JP5050891B2 - 電気光学装置及び電子機器 - Google Patents

Description

本発明は、例えば液晶表示装置等の電気光学装置、及び該電気光学装置を備える、例えば液晶プロジェクタ等の電子機器の技術分野に関する。

この種の電気光学装置として、例えば、製造工程中に発生する静電気によるＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）の破壊を防止するための短絡用配線が形成された後に、短絡用配線の切断及びデータ線の形成を一括して行うことにより製造された電気光学装置が提案されている（特許文献１参照）。

尚、特許文献２には、画像信号配線の過電圧を抑制する静電保護回路が、基板の板面に垂直な方向から見て、定電位配線及び画像信号配線と重なり合う領域に配置されている電気光学装置が記載されている。ここでは特に、静電保護回路におけるスイッチング素子の第１端子に画像信号配線を電気的に接続すると共に、スイッチング素子の第２端子に定電位配線を電気的に接続する技術が記載されている（特許文献２参照）。

特開２００１−３３９０６５号公報 特開２００５−３０９００３号公報

しかしながら、特許文献１に記載の技術によれば、切断された短絡用配線の一部は、他の配線に電気的に接続されていない（所謂、フローティング状態である）ため、意図しない容量性カップリングが生じる可能性があるという技術的問題点がある。特に、このような意図しない容量性カップリングが、フローティング状態である短絡用配線の一部と画像信号を供給するデータ線との間に生じると、表示不良が発生してしまうおそれがある。また、特許文献２に記載の技術によれば、電気光学装置の製造工程中の静電気によるＴＦＴの破壊を防止することは困難であるという技術的問題点がある。

本発明は、例えば上記問題点に鑑みてなされたものであり、切断された短絡用配線による、意図しない容量性カップリングの発生を抑制することができる電気光学装置、及びこれを備えた電子機器を提案することを課題とする。

本発明の電気光学装置は、上記課題を解決するために、基板上に、互いに交差する複数の走査線及び複数のデータ線と、前記複数の走査線及び前記複数のデータ線の交差に対応して設けられた複数の画素電極と、前記複数の画素電極が設けられた画素領域の周辺に位置する周辺領域に形成され、製造工程において前記複数の走査線を相互に短絡させる本線部及び該本線部から前記複数のデータ線と交差するように延在する延在部を有する短絡用配線と、所定電位が供給されると共に前記延在部に電気的に接続された定電位配線とを備える。

本発明の電気光学装置によれば、例えば石英基板等の基板上において、複数の走査線及び複数のデータ線が互いに交差しており、該交差の夫々に対応して複数の画素電極が設けられている。短絡用配線は、複数の画素電極が設けられた画素領域の周辺に位置する周辺領域に形成され、当該電気光学装置の製造工程において、複数の走査線を相互に短絡させる本線部、及び該本線部から複数のデータ線と交差するように延在する延在部を有する。ここに、「画素領域」とは、個々の画素の領域を意味するのではなく、複数の画素が平面配列された領域全体を意味し、典型的には、「画素表示領域」或いは「表示領域」に相当する。画素領域には、例えば複数の画素電極がマトリックス状に配置されて構成されている。

尚、短絡用配線は、製造工程において、典型的には、複数の走査線と同じ層に形成される。そして、製造工程において、例えば複数のデータ線が形成される際に、短絡用配線と各走査線との間の電気的な接続が切断されると共に、短絡用配線の本線部と延在部との間の電気的な接続も切断される。従って、「製造工程において前記複数の走査線を相互に短絡させる」とは、製造工程の一期間において複数の走査線を相互に電気的に接続し、製造された当該電気光学装置では、短絡用配線と各走査線との間の電気的な接続は切断されていることを意味する。

定電位配線は、所定電位が供給されると共に、短絡用配線の延在部に電気的に接続されている。ここに、本発明に係る「所定電位」とは、データ線上に供給される画像信号の内容によらずに少なくとも所定期間ずつ固定された電位を意味する。例えば、接地電位或いはグランド電位の如く、時間軸に対して完全に一定電位に固定された固定電位であってもよい。或いは、共通電位或いは対向電極電位の如く、例えば画像信号に係る奇数フィールド期間で第１の固定電位に固定されると共に偶数フィールド期間で第２の固定電位に固定されるというように、時間軸に対して一定期間ずつ一定電位に固定された固定電位であってもよい。

