JP5020662B2 - ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、ウエハを露光毎に順次連続移動させるステージ装置の構成を示す斜視図である。図2は、図1のステージを用いてウエハを露光毎に順次連続移動させる露光装置の構成を示したものである。図1のように、ステージ装置75はステージ定盤12上を非接触で二次元方向に移動可能なステージ可動部11を有する。ステージ可動部11上面に設けられた照度センサ63は、露光光の照度を露光前にキャリブレーションのために計測し、その計測結果を露光量の補正に用いる。一方、ウエハ搬送ロボット77は、ウエハ64をステージ装置75に供給する。露光パターンの原版であるレチクルを搭載したレチクルステージ72は、ウエハ64に対して所定の縮小露光倍率比で、レチクルをスキャン動作させる。縮小投影レンズ73は、原版パターンをウエハ64に縮小投影する。また、単結晶シリコンであるウエハ64の表面には、露光光の照射で化学的に変化が生じるレジストが塗布されている。尚、本実施例では露光対象をウエハで説明しているが、液晶基板などでも良く、対象は問わない。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。基本的な構成は、実施例1と同様に図1、図2と同様であるが、補助部材13周辺の構成が実施例1と若干異なる。
さらに本実施例では熱回収ユニットの一部である高熱伝導材32が補助部材13に配置されているため、実装部品22の柔軟性を維持することができ、実装部品からステージ可動部11にかかる力を抑制することができる。すなわち、ステージ可動部11の位置決め精度を向上させることができる。
実施例1乃至4では、ステージ可動部11に接続された実装部品のうち、ステージ可動部11外に引き出された実装部品の温度変化による影響を抑制する例について説明してきた。
次に、実施例5で示した構成をさらに発展させた実施形態を以下に示す。本実施例においても、基本的な構成は他の実施例と同様に図1、図2に基づいており、ステージ可動部11周辺の構成に関して発展させた形態である。本実施例で特に言及しない箇所は実施例5と同様であるものとする。図9は、本実施形態を説明した図であり、図7で示したステージ可動部11の側部に排気口を備える排気口部材87を追加した構成を示している。排気口部材87は、微動ステージ部91と粗動ステージ部92との隙間の空気を均一、かつ効率的に排気に出来るように、圧力調整部品88を有した部品である。圧力調整部品88とは、排気口全体で均一に排気可能なように、排気口部材内の圧力を調整するものである。これにより、排気流量が排気口内で偏ることを抑制している。具体的には圧力損失調整用フィルターであったり、複数の穴を排気口全体にわたって設けた板部材であったりする。また、排気口部材87は、ウエハの微動位置決めに影響を与えないように粗動ステージ部92に固定されている。
次に、図9及び図10を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。
12 ステージ定盤
13 補助部材
14 動力・信号電源
15 干渉計光路
16 干渉計ミラー
22 実装部品
22a 配線
22b 冷媒供給配管
22c 冷媒戻り配管
23 断熱材
31 配管や配線
32 高熱伝導材料
41 包囲部材
43 熱排気空間
63 照度センサ
64 ウエハ
71 照明系ユニット
72 レチクルステージ
73 縮小投影レンズ
74 露光装置本体
75 ステージ装置
76 フォーカススコープ
77 ウエハ搬送ロボット
78 アライメントスコープ
81 電磁継手
82 センサ
83 自重補償機構
85 実装部品
86 真空吸引配管
87 排気口部品
88 圧力調整部品
91 微動ステージ部
92 粗動ステージ部
Claims (10)
- 定盤上を非接触に移動可能なステージ可動部と、前記ステージ可動部の位置を計測する干渉計と、前記ステージ可動部に接続された配管または配線を備えるステージ装置であって、
前記配管または配線の軸方向に接続された複数の構成物を含み、前記配線または配管を案内する補助部材と、
前記配管または配線から前記干渉計の計測光が通過する空間に伝わる熱を低減するように前記補助部材の前記構成物に支持された断熱シートとを備えることを特徴とするステージ装置。 - 前記補助部材を覆う包囲部材と、前記包囲部材の内部空間を排気する排気手段とを備えることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 前記断熱シートは複数の断熱シートを含み、前記複数の構成物の各々に取り付けられることを特徴とする請求項1または2に記載のステージ装置。
- 前記断熱シートは、熱伝導率が0.1W/m・℃以下の材質を含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載にステージ装置。
- 前記断熱シートの熱伝導率は、前記補助部材の熱伝導率の1/2以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 前記配管または配線は複数の配管または配線を有し、
内部に温調された冷媒が流れる配管が外側に配置するように束ねられることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のステージ装置。 - 前記ステージ可動部を駆動する平面モータを備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 前記配管または配線は複数の配管または配線を有し、前記補助部材は複数の配管または配線を案内することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 請求項1乃至8のいずれか1項に記載のステージ装置を用いて基板または原版を位置決めすることを特徴とする露光装置。
- 請求項9に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、前記露光された基板を現像する工程とを備えることを特徴とするデバイス製造方法。
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