JP5065853B2 - 感光性ポリアミド酸組成物および感光性ドライフィルム - Google Patents
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Description
また感光性ドライフィルムの製造において、巻き取りした感光性ドライフィルムの感光層が支持フィルムに密着する問題がある。そこでカバーフィルムを積層させることで支持フィルムへの密着を防ぐことができるが、感光層にタック性がないと積層できない。
I.(A)下記一般式(1)で示されるポリアミド酸と、(B)感光剤と、を含有し、該(B)感光剤がキノジアジド化合物であることを特徴とする感光性ポリアミド酸組成物。
II.前記(A)ポリアミド酸中のR1が、下記一般式(2)であることを特徴とする、Iに記載の感光性ポリアミド酸組成物。
[化2]
C4H8 ・・・(2)
IV.前記IIIに記載の感光性ドライフィルムと、感光層を保護するカバーフィルムとが積層されていることを特徴とする感光性積層フィルム。
本発明に用いられるポリアミド樹脂は、カルボキシル基を有する化合物とアミノ基を有する化合物から公知の方法で合成される。ポリアミド樹脂としては、アルカリ水溶液への溶解性の観点からポリイミド前駆体が好ましく、ポリアミド酸がより好ましい。
ポリアミド樹脂のモノマーとして用いられるカルボキシル基を有する化合物、アミノ基を有する化合物としては、例えば、以下に示すものがある。
カルボキシル基を有する化合物としては、具体的に、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、3,3’−オキシジフタル酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸二無水物、2,2−ビス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)プロパン、1,3−ジヒドロ−1,3−ジオキソ−5−イソベンゾフランカルボン酸−1,4−フェニレンエステル、4−(2,5−ジオキソテトラヒドロフラン−3−イル)−1,2,3,4−テトラヒドロナフタレン−1,2−ジカルボン酸無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,5,6−ピリジンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2−ビス(4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2−ビス(4−(3,4−ジカルボキシベンゾイルオキシ)フェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ビフェニル二無水物などを挙げられる。
アミノ基を有する化合物としては、一般式(4)で表される化合物が好ましい。
具体的には、R1=C2H4、t−C3H6、C4H8で表される化合物が挙げられる。
また、前記アミノ基を有する化合物とそれ以外のアミノ基を有する化合物を同時に用いることが可能である。具体的には1,4−ジアミノベンゼン、1,3−ジアミノベンゼン、2,4−ジアミノトルエン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニル、3,7−ジアミノ−ジメチルベンゾチオフェン−5,5−ジオキシド、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノベンズアニリド、1,n−ビス(4−アミノフェノキシ)アルカン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)−2,2−ジメチルプロパン、1,2−ビス[2−(4−アミノフェノキシ)エトキシ]エタン、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン、5(6)−アミノ−1−(4−アミノメチル)−1,3,3−トリメチルインダン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、3,3’−ジカルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,6−ジヒドロキシ−1,3−フェニレンジアミン、3,3’−ジヒドロキシ−4,4’−ジアミノビフェニル、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ペンタン、1,5−ビス(4'−アミノフェノキシ)ペンタン、ビス(γ−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン、1,4−ビス(γ−アミノプロピルジメチルシリル)ベンゼン、ビス(4−アミノブチル)テトラメチルジシロキサン、ビス(γ−アミノプロピル)テトラフェニルジシロキサン、式(5)で表されるジアミノシロキサン化合物などが挙げられる。これらは単独で用いても2種以上を用いてもよい。