本願発明者の研究によれば、切断された短絡用配線の一部は、他の配線に電気的に接続されていないため、意図しない容量性カップリングが生じる可能性がある。特に、切断された短絡用配線とデータ線とが交差している場合には、例えば系列ムラ等が生じ、画像品質が劣化する可能性があることが判明している。

しかるに本発明では、短絡用配線の延在部と定電位配線とが電気的に接続されている。これにより、延在部の電位が確定し、意図しない容量性カップリングの発生を抑制することができる。従って、意図しない容量性カップリングよる、例えばデータ線上に供給される画像信号への影響を抑制することができ、画像品質の劣化を抑制することができる。

本発明の電気光学装置の一態様では、前記定電位配線は、前記基板上で平面的に見て、前記延在部に少なくとも部分的に重なるように形成されている。

この態様によれば、定電位配線及び延在部を相互に電気的に接続するために、例えば別途接続用の配線を形成する必要がない。従って、当該電気光学装置の小型化を図れると共に、比較的容易にして定電位配線及び延在部を相互に電気的に接続することができ、実用上非常に有利である。

本発明の電気光学装置の他の態様では、前記周辺領域における前記複数のデータ線のうち相隣合うデータ線間に、前記複数のデータ線と同一膜からなるダミー配線を更に備え、前記定電位配線は、前記複数のデータ線より第１絶縁膜を介して上層側に形成されると共に、前記ダミー配線と前記第１絶縁膜に開孔された第１コンタクトホールを介して電気的に接続され、前記延在部は、前記複数のデータ線より第２絶縁膜を介して下層側に形成されると共に、前記ダミー配線と前記第２絶縁膜に開孔された第２コンタクトホールを介して電気的に接続される。

この態様によれば、ダミー配線は、周辺領域における複数のデータ線のうち相隣合うデータ線間に配置されている。このダミー配線は、複数のデータ線と同一膜からなる（即ち、複数のデータ線が設けられている層に配置されている）。これにより、各データ線間における光漏れを抑制することができ、画像品質の劣化を抑制することができる。ここで、「同一膜」とは、同一の導電材料から同時にパターニングされて形成された膜を意味する。

本発明の電子機器は、上記課題を解決するために、上述した本発明の電気光学装置（但し、その各種態様を含む）を備える。

本発明の電子機器によれば、上述した本発明の電気光学装置を備えてなるので、意図しない容量性カップリングの発生を抑制することができる。この結果、高品位の画像を表示可能な投射型表示装置、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現できる。

本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。

以下図１乃至図６を参照しながら、本発明に係る電気光学装置及び電子機器の各実施形態を説明する。尚、以下の図では、各層・各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、該各層・各部材ごとに縮尺を異ならしめてある。また、本実施形態では、電気光学装置の一例として、駆動回路内蔵型のアクティブマトリックス駆動方式の液晶装置を例に挙げる。

＜電気光学装置＞
先ず、本実施形態に係る液晶装置の全体構成について、図１及び図２を参照して説明する。ここに図１は、素子基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図であり、図２は、図１のＨ−Ｈ´線断面図である。

図１及び図２において、本実施形態に係る液晶装置の液晶パネル１００では、素子基板１０及び対向基板２０が対向配置されている。素子基板１０は、例えば、石英基板、ガラス基板、シリコン基板等の基板からなり、対向基板２０は、例えば、石英基板、ガラス基板等の基板からなる。素子基板１０と対向基板２０との間に液晶層５０が封入されており、素子基板１０と対向基板２０とは画像表示領域１０ａの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材５２により相互に接着されている。

シール材５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂や熱硬化樹脂、又は紫外線・熱併用型硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいて素子基板１０上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。シール材５２中には、素子基板１０と対向基板２０との間隔（即ち、ギャップ）を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。尚、ギャップ材を、シール材５２に混入されるものに加えて若しくは代えて、画像表示領域１０ａ又は画像表示領域１０ａの周辺に位置する周辺領域に、配置するようにしてもよい。

