JP5009738B2 - 加圧装置および加圧方法 - Google Patents
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Description
110 貼付装置
120 仮圧着装置
130 本圧着装置
140 搬送装置
150 基板
160 部品
200 圧着装置
201 基台
201a 下受部
202 柱体
203 押圧ヘッド
204 移動ガイド
205 流体圧シリンダ
206 シリンダ
207 ピストン
208 ピストンロッド
210 弾性部材
212 係止部
213 加圧力制御部
214 サーボモータ
216 制御部
218 ボールネジ
220 可動支持体
Claims (3)
- 加圧対象物を加圧する加圧装置であって、
前記加圧対象物を支持する下受部と、
前記下受部を備える基台に固定的に立設される柱体と、
前記柱体に沿って移動可能であり、前記下受部上の前記加圧対象物を押圧する押圧体と、
前記柱体に対して固定的に設けられ、前記加圧対象物を押圧するための圧力を前記押圧体にかける流体圧シリンダと、
前記押圧体の重さを打ち消すことが可能な弾性を有する弾性部材と、
前記弾性部材を介して前記押圧体の重さを打ち消すように前記流体圧シリンダの加圧対象物に対する加圧方向とは反対側から、前記柱体に固定的に設けられた前記流体圧シリンダに対し摺動可能に動作する前記押圧体を支持し、前記押圧体を前記柱体に沿って移動させる可動支持体とを備える
ことを特徴とする加圧装置。 - さらに、
前記可動支持体を移動させる駆動源と、
前記押圧体が移動するとともに前記可動支持体が移動するように前記駆動源を制御する制御部とを備え、
前記押圧体は、
前記流体圧シリンダの内部を摺動するピストンと、
前記ピストンの摺動する少なくとも一方向に向かい前記ピストンから延出されるピストンロッドと、
前記ピストンロッドの下方側端部に設けられ、前記加圧対象物を押圧する押圧ヘッドと、
前記押圧ヘッドを加熱するヒータとを有する
ことを特徴とする請求項1に記載の加圧装置。 - 柱体に対して固定的に設けられ、加圧対象物を加圧する方向に押圧するための圧力を押圧体にかける流体圧シリンダに圧力を発生させる第1制御ステップと、
前記第1制御ステップにて圧力を発生させて、加圧する方向に対する前記押圧体の重さを打ち消すことが可能な弾性を有する弾性部材を介して前記押圧体の重さを打ち消すように加圧する方向とは反対側から前記押圧体を支持し、かつ、前記柱体に固定的に設けられた前記流体圧シリンダに対し摺動可能に動作する前記押圧体を支持する可動支持体の前記押圧体を加圧する方向への移動を開始させる移動開始ステップと、
加圧対象物の厚さに応じた前記可動支持体の移動量を取得する移動量取得ステップと、
前記移動開始ステップにて前記可動支持体の移動が開始した後に、前記移動量取得ステップにて予め取得された前記移動量を前記可動支持体が移動した時に、前記可動支持体の移動を終了させる移動終了ステップとを含む
ことを特徴とする加圧方法。
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