これらのうち、Tg−2を下げるという観点から、1,4−ジアミノベンゼン、1,3−ジアミノベンゼン、2,4−ジアミノトルエン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアノビフェニル、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、3,7−ジアミノ−ジメチルベンゾチオフェン−5,5−ジオキシド、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノベンズアニリド、1,n−ビス(4−アミノフェノキシ)アルカン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)−2,2−ジメチルプロパン、1,2−ビス[2−(4−アミノフェノキシ)エトキシ]エタン、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン、5(6)−アミノ−1−(4−アミノメチル)−1,3,3−トリメチルインダン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、4,6−ジヒドロキシ−1,3−フェニレンジアミン、3,3’−ジヒドロキシ−4,4’−ジアミノビフェニル、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ペンタン、1,5−ビス(4'−アミノフェノキシ)ペンタン、ビス(γ−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン、1,4−ビス(γ−アミノプロピルジメチルシリル)ベンゼン、ビス(4−アミノブチル)テトラメチルジシロキサン、ビス(γ−アミノプロピル)テトラフェニルジシロキサン、式(5)で表されるジアミンが好ましい。
ポリイミド前駆体を合成する際、必要に応じて、単官能の酸無水物、単官能カルボン酸、単官能アミンを用いて高分子末端を封止してもよい。
また本発明に用いられるポリイミド前駆体のカルボキシル基の一部を、アルコール化合物など公知の化合物、および方法を用いてエステル化することも可能である。
本発明に用いられる(B)感光剤は、活性光線照射により酸を発生する化合物が好ましい。中でもキノンジアジド化合物が好ましい。例えば米国特許第2797213号、3669658号に記載のものを用いることができる。その中でも、フェノール化合物と1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−4−スルホン酸又は、1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−5−スルホン酸とのエステル化合物が好ましい。これらは単独で用いてもよいし、2種類以上組み合わせて用いてもよい。
本発明に用いられる(B)感光剤の配合量は、(A)ポリアミド樹脂100重量部に対して5〜30重量部が好ましく、10〜20重量部がさらに好ましい。感光剤の配合量は、感度の点から5重量部以上、光の吸収の点から30重量部以下が好ましい。
本発明の感光性ポリアミド樹脂組成物には(C)有機溶剤を含有していてもよい。(C)有機溶剤としては、アルカリ現像液への溶解性の観点からγ−ブチロラクトン、乳酸エチルなどのエステル化合物、テトラヒドロフランなどのエーテル化合物が好ましい。これらの有機溶剤は単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本発明に用いることのできる有機溶剤は、ポリアミド樹脂100重量部に対し120〜900重量部が好ましい。
低沸点溶媒としては、具体的には、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン類、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、n−ブタノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール又はヘキシレングリコール等のアルコール類、1,4−ジオキサン、トリオキサン、ジエチルアセタール、1,2−ジオキソラン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、アニソール等のエーテル類、酢酸エチル、安息香酸メチル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジアセテート等のエステル類、n−ヘプタン、n−オクタン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン及びジエチルベンゼン等の炭化水素類が挙げられる。
本発明の感光性ポリアミド樹脂組成物には必要に応じて可塑剤を配合することが出来る。可塑剤は、ベイク後のフィルムと基板から成るシートの反りを低減する観点から、一般式(6)で示される化合物が好ましい。