図１において、シール材５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域１０ａを規定する遮光性の額縁遮光膜５３が、対向基板２０側に設けられている。但し、このような額縁遮光膜５３の一部又は全部は、素子基板１０側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。

周辺領域のうち、シール材５２が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２が素子基板１０の一辺に沿って設けられている。この一辺に沿ったシール領域よりも内側にサンプリング回路７が額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。走査線駆動回路１０４は、この一辺に隣接する２辺に沿ったシール領域５２ａの内側の額縁領域に、額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。

素子基板１０上には、対向基板２０の４つのコーナー部に対向する領域に、両基板間を上下導通材１０７で接続するための上下導通端子１０６が配置されている。これらにより、素子基板１０と対向基板２０との間で電気的な導通をとることができる。更に、外部回路接続端子１０２と、データ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０４、上下導通端子１０６等とを電気的に接続するための引回配線９０が形成されている。

図２において、素子基板１０上には、駆動素子である画素スイッチング用のトランジスタや走査線、データ線等の配線が作り込まれた積層構造が形成される。この積層構造の詳細な構成については図２では図示を省略してあるが、この積層構造の上に、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）等の透明材料からなる画素電極９ａが、画素毎に所定のパターンで島状に形成されている。

画素電極９ａは、後述する対向電極２１に対向するように、素子基板１０上の画像表示領域１０ａに形成されている。素子基板１０における液晶層５０の面する側の表面、即ち画素電極９ａ上には、配向膜１６が画素電極９ａを覆うように形成されている。

対向基板２０における素子基板１０との対向面上に、遮光膜２３が形成されている。遮光膜２３は、例えば対向基板２０における対向面上に平面的に見て、格子状に形成されている。対向基板２０において、遮光膜２３によって非開口領域が規定され、遮光膜２３によって区切られた領域が、例えばプロジェクタ用のランプや直視用のバックライトから出射された光を透過させる開口領域となる。尚、遮光膜２３をストライプ状に形成し、該遮光膜２３と、素子基板１０側に設けられたデータ線等の各種構成要素とによって、非開口領域を規定するようにしてもよい。

遮光膜２３上に、ＩＴＯ等の透明材料からなる対向電極２１が複数の画素電極９ａと対向して形成されている。遮光膜２３上に、画像表示領域１０ａにおいてカラー表示を行うために、開口領域及び非開口領域の一部を含む領域に、図２には図示しないカラーフィルタが形成されるようにしてもよい。対向基板２０の対向面上における、対向電極２１上には、配向膜２２が形成されている。

尚、図１及び図２に示した素子基板１０上には、これらのデータ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０４、サンプリング回路７等に加えて、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の当該液晶装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路等を形成してもよい。

次に、本実施形態に係る液晶装置の電気的な構成について、図３を参照して説明する。ここに図３は、本実施形態に係る液晶装置の電気的な構成を概略的に示すブロック図である。

図３において、素子基板１０上における画像表示領域１０ａには、複数の走査線１１ａ及び複数のデータ線６ａが互いに交差して配線され、これら交差に対応して画素に対応する画素部９がマトリックス状に設けられている。画素部９は、走査線１１ａ及びデータ線６ａの各々に電気的に接続されている。画素部９は、基本的に、データ線６ａにより供給される画像信号を選択的に印加するための画素スイッチッグ用のトランジスタと、入力された画像信号を液晶層５０（図２参照）に印加し保持するための、即ち対向電極２１（図２参照）と共に液晶保持容量をなす画素電極９ａ（図２参照）とを含んで構成されている。尚、画素部９には、液晶保持容量に保持された画像信号がリークするのを防ぐために、該液晶保持容量と並列に付加された蓄積容量を設けてもよい。

