JP4995231B2 - 光学フィルタ - Google Patents
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Description
そしてこの開口を周期的に配列することで光学フィルタを構成している。図(a)のBB’断面を図(b)に示す。
さらに開口がアレイ状に配列している場合にも、FFが透過率に影響する。
さらに、金属薄膜表面上の表面プラズモンの励起条件と開口内部に存在する局在プラズモンの励起条件は異なるため、金属薄膜表面上の表面プラズモンが開口内部の局在プラズモンと結合する際にも必ず損失が生ずるのである。このこともまた、透過率低下の要因となる。
図2において、透過率201は、遮光部材としてAlを用い、1辺が180nmの正方形開口を周期350nmで正方格子状に設けた場合(FF=約74%)、
透過率202は1辺が220nmの正方形開口を同様に設けた場合(FF=60%)、
透過率203は1辺が280nmの正方形開口を同様に設けた場合(FF=36%)のグラフである。透過率204は1辺が300nmの正方形開口の場合(FF=約26%)、透過率205は1辺が156nmの正方形開口の場合である(FF=80%)。
図1(b)は本発明に係る第1の実施形態である光学フィルタの上面図であり、図1(a)はA−A´の断面図である。
図8は、上記の構造を用いて数値計算を行った結果を示すグラフである。このグラフは、透過強度の波長依存性を示すものである。
以下、金属薄膜構造体を構成するパラメータと光学特性の関係について説明する。
本実施形態では、ベイヤー配列となっているRGBフィルタについて説明する。
図10は、正方形開口の一部をなす開口が三角格子状に配列されている実施形態を示した図である。三角格子配列にした場合には、格子の単位ベクトル成分が直交していないため、正方格子状の配列と比較してフィルタの光学特性の入射光偏光に対する依存性や斜入射によるスペクトル変化を抑制できる。
本実施形態でも、第3の実施形態と同じく、複数の開口群が位置をずらせて並置されている例について説明する。
ここでは、RGBの透過フィルタの作製方法と光学特性について説明する。
本実施例ではベイヤー配列のRGBフィルタの作製方法と光学特性について説明する。
実施例3では積層フィルタの作製方法と光学特性について説明する。
120 金属薄膜構造体
121 界面
122 界面
123 界面対
124 界面群
125 開口部
130 誘電体層
140 第1の方向
141 長さ
145 周期
150 第2の方向
151 第2の長さ
155 周期
160 厚さ
Claims (22)
- 基板の表面上に開口部を備えた遮光性の導電体層を配して構成され、第一の波長の光を選択的に透過せしめる光学フィルタであって、
前記導電体層に接して形成された誘電体層を備え、
前記開口は、直交する2つの方向に有限の第一の波長以下の大きさを有すると共に、前記表面上に格子状に複数設けられており、前記基板表面の面積に対する前記導電体層の面積の割合が、36%以上74%以下の範囲にあり、
前記導電体層に入射する光により前記開口部に誘起される局在プラズモンにより前記第一の波長の透過率を極大値とさせることを特徴とする光学フィルタ。 - 前記局在プラズモンの波長は、前記開口の大きさに起因することを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記第一の波長は可視域にあることを特徴とする請求項1または2に記載の光学フィルタ。
- 前記開口の形状が円形、正多角形のいずれかであることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の光学フィルタ。
- 前記導電体層の層厚は、可視域の光の波長以下の長さである請求項1から4のいずれかに記載の光学フィルタ。
- 前記導電体層がAlもしくはAlを含む合金で構成されたことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の光学フィルタ。
- 前記基板は、誘電体からなることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の光学フィルタ。
- 前記誘電体が酸化ケイ素、酸化チタン、窒化シリコンのいずれかで構成されることを特徴とする請求項7に記載の光学フィルタ。
- 前記開口の径が220nm以上270nm以下の範囲にあり、厚さは10nm以上200nm以下の範囲にあり、配列周期が310nm以上450nm以下の範囲にあって、透過スペクトルの極大値が波長600nm以上700nm以下の範囲に発現することを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の光学フィルタ。
- 前記開口の径が180nm以上220nm未満の範囲にあり、厚さは10nm以上200nm以下の範囲にあり、配列周期が250nm以上310nm以下の範囲にあって、透過スペクトルの極大値が波長500nm以上600nm未満の範囲に発現することを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の光学フィルタ。
- 前記開口の径が100nm以上180nm未満の範囲にあり、厚さは10nm以上200nm以下の範囲にあり、配列周期が170nm以上250nm以下の範囲にあって、透過スペクトルの極大値が波長400nm以上500nm未満の範囲に発現することを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の光学フィルタ。
- 前記基板の面内方向に、前記複数の開口からなる開口群とは、異なる別の開口群を有し、前記開口群と、前記別の開口群と、はこれら開口群を構成する開口の周期が互いに異なり、これらの開口群が前記基板上の相違した領域に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記複数の開口を第1の開口として構成される第1の開口群とは別に、前記基板の面内方向の相違した領域に複数の第2の開口からなる第2の開口群を有し、前記第2の開口は前記第1の開口とは異なる大きさを有し、前記第2の開口群は、前記第一の波長とは異なる第二の波長の光の透過率を極大値とさせることを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記複数の開口を第1の開口として構成される第1の開口群の複数が、前記基板の同一平面上に、群どうしの位置をずらせて並置されていることを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記複数の第1の開口群は、群を構成する開口の周期が互いに異なることを特徴とする請求項14に記載の光学フィルタ。