X1からX14は水素原子、水酸基、有機基を表し、それぞれ同一でも異なっていても良い。)
具体的には、ジヒドロキシジフェニルメタン、4,4’−ジオキシフェノール、1,4−ビス−(3−ヒドロキシフェノキシ)−ベンゼン、1,3−ビス−(4−ヒドロキシフェノキシ)−ベンゼン、1,5−ビス−(o−ヒドロキシフェノキシ)−3−オキサペンタン、α、α’−ビス−(4−ヒドロキシフェニル)−1,4−ジイソプロピルベンゼンなどの2核体、トリス(ヒドロキシフェニル)メタン、トリス(ヒドロキシフェニル)エタン、4−{4−[1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)エチル]−α,α−ジメチルベンジル}フェノールなどの3核体などが挙げられる。これらのフェノール化合物は単独で用いても2種類以上組み合わせて用いても良い。
具体的には一般式(8)および一般式(9)で示される化合物が挙げられるがこれに限られたものではない。
これらの化合物は単独で用いても2種類以上組み合わせて用いても良い。
また一般式(6)および一般式(7)で表される化合物を組み合わせて用いても良い。
本発明の感光性ポリアミド樹脂組成物には必要に応じて溶解抑止剤を配合することができる。溶解抑止剤を配合することで、ポリアミド樹脂のアルカリ現像液への溶解性を抑止することができる。本発明に用いられる溶解抑止剤とは、ポリアミド樹脂のカルボキシル基と水素結合する化合物をいう。ポリアミド樹脂のカルボキシル基が溶解抑止剤と水素結合することで現像液から遮蔽され、溶解を抑止することが可能となる。
アミド化合物としては、例えば、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジイソプロピルホルムアミド、N,N−ジメチルブチルアミド、N,N−ジブチルアセトアミド、N,N−ジプロピルアセトアミド、N,N−ジブチルホルムアミド、N,N−ジエチルプロピオンアミド、N,N−ジメチルプロピオンアミド、N,N’−ジメトキシ−N,N’−ジメチロキサミド、N−メチル−ε−カプロラクタム、4−ヒドロキシフェニルベンズアミド、サリチルアミド、サリチルアニリド、アセトアニリド、2’−ヒドロキシフェニルアセトアニリド、3’−ヒドロキシフェニルアセトアニリド、4’−ヒドロキシフェニルアセトアニリドが挙げられる。
ウレア化合物としては、例えば、1,3−ジメチルウレア、テトラメチルウレア、テトラエチルウレア、1,3−ジフェニルウレア、3−ヒドロキシフェニルウレアが挙げられる。中でも、高感度化、高残膜率化、感光層及び該感光層をベイクすることにより得られたフィルムの低Tg化の観点より、芳香族水酸基を含有するウレア化合物がより好ましい。具体的には3−ヒドロキシフェニルウレアが挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
本発明に用いられる(B)溶解抑止剤は、ウレア化合物を用いる場合、(A)ポリイミド前駆体のカルボキシル基1molに対して、溶解抑止効果発現の点から0.1mol〜1.5molが好ましい。溶解抑止効果発現及びアルカリ現像後のベイクで得られるポリイミドの機械物性の観点から、0.15〜0.5mol配合することがより好ましい。
本発明では、ベイク後のフィルムの機械物性を向上させる目的で、架橋剤を配合することができる。架橋剤としては式(10)で表されるテトラカルボン酸化合物又はテトラカルボン酸エステル化合物、式(11)で表されるポリアミド酸化合物又はカルボキシル基含有ポリアミド酸エステル化合物が好ましい。
残アミノ基量は高速液体クロマトグラフィーを用いて算出することが可能である。
本発明の感光性ポリアミド樹脂組成物には、必要に応じて、熱塩基発生剤を含むことができる。熱塩基発生剤とは、加熱することで塩基を発生する化合物のことである。例えば、アミンなどの塩基を、スルホン酸などの酸で塩構造を作る、ジカーボネート化合物により保護する、酸クロライド化合物により保護する。それにより、室温では塩基性を発現せず安定であり、加熱により脱保護し、塩基を発生させる熱塩基発生剤とすることができる。
熱塩基発生剤としては、具体的にはU−CAT(登録商標) SA810、U−CAT SA831、U−CAT SA841、U−CAT SA851(以上商品名 サンアプロ社製)、N−(イソプロポキシカルボニル)−2,6−ジメチルピペリジン、N−(tert−ブトキシカルボニル)−2,6−ジメチルピペリジン、N−(ベンジロキシカルボニル)−2,6−ジメチルピペリジン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼンの両方のアミンを二炭酸ジブチルで保護した化合物などが挙げられる。
熱塩基発生剤の配合量は、イミド化の促進及び現像性能の観点から、アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して1〜30重量部が好ましく、1〜20重量部がより好ましい。