図３において、素子基板１０上における周辺領域には、データ線駆動回路１０１、サンプリング回路７及び走査線駆動回路１０４が設けられている。また、周辺領域には、液晶パネル１００の製造工程において、複数の走査線１１ａを相互に短絡していた短絡用配線７００が形成されている。該短絡用配線７００は、製造工程において、例えば複数のデータ線６ａが形成される際に、例えば切断すべき部分Ｃが切断されることにより、短絡用配線７００と各走査線１１ａとの間の電気的な接続が切断される。

尚、本実施形態に係る短絡用配線７００のうち、素子基板１０の図中の左右の辺に夫々沿って（即ち、Ｙ軸方向に沿って）形成された短絡用配線が、本発明に係る「本線部」の一例であり、素子基板１０の図中の下側の辺に沿って形成された短絡用配線７００が、本発明に係る「延在部」の一例である。

走査線駆動回路１０４には、図示しない、例えば外部回路より外部回路接続端子１０２（図１参照）を介して、Ｙクロック信号ＣＬＹ（及びその反転信号である反転Ｙクロック信号ＣＬＹｉｎｖ）、ＹスタートパルスＤＹが供給される。走査線駆動回路１０４は、ＹスタートパルスＤＹが入力されると、Ｙクロック信号ＣＬＹ及び反転Ｙクロック信号ＣＬＹｉｎｖに基づくタイミングで走査信号を順次生成して走査線１１ａに出力する。

データ線駆動回路１０１には、外部回路より外部回路接続端子１０２を介して、Ｘクロック信号ＣＬＸ（及びその反転信号である反転Ｘクロック信号ＣＬＸｉｎｖ）、ＸスタートパルスＤＸが供給される。そして、データ線駆動回路１０１は、ＸスタートパルスＤＸが入力されると、Ｘクロック信号ＣＬＸ及び反転Ｘクロック信号ＣＬＸｉｎｖに基づくタイミングで、サンプリング信号Ｓ１、…、Ｓｎを順次生成してサンプリング信号線１１４に出力する。

サンプリング回路７は、画像信号線６から画像信号が供給されるデータ線６ａを選択するためにデータ線６ａ毎に設けられたスイッチング素子（即ち、サンプリングスイッチ）からなり、そのスイッチング動作は、データ線駆動回路１０１からのサンプリング信号Ｓ１、…、Ｓｎによってタイミング制御されるように構成されている。

サンプリング回路７には、外部回路により６相にシリアル−パラレル変換、即ち相展開された画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６が、６本の画像信号線６を介して供給される。６本の画像信号線６は夫々、外部回路接続端子１０２から、データ線駆動回路１０１の周囲を迂回して引き回され、データ線６ａの配列方向（即ち、Ｘ方向）に沿って配線されている。

尚、画像信号の相展開数（即ち、シリアル−パラレル展開される画像信号の系列数）に関しては、６相に限られるものでなく、例えば９相、１２相、２４相、４８相、９６相…等とすることができる。

尚、クロック信号ＣＬＸやＣＬＹ等の各種タイミング信号は、例えば図示しない外部回路に形成されたタイミングジェネレータにて生成され、素子基板１０上の各回路に外部回路接続端子１０２を介して供給される。また、各駆動回路の駆動に必要な電源等もまた例えば外部回路から供給される。

素子基板１０上における周辺領域には、例えば外部回路から対向電極電位ＬＣＣを供給する、本発明に係る「定電位配線」の一例としての対向電極電位線６０５が、外部回路接続端子１０２から上下導通端子１０６まで配線されると共に、データ線６ａの配線方向（即ち、Ｘ方向）に沿って配線されている。

これにより、対向電極電位ＬＣＣは、上下導通端子１０６及び上下導通材１０７（図１参照）を介して対向電極２１に供給される。対向電極電位ＬＣＣは、画素電極９ａとの電位差を適正に保持して液晶保持容量を形成するための対向電極２１の基準電位となる。本実施形態では、１Ｈ反転駆動方式が採用されており、画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６は、所定周期で電位が対向電極電位ＬＣＣに対して高位側の正極性と低位側の負極性とで極性反転される。より具体的には、画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６は、一のフレームに対応する表示を行う間、奇数行に配列された画素部９には対向電極電位ＬＣＣに対して正極性の電位で供給されると共に偶数行に配列された画素部９には対向電極電位ＬＣＣに対して負極性の電位で供給されるように、且つ、これに続く次のフレームに対応する表示を行う間は、逆に偶数行に配列された画素部９には正極性の電位で供給されると共に奇数行に配列された画素部９には負極性の電位で供給されるように、電位が極性反転される。即ち、画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６は、同一行の画素部９には同一極性の電位で供給されると共に相隣合う行の画素部９には異なる極性の電位で供給されるように、且つ係る電位極性を行毎にフレーム周期で反転するように、電位が極性反転される。