- 前記複数の開口を第1の開口として構成される第1の開口群と、前記第1の開口とは異なる大きさを有する複数の第2の開口からなる第2の開口群と、が前記基板の同一平面上に、群どうしの位置をずらせて並置されていることを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記導電体層が、前記基板上に複数層配置されていることを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。
- 半導体基板に形成された光電変換部と、前記光電変換部に光を導くレンズと、電気回路部と、請求項1から17のいずれかに記載の光学フィルタと、を備えたことを特徴とする光検出素子。
- 請求項18に記載の光検出素子をマトリクス状に複数配置したこと特徴とする撮像素子。
- CMOSセンサを構成することを特徴とする請求項19に記載の撮像素子。
- 撮影レンズと、撮像素子と、を備えたカメラであって、前記撮像素子が請求項19または20に記載の撮像素子であることを特徴とするカメラ。
- 複数の画素を備えたセンサと、請求項1から17のいずれかに記載の光学フィルタと、を有することを特徴とする分光素子。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9513415B2 (en) | 2013-08-05 | 2016-12-06 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical filter configured to transmit light of a predetermined wavelength |
Families Citing this family (53)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101058861B1 (ko) * | 2009-05-11 | 2011-08-23 | (주)실리콘화일 | 포토 리소그래피 공정이 가능한 금속 광학 필터 및 이를 포함하는 이미지 센서 |
JP2011043681A (ja) * | 2009-08-21 | 2011-03-03 | Canon Inc | 光学素子、光検出素子、光変調素子、撮像素子及びカメラ |
KR101274591B1 (ko) * | 2009-12-18 | 2013-06-13 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표면 플라즈몬을 이용한 컬러필터와 액정표시장치 및 그 제조방법 |
KR101313654B1 (ko) | 2009-12-18 | 2013-10-02 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표면 플라즈몬을 이용한 컬러필터와 액정표시장치 및 그 제조방법 |
JP5741888B2 (ja) * | 2010-03-16 | 2015-07-01 | 株式会社豊田中央研究所 | 光学フィルタ及び表示装置 |
KR20110107603A (ko) | 2010-03-25 | 2011-10-04 | 삼성전자주식회사 | 표면 플라즈몬과 high-k 물질을 이용한 반사 방지구조 및 그 제조방법 |
JP5620576B2 (ja) * | 2010-07-15 | 2014-11-05 | フラウンホッファー−ゲゼルシャフト ツァ フェルダールング デァ アンゲヴァンテン フォアシュンク エー.ファオ | 特に多重チャンネルの周波数選択的測定のための光学的バンドパスフィルタシステム |
JP5549495B2 (ja) * | 2010-09-13 | 2014-07-16 | 大日本印刷株式会社 | 光学素子、その製造方法及びその使用方法 |
JP2012064703A (ja) * | 2010-09-15 | 2012-03-29 | Sony Corp | 撮像素子および撮像装置 |
DE102011101635A1 (de) | 2011-05-16 | 2012-11-22 | Giesecke & Devrient Gmbh | Zweidimensional periodisches, farbfilterndes Gitter |
JP5713856B2 (ja) * | 2011-09-26 | 2015-05-07 | 株式会社東芝 | 光透過型金属電極、電子装置及び光学素子 |
FR2982038B1 (fr) | 2011-10-28 | 2013-11-15 | Hologram Ind | Composant optique de securite a effet reflectif, fabrication d'un tel composant et document securise equipe d'un tel composant |
US9958320B2 (en) * | 2012-05-07 | 2018-05-01 | Elmos Semiconductor Ag | Apparatus for selectively transmitting the spectrum of electromagnetic radiation within a predefined wavelength range |
US9063072B1 (en) * | 2012-06-12 | 2015-06-23 | Maven Technologies, Llc | Birefringence correction for imaging ellipsometric bioassay system and method |