本発明にの感光性ポリアミド樹脂組成物には、必要に応じてイミダゾール化合物、トリアゾール化合物、テトラゾール化合物、スルフィド化合物を配合することができる。これらの化合物を配合することによって、銅基板との接着性を改善することができる。
本発明にの感光性ポリアミド樹脂組成物を用いて、感光性ドライフィルムを作製することが可能である。感光性ドライフィルムとは、支持フィルムに当該感光性ポリアミド樹脂組成物を塗布し、溶媒を乾燥させることにより得られる。支持フィルムとしては低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリアクリロニトリル、エチレン/シクロデセン共重合体(三井化学製、商品名:APEL)等を用いることができる。またキャリアフィルムの厚みは、塗工性、付着性、ロール性、強靱性、コスト等を考慮し、通常15〜100μm、好ましくは15〜75μmである。
溶媒の乾燥は熱風乾燥や遠赤外線、近赤外線を用いた乾燥機により、温度50〜120℃で行うことができる。脱溶剤により得られた感光層の膜厚は、5〜100μmが好ましく、より好ましくは5〜50μmである。膜厚は、絶縁信頼性の観点から5μm以上が好ましく、良好な線像を得るという観点から100μm以下が好ましい。
本発明の感光性ポリアミド樹脂組成物はカバーレイとして使用することができる。カバーレイとは、シリコンウェハ、銅張積層板、FPCなどの上に形成された配線を保護する保護膜をいう。
本発明の感光性ポリアミド樹脂組成物から感光性ドライフィルムを作製し、FPC上にカバーレイを形成させることができる。例えば、以下の工程で形成することができる。
1.本発明の感光性ポリアミド樹脂組成物から構成される感光性ドライフィルムをFPC等の回路形成された面にラミネートし感光層を形成する工程。
該感光性ドライフィルムをFPC等の回路形成された面に重ね合わせ、平面ラミネートやロールラミネート、真空プレス等の公知の方法により、40〜120℃、好ましくは60〜110℃に加熱しながら、0.2〜4MPaの圧力でラミネートすることで感光層を積層することができる。このとき該感光性ドライフィルムがカバーフィルムを積層した感光性積層フィルムの場合、ラミネート前にカバーフィルムを剥す。ラミネート可能温度を40℃以上とする事でラミネート前の位置合わせ時にタックにより手間取ったりする事が無くなり、120℃以下とすることによりイミド化が進行しすぎないでラミネート時間に余裕ができ、工程マージンを広く取ることができる。なお、ラミネート可能温度とは、気泡残り等の問題がなく、パターンへの埋め込みが充分にできると同時に、樹脂が流れすぎてパターンの外に流れ出さない粘度に感光層を制御することが可能な温度を意味する。 また、感光層のTgをラミネート温度より低くすることにより、感光性ドライフィルムのラミネートを好適に行うことが出来る。感光層のラミネート後、支持フィルムは、剥しても剥さなくても良い。支持フィルムを剥さない場合は、露光工程後に剥す。
感光層は、微細孔や微細幅ラインを形成するため、任意のパターンが描かれたフォトマスクを通して露光される。露光量は、感光性ポリアミド樹脂組成物の組成により異なるが、通常100〜3,000mJ/cm2である。この時使用される活性光線としては、例えばX線、電子線、紫外線、可視光線等が挙げられる。光源としては低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ等を使用することができる。本発明では水銀灯のi線(365nm)、h線(405nm)、g線(436nm)を用いるのが好ましい。 活性光線を照射する方法としては、密着露光、投影露光のいずれの方法でもよい。
露光後、現像液を用い、浸漬法、スプレー法などの公知の方法にて現像を行い、線像を得ることができる。現像液としては、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、炭酸ナトリウム水溶液、炭酸カリウム水溶液等のアルカリ水溶液が使用できる。現像後は、リンス液を用いて洗浄を行う。リンス液としては、水や水に有機溶剤を添加したものなどがある。
現像によって得られた線像に、ベイクを行うことにより樹脂パターンが形成される。ベイクは、100℃〜200℃の温度で5分〜5時間、連続的又は段階的に行われる。そして、加工品が出来上がる。また、当該感光性ポリアミド樹脂組成物を用いる場合、前記工程で得られた線像に活性光線を照射させる、その後にベイクを行うこともできる。
このようにして得られる加工品としては、FPC、多層プリント配線板などが挙げられる。
(ポリイミド前駆体の合成)
(合成例1)ポリアミド酸(I)の合成
三口セパラブルフラスコにポリテトラメチレンオキシド−ジ−p−アミノベンゾエート13.7g、γ−ブチロラクトン93gを入れ、室温下、均一溶液になるまで攪拌した。次に、ペンタンジオール−ビス−無水トリメリット酸エステル5gを加え、氷冷しながら1時間、その後室温で6時間攪拌した。次に生成物を5μmのフィルターで加圧ろ過することでポリアミド酸(I)を得た。