本実施形態では特に、素子基板１０の図中の下側の辺に沿って形成された短絡用配線７００と、対向電極電位線６０５とが、例えばコンタクトホール７１０を介して、電気的に接続されている。これにより、短絡用配線７００の電位が確定し、意図しない容量性カップリングの発生を抑制することができる。この結果、系列ムラの発生を抑制することができ、画像品質の劣化を抑制することができる。

次に、データ線６ａ、短絡用配線７００及び対向電極電位線６０５各々の位置関係について、図４及び図５を参照して具体的に説明する。ここに図４は、データ線、短絡用配線及び対向電極電位線を対向基板の側から見た平面図であり、図５は、図４のＡ−Ａ´線断面図である。尚、図５では、対向電極電位線６０５より上層側の構成要素、及び短絡用配線７００より下層側の構成要素については図示を省略している。

図４に示すように、平面的に見て、対向電極電位線６０５は、短絡用配線７００を覆うように配置されている。言い換えれば、対向電極電位線６０５が形成された領域内に、短絡用配線７００が配置されている。

各データ線６ａは、短絡用配線７００と交差するように配置されている。各データ線６ａは、図中の下側においてサンプリング回路７（図３参照）と電気的に接続されていると共に、上側において画素部９（図３参照）と電気的に接続されている。尚、各データ線６ａ間には、ダミー配線２０１又は２０２が配置されている。このダミー配線２０１及び２０２によって、各データ線６ａ間における光漏れを抑制することができ、画像品質の劣化を抑制することができる。

図５に示すように、短絡用配線７００が設けられている層と、対向電極電位線６０５が設けられている層との間に、データ線６ａ、並びにダミー配線２０１及び２０２が夫々設けられた層が配置されている。

尚、短絡用配線７００は、例えば、画像表示領域１０ａ内の走査線１１ａまたはゲート電極と同時にパターニングされて形成された導電性のポリシリコン膜からなる。また、ダミー配線２０１及び２０２は、画像表示領域１０ａ内のデータ線６ａと同時にパターニングされて形成されたアルミニウム膜等の金属膜若しくは合金膜又はその他の遮光性導電膜からなる。また、対向電極電位線６０５は、画像表示領域１０ａ内のデータ線６ａと画素電極９ａとの間に形成され所定電位が印加されるシールド層と同時にパターニングされて形成されたアルミニウム膜等の金属膜若しくは合金膜又はその他の遮光性導電膜からなる。

短絡用配線７００が設けられている層及びデータ線６ａ等が設けられている層の層間には層間絶縁膜４１が、データ線６ａ等が設けられている層及び対向電極電位線６０５が設けられている層の層間には層間絶縁膜４２が、夫々設けられており、各要素間が短絡することを防止している。尚、本実施形態に係る「層間絶縁膜４１」及び「層間絶縁膜４２」は、夫々、本発明に係る「第２絶縁膜」及び「第１絶縁膜」の一例である。

図５に示すように、対向電極電位線６０５は、層間絶縁膜４２に形成されたコンタクトホール７１０ｂ、ダミー配線２０１又は２０２、及び層間絶縁膜４１に形成されたコンタクトホール７１０ａを介して、短絡用配線７００に電気的に接続されている。

＜電子機器＞
次に、図６を参照しながら、上述した液晶装置を電子機器の一例であるプロジェクタに適用した場合を説明する。上述した液晶装置における液晶パネル１００は、プロジェクタのライトバルブとして用いられている。図６は、プロジェクタの構成例を示す平面図である。

