JP5042501B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
この貫通配線基板を用いた半導体装置の構造及び該基板上に形成された配線を封止する手段としては、たとえば図9及び図10に示すように、二通りが存在する。
また、貫通配線基板における前者構造の場合は、貫通配線部形成をめっきなどで行なうが、開口径が20〜100μmφ、深さ50〜250μm程度の微細な貫通孔102aを完全に埋め込むには、基板一枚当り2〜10時間程度かかってしまい、量産性がわるい。
一方、後者構造の場合は、前者構造に比べてめっき時間が短く、長くても1時間程度で形成可能である。そのため、貫通配線基板を用いた半導体装置としては、後者構造を有するものが望ましい。
図1は、半導体装置の第一構造を概念的に示す断面図である。なお、後述する実施形態においては、本実施形態と同様の構成部分については同じ符合を用い、その説明は省略することとし、特に説明しない限り同じであるものとする。
この基板2には、一方の面から他方の面へ連通するように形成された中空部からなる貫通孔2aが形成されている。また、基板2は、一方の面及び他方の面に加え、前記貫通孔2aの内壁面に絶縁部3が形成されている。この貫通孔2aは、たとえば20〜100μmφの口径で、50〜250μmの深さを有する微細孔であり、その内部に空間5aを残すように絶縁部3を介して内壁面に導電材料を被覆することにより、配線として用いられる貫通電極8が形成されている。なお、図示例では、基板2上に一つだけ貫通孔2aが形成されたものとなっているが、基板2上に形成される貫通孔2aの数は特に限定されない。
また、絶縁部3は、たとえばポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等の液状樹脂を塗布することにより形成するようにしても良い。この場合、絶縁部3は、例えばスピンコート法、キャスティング法、ディスペンス法等により、ウエハ基板1上に塗布することで形成することができる。また、絶縁部3に使われる材料は感光性をもち、フォトリソグラフィ技術を利用してパターニングすることにより形成するものも可能である。
この導電部5の材料としては、たとえばCuやAl、Ni、Auといった導電性に優れた金属材料等を用いることができ、その厚さは、たとえば0.5〜20μmである。また、導電部5は、電極4との密着性に優れると共に、導電部5を構成する元素が電極4や基板2内に拡散しない材料を用いれば、さらに好ましい。そして、導電部5は、たとえば電解銅めっき法等のめっき法などにより形成することができる。
図2乃至図6は、その製造工程の一例を順次示す断面図である。
まず、所定の位置に、一方の面から他方の面へ連通し、20〜100μmの口径を有する貫通孔2aが形成され、一方の面及び他方の面に加え、前記貫通孔2aの内壁面に絶縁部3が形成されている基板2を用意する。このような基板2としては、たとえば、直径4インチ(100mm)で厚さが150〜700μmのもの、直径6インチ(150mm)で厚さが200〜700μmのもの、直径8インチ(200mm)で厚さが350〜775μmのもの、等が挙げられる。この際、絶縁部3は、基板2の表層部及び貫通孔2aの内壁面を絶縁化処理することにより形成され、その厚さは、たとえば0.1〜3μm程度である。
そして、真空チャンバ10内を真空引きして、500−10Pa程度まで減圧する。したがって、前記空間5a内は減圧されて、陰圧状態となる。なお、ラミネートは、感光性フィルムを使用するため、イエロールーム環境下で行なわれる。
さらに、工程温度が、たとえば150℃より高温になることがないため、デバイス素子が形成されているような基板にも適用可能である。
図7は、本発明の半導体装置の第二構造を概念的に示す断面図である。
本実施形態における半導体装置11は、図7に示すとおり、一方の面に開口する凹部18が多数形成された基板12と、該基板12の少なくとも一方の面に絶縁部13を介して前記凹部18に沿って配された導電部15と、該絶縁部13及び該導電部15を覆うように配された感光性樹脂からなるフィルム16とを少なくとも備えている。
そして、加圧を解除し、ラミネートされた基板を回収した後、露光処理により、前記フィルム16に所定のパターニングを施して、たとえばフィルム16に導電部15を露出させる開口部(接続パッド)16aを形成することで、優れた耐食性を備える、図7に示すような半導体装置11とすることができる。
本実施形態における半導体装置21は、図8に示すとおり、上面が平坦な基板22と、該基板22の少なくとも一方の面に絶縁部23を介して配された大きな厚さを有する導電部25と、該絶縁部23及び該導電部25を覆うように配された感光性樹脂からなるフィルム26とを少なくとも備え、前記導電部25は、両端部側にそれぞれ段部28,28を有している。
そして、加圧を解除し、ラミネートされた基板を回収した後、露光処理により、前記フィルム26に所定のパターニングを施して、たとえばフィルム26に導電部25を露出させる開口部(接続パッド)26aを形成することで、優れた耐食性を備える、図8に示すような半導体装置21とすることができる。
Claims (1)
- 導電性を有する剛体からなり、一方の面に開口する凹部または貫通孔の少なくとも何れか一方を備える基板と、該基板の少なくとも一方の面に絶縁部を介して配された導電部と、該絶縁部及び該導電部を覆うように配された感光性樹脂からなるフィルムと、を備えた半導体装置の製造方法であって、
前記基板の一方の面に、前記絶縁部と前記導電部とを順に重ねて形成する工程Aと、
前記基板から離間させて前記導電部側に前記フィルムを配置し、該基板を熱処理する工程Bと、
減圧雰囲気において、前記導電部に前記フィルムを重ね合わせた後、加圧雰囲気に置換することにより、前記基板を覆うように前記フィルムを貼り合せ、前記凹部または前記貫通孔の内部の略全域にわたって継ぎ目が無く前記フィルムを充填する工程Cと、
露光処理により、前記フィルムに所定のパターニングを施す工程Dと、
を少なくとも順に備え、
前記基板は半導体基材からなり、前記工程Aにおいて、前記凹部または前記貫通孔の内側に、前記導電部の一部を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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