三口セパラブルフラスコにポリテトラメチレンオキシド−ジ−p−アミノベンゾエート6.8g、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン1.6g、γ−ブチロラクトン50.6gを入れ、室温下、均一溶液になるまで攪拌した。次に、ペンタンジオール−ビス−無水トリメリット酸エステル5gを加え、氷冷しながら1時間、その後室温で6時間攪拌した。次に生成物を5μmのフィルターで加圧ろ過することでポリアミド酸(II)を得た。
三口セパラブルフラスコに1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン7.8g、γ−ブチロラクトン74.3gを入れ、室温下、均一溶液になるまで攪拌した。次に、ペンタンジオール−ビス−無水トリメリット酸エステル12gを加え、氷冷しながら1時間、その後室温で6時間攪拌した。次に生成物を5μmのフィルターで加圧ろ過することでポリアミド酸(III)を得た。
塗工:真空吸着及び加熱できる塗工台(マツキ科学社製)にポリイミドフィルム(Kapton EN−100 商品名 東レ・デュポン社製)を置き、真空吸着させることで該ポリイミドフィルムを貼り付けた。該ポリイミドフィルム上に、ギャップが100μmのアプリケーター(マツキ科学社製)を用いて感光性ポリアミド樹脂組成物を塗布した。
脱溶剤:乾燥機(SPH−201、エスペック社製)で、60℃で30分、次いで95℃で20分の条件で脱溶剤を行った。 ベイク:乾燥機(SPH−201 エスペック社製)を用いて、昇温速度1℃/min、エアー雰囲気下、110℃で60分、140℃で60分の条件でベイクを行った。
反りの測定:ベイク後に得られたフィルムを長さ5cm、幅5cmに切り取り、反りを定規を用いて測定した。
塗工:真空吸着及び加熱できる塗工台(マツキ科学社製)にポリイミドフィルム(R−310−25 商品名 三菱ポリエステル社製)を置き、真空吸着させることで該ポリエステルフィルムを貼り付けた。該ポリエステルフィルム上に、ギャップが100μmのアプリケーター(マツキ科学社製)を用いて感光性ポリアミド樹脂組成物を塗布した。 脱溶剤:乾燥機(SPH−201、エスペック社製)で、60℃で30分、次いで95℃で20分の条件で脱溶剤を行い感光性ドライフィルムを得た。
該感光性ドライフィルムの表面を、触診によってタック有無を評価した。フィルムに指紋がつく、ないし、タックがあった場合を○、ない場合を×とした。
合成例1で得たポリアミド酸(I)10g、感光剤としてポリアミド酸に対して20重量部のキノンジアジド化合物(式12)0.42gを20ccガラス瓶に入れ、ミックスローター(MR−5 アズワン社製)により均一になるまで攪拌し感光性ポリアミド酸組成物(I)を得た。評価結果を表1に示す。
合成例2で得たポリアミド酸(II)10g、感光剤としてポリアミド酸に対して20重量部のキノンジアジド化合物(式12)0.42gを20ccガラス瓶に入れ、ミックスローター(MR−5 アズワン社製)により均一になるまで攪拌し感光性ポリアミド酸組成物(II)を得た。評価結果を表1に示す。
合成例3で得たポリアミド酸(III)10g、感光剤としてポリアミド酸に対して20重量部のキノンジアジド化合物(式12)0.42gを20ccガラス瓶に入れ、ミックスローター(MR−5 アズワン社製)により均一になるまで攪拌し感光性ポリアミド酸組成物(III)を得た。評価結果を表1に示す。
Claims (4)
- 前記(A)ポリアミド酸中のR1が、下記一般式(2)であることを特徴とする、請求項1に記載の感光性ポリアミド酸組成物。
[化2]
C4H8 ・・・(2) - 請求項1又は2に記載の感光性ポリアミド酸組成物の層と、支持フィルム層とを含むことを特徴とする感光性ドライフィルム。
- 請求項3に記載の感光性ドライフィルムと、感光層を保護するカバーフィルムとが積層されていることを特徴とする感光性積層フィルム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007279505A JP5065853B2 (ja) | 2007-10-26 | 2007-10-26 | 感光性ポリアミド酸組成物および感光性ドライフィルム |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2007279505A JP5065853B2 (ja) | 2007-10-26 | 2007-10-26 | 感光性ポリアミド酸組成物および感光性ドライフィルム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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