図６に示すように、プロジェクタ１１００内部には、ハロゲンランプ等の白色光源からなるランプユニット１１０２が設けられている。このランプユニット１１０２から射出された投射光は、ライトガイド１１０４内に配置された４枚のミラー１１０６および２枚のダイクロイックミラー１１０８によってＲＧＢの３原色に分離され、各原色に対応するライトバルブとしての液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇに入射される。

液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇの構成は、上述した液晶装置と同等の構成を有しており、画像信号処理回路から供給されるＲ、Ｇ、Ｂの原色信号でそれぞれ駆動されるものである。そして、これらの液晶パネルによって変調された光は、ダイクロイックプリズム１１１２に３方向から入射される。このダイクロイックプリズム１１１２においては、ＲおよびＢの光が９０度に屈折する一方、Ｇの光が直進する。したがって、各色の画像が合成される結果、投射レンズ１１１４を介して、スクリーン等にカラー画像が投写されることとなる。

ここで、各液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇによる表示像について着目すると、液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂによる表示像は、液晶パネル１１１０Ｇによる表示像に対して左右反転することが必要となる。

尚、液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇには、ダイクロイックミラー１１０８によって、Ｒ、Ｇ、Ｂの各原色に対応する光が入射するので、カラーフィルタを設ける必要はない。

尚、図６を参照して説明した電子機器の他にも、モバイル型のパーソナルコンピュータや、携帯電話、液晶テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等が挙げられる。そして、これらの各種電子機器に適用可能なのは言うまでもない。

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置、及び該電気光学装置を備えた電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

本発明の実施形態に係る液晶装置を、素子基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図である。 図１のＨ−Ｈ´線断面図である。 本発明の実施形態に係る液晶装置の電気的な構成を概略的に示すブロック図である。 本発明の実施形態に係るデータ線、短絡用配線及び対向電極電位線を対向基板の側から見た平面図である。 図４のＡ−Ａ´線断面図である。 電気光学装置を適用した電子機器の一例たるプロジェクタの構成を示す平面図である。

符号の説明

６ａ…データ線、７…サンプリング回路、１１ａ…走査線、９ａ…画素電極、１０…素子基板、１０ａ…画像表示領域、２０…対向基板、２１…対向電極、２３…遮光膜、４１、４２…層間絶縁膜、５０…液晶層、５２…シール材、５３…額縁遮光膜、１００…液晶パネル、１０１…データ線駆動回路、１０２…外部回路接続端子、１０４…走査線駆動回路、２０１、２０２…ダミー配線、６０５…対向電極電位線、７００…短絡用配線、７１０、７１０ａ、７１０ｂ…コンタクトホール、Ｃ…切断すべき部分

Claims (4)

1. 基板上に、
   互いに交差する複数の走査線及び複数のデータ線と、
   前記複数の走査線及び前記複数のデータ線の交差に対応して設けられた複数の画素電極と、
   前記複数の画素電極が設けられた画素領域の周辺に位置する周辺領域に形成され、製造工程において前記複数の走査線を相互に短絡させる本線部及び該本線部から前記複数のデータ線と交差するように延在する延在部を有する短絡用配線と、
   所定電位が供給されると共に前記延在部に電気的に接続された定電位配線と
   を備えることを特徴とする電気光学装置。
2. 前記定電位配線は、前記基板上で平面的に見て、前記延在部に少なくとも部分的に重なるように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
3. 前記周辺領域における前記複数のデータ線のうち相隣合うデータ線間に、前記複数のデータ線と同一膜からなるダミー配線を更に備え、
   前記定電位配線は、前記複数のデータ線より第１絶縁膜を介して上層側に形成されると共に、前記ダミー配線と前記第１絶縁膜に開孔された第１コンタクトホールを介して電気的に接続され、
   前記延在部は、前記複数のデータ線より第２絶縁膜を介して下層側に形成されると共に、前記ダミー配線と前記第２絶縁膜に開孔された第２コンタクトホールを介して電気的に接続される
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
4. 請求項１乃至３のいずれか一項に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。

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