信信号に応じた出力電圧を、前記対象装置の信号入出力端子に接続された入出力ピンに対して出力するメイン駆動部と、
前記送信信号に応じた比較電圧を出力するレプリカ駆動部と、
前記入出力ピンの電圧を、予め定められた閾値電圧と前記比較電圧とを加算した電圧と比較する比較部と、
前記レプリカ駆動部から出力される前記比較電圧を、前記メイン駆動部から前記出力電圧が出力され且つ前記対象装置の前記信号入出力端子から受信信号が出力されていない状態における前記入出力ピンの電圧に一致させる調整部と
を備える伝送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009523607A JP5066184B2 (ja) | 2007-07-13 | 2008-07-08 | 試験装置および伝送装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007184132 | 2007-07-13 | ||
JP2007184132 | 2007-07-13 | ||
PCT/JP2008/062354 WO2009011252A1 (ja) | 2007-07-13 | 2008-07-08 | 試験装置および伝送装置 |
JP2009523607A JP5066184B2 (ja) | 2007-07-13 | 2008-07-08 | 試験装置および伝送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2009011252A1 JPWO2009011252A1 (ja) | 2010-09-16 |
JP5066184B2 true JP5066184B2 (ja) | 2012-11-07 |
Family
ID=40259590
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009523607A Active JP5066184B2 (ja) | 2007-07-13 | 2008-07-08 | 試験装置および伝送装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7944226B2 (ja) |
JP (1) | JP5066184B2 (ja) |
KR (1) | KR101123826B1 (ja) |
DE (1) | DE112008001841T5 (ja) |
TW (1) | TWI364549B (ja) |
WO (1) | WO2009011252A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5182859B2 (ja) * | 2007-01-29 | 2013-04-17 | 株式会社ステップテクニカ | 評価装置及び評価システム |
US8067943B2 (en) * | 2009-03-24 | 2011-11-29 | Advantest Corporation | Test apparatus, calibration method, program, and recording medium |
JP6007843B2 (ja) * | 2013-03-26 | 2016-10-12 | 富士通株式会社 | 信号伝送回路、半導体集積回路、及び信号伝送回路の調整方法 |
US9797936B2 (en) * | 2015-03-05 | 2017-10-24 | National Instruments Corporation | Counter enhancements for improved performance and ease-of-use |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006023233A (ja) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Advantest Corp | 半導体試験装置および半導体試験方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6133725A (en) * | 1998-03-26 | 2000-10-17 | Teradyne, Inc. | Compensating for the effects of round-trip delay in automatic test equipment |
US6275023B1 (en) | 1999-02-03 | 2001-08-14 | Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. | Semiconductor device tester and method for testing semiconductor device |
US6956393B1 (en) | 2004-05-26 | 2005-10-18 | Advantest Corporation | Source current measurement apparatus and test apparatus |
JP2007184132A (ja) | 2006-01-05 | 2007-07-19 | Nec Tokin Corp | 電磁継電器 |
-
2008
- 2008-07-08 DE DE112008001841T patent/DE112008001841T5/de not_active Withdrawn
- 2008-07-08 WO PCT/JP2008/062354 patent/WO2009011252A1/ja active Application Filing
- 2008-07-08 KR KR1020107002929A patent/KR101123826B1/ko active IP Right Grant
- 2008-07-08 JP JP2009523607A patent/JP5066184B2/ja active Active
- 2008-07-10 TW TW097126164A patent/TWI364549B/zh active
-
2010
- 2010-01-11 US US12/685,524 patent/US7944226B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006023233A (ja) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Advantest Corp | 半導体試験装置および半導体試験方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI364549B (en) | 2012-05-21 |
DE112008001841T5 (de) | 2010-06-17 |
TW200912349A (en) | 2009-03-16 |
JPWO2009011252A1 (ja) | 2010-09-16 |
US7944226B2 (en) | 2011-05-17 |
KR20100039400A (ko) | 2010-04-15 |
KR101123826B1 (ko) | 2012-03-16 |
WO2009011252A1 (ja) | 2009-01-22 |
US20100176835A1 (en) | 2010-07-15 |
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