JP5016340B2 - 蛍光顕微鏡 - Google Patents
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Description
そして、上記制御部39は、上記各構成要素が適切に動作するように制御するものである。
先ず、キーボード等からなる操作手段により、対物レンズ4の変位速度、対物レンズ4が全変位範囲を一方向に移動する間に光検出装置6によって撮像される画像の枚数、DMD3のマイクロミラー16の駆動パターン等の各種測定用パラメータ、光源装置2及び光検出装置6の回転式フィルタ13,21のフィルタ名が入力される。次に、検査対象物11がステージ1上の所定位置に載置される。そして、観察用カメラ8の撮像画像に基づいて手動によりステージ1がXYZの三軸方向に移動され、検査対象物11の所定位置が対物レンズ4の視野内に配置される。なお、このとき、蛍光顕微鏡は初期状態にセットされており、対物レンズ4は変位範囲の例えば最下限に位置し、蛍光物質注入装置9のノズル26は図1に示す矢印D方向に後退している。
2…光源装置
3…DMD(ビーム光照射手段)
4…対物レンズ
6…光検出装置
7…変位手段
8…観察用カメラ
9…蛍光物質注入装置
10…制御手段
11…検査対象物
12…白色光源
13,21…回転式フィルタ
16…マイクロミラー
20…受光部
26…ノズル
27…タンク
37…メモリ
40…蛍光物質
Claims (6)
- 自由に移動する蛍光物質を有した検査対象物を載置して少なくとも二次元平面内を移動するステージと、
前記ステージの上方に設けられ、光源装置から放射される所定波長の光を入力して複数のビーム光を発生し、前記検査対象物に照射するビーム光照射手段と、
前記ビーム光照射手段から照射された複数のビーム光を前記検査対象物上に集光する対物レンズと、
前記各ビーム光の照射により前記蛍光物質が励起されて発生する複数の蛍光を、前記ビーム光照射手段を介して二次元の受光部で受光する光検出装置と、
前記対物レンズの前記ステージに対する相対的高さ位置を変位させる変位手段と、
前記蛍光物質から発生した蛍光が前記光検出手段の受光部で受光されるように前記蛍光物質の移動に追従して前記ステージを移動させると共に、前記変位手段を制御して前記対物レンズの前記相対的高さ位置を変位させながら、前記各ビーム光の照射位置の平面座標、及び前記変位手段から入手した前記対物レンズの相対的高さ位置情報、並びに前記光検出装置で受光された各蛍光の輝度情報に基づいて前記蛍光物質の三次元画像データを生成し、該三次元画像データと、前記対物レンズから前記ビーム光照射手段へ向かう光路が分岐された光路上に配設された観察用カメラで撮像された前記検査対象物の二次元画像データとを合成して表示部にその合成画像を表示させる制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、前記光源装置の光源を点灯させると同時に、該光源から放射される複数波長の光から前記検査対象物の蛍光物質を励起させて蛍光を発生させるのに好適な波長の光を自動選択すると共に、前記光検出装置をオン駆動すると同時に、該光検出装置で前記検査対象物の蛍光物質が励起されて発光する蛍光を前記選択された波長の光と分離して受光し得るようにすることを特徴とする蛍光顕微鏡。 - 前記対物レンズの側方に、前記検査対象物に前記蛍光物質を注入するための細長状のノズルと、該ノズルに所定の蛍光物質を供給するタンクとを備えた蛍光物質注入装置を前記ノズルの先端部が前記対物レンズの視野内に位置するように配設したことを特徴とする請求項1記載の蛍光顕微鏡。
- 前記制御手段は、生成された前記蛍光物質の前記三次元画像データに含まれる三次元位置情報に基づいて前記蛍光物質の位置情報を取得し、該位置情報と一つ前の位置情報とを比較して前記蛍光物質の移動方向及び移動量を算出し、前記ステージを前記蛍光物質の移動方向と反対方向に前記蛍光物質の移動量と同じだけ移動することを特徴とする請求項1又は2記載の蛍光顕微鏡。
- 前記光源装置は、前記光源から前記ビーム光照射手段に向かう光路上に設けられ透過光の波長帯域が異なる複数種のフィルタを円周方向に配置した回転式フィルタを備え、
前記光検出装置は、二次元の受光部、及び前記ビーム光照射手段から前記光源装置へ向かう光路が分岐された光路上にて前記受光部の手前側に設けられ透過光の波長帯域が異なる複数種のフィルタを円周方向に配置した回転式フィルタを備えた、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の蛍光顕微鏡。 - 前記ビーム光照射手段は、前記制御手段によって個別に駆動制御されて傾動する複数のマイクロミラーをマトリクス状に配設したマイクロミラーデバイスであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の蛍光顕微鏡。
- 前記制御手段は、前記変位手段を駆動して前記対物レンズをその光軸方向に変位させながら、前記複数の蛍光の輝度データを取得してメモリに記憶されている輝度データと比較し、前記取得した輝度データが前記メモリに記憶されている輝度データを上回ると該輝度データを新たな輝度データに更新し、この更新が一定回数保持されると最後に更新された輝度データをピーク輝度と定めて、このときの前記対物レンズの相対的高さ位置情報に前記メモリに記憶されている位置情報を書き換え、前記各ビーム光の照射位置の平面座標、前記メモリに記憶された前記複数の蛍光のピーク輝度情報及び該各ピーク輝度情報に対応する前記対物レンズの相対的高さ位置情報に基づいて前記蛍光物質の三次元画像データを作成することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の蛍光顕微鏡。
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