US9274005B2 (en) * | 2012-08-23 | 2016-03-01 | Robert Bosch Gmbh | Device and method for increasing infrared absorption in MEMS bolometers |
JPWO2014087927A1 (ja) * | 2012-12-06 | 2017-01-05 | シャープ株式会社 | 光学フィルター |
US10197716B2 (en) | 2012-12-19 | 2019-02-05 | Viavi Solutions Inc. | Metal-dielectric optical filter, sensor device, and fabrication method |
US9568362B2 (en) * | 2012-12-19 | 2017-02-14 | Viavi Solutions Inc. | Spectroscopic assembly and method |
KR101467988B1 (ko) * | 2013-03-07 | 2014-12-10 | 광운대학교 산학협력단 | 대역폭 가변 광 필터 |
JP6292766B2 (ja) * | 2013-05-08 | 2018-03-14 | 株式会社豊田中央研究所 | 光学フィルタ |
JP2015022109A (ja) * | 2013-07-18 | 2015-02-02 | 旭化成株式会社 | 光学フィルタ及び光学フィルタ積層体 |
JP6214285B2 (ja) * | 2013-09-04 | 2017-10-18 | シャープ株式会社 | カラーセンサ |
WO2015033611A1 (ja) * | 2013-09-04 | 2015-03-12 | シャープ株式会社 | 光学フィルター及び撮像素子 |
JP2015087526A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | 旭化成株式会社 | 赤外線用バンドパスフィルタ |
JP6390090B2 (ja) | 2013-11-19 | 2018-09-19 | セイコーエプソン株式会社 | 光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
TWI509632B (zh) * | 2014-12-05 | 2015-11-21 | Nat Univ Tsing Hua | 採用超材料高通濾波器之透明導電電極 |
TWI541493B (zh) * | 2015-09-01 | 2016-07-11 | 國立交通大學 | 一種分光器及其光譜儀 |
JP7257146B2 (ja) * | 2016-06-03 | 2023-04-13 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 空間的に変異する微細複製層を有する光学フィルタ |
JP6926706B2 (ja) * | 2016-06-17 | 2021-08-25 | 株式会社リコー | 固体撮像素子の製造方法 |
KR102294845B1 (ko) * | 2016-08-02 | 2021-08-30 | 삼성전자주식회사 | 광학필터, 광학 디바이스, 및 광학필터의 제조방법 |
KR102020956B1 (ko) * | 2016-08-30 | 2019-10-18 | 삼성전자주식회사 | 광학필터 및 이를 이용한 광학 디바이스 |
JP6789792B2 (ja) * | 2016-12-13 | 2020-11-25 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子、電子機器 |
CN111051964B (zh) | 2017-05-22 | 2022-03-11 | 乐卓博大学 | 光学显微镜检查的图像对比度增强 |
CN109407189B (zh) * | 2017-08-18 | 2021-05-04 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 紫外光复合光栅及等离子装置 |
US10381397B2 (en) * | 2017-11-14 | 2019-08-13 | Black Sesame International Holding Limited | Nano metallic planar apex optical detector |
KR20230074638A (ko) * | 2018-04-16 | 2023-05-30 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 임시 및 영구 접합을 사용하는 다중 적층 광학 요소들 |
EP3617757B1 (en) * | 2018-08-27 | 2021-02-24 | CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement | Optical filter, optical filter system, spectrometer and method of fabrication thereof |
DE112019006351T5 (de) * | 2018-12-20 | 2021-08-26 | Avx Corporation | Mehrschichtfilter, umfassend eine durchkontaktierung mit geringer induktivität |
JP2022515134A (ja) | 2018-12-20 | 2022-02-17 | エイブイエックス コーポレイション | 高周波数多層フィルタ |
JP7288055B2 (ja) | 2018-12-20 | 2023-06-06 | キョーセラ・エイブイエックス・コンポーネンツ・コーポレーション | 少なくとも2つのビアと接続されたコンデンサを備える多層フィルタ |
WO2020132187A1 (en) | 2018-12-20 | 2020-06-25 | Avx Corporation | Multilayer electronic device including a high precision inductor |
WO2020132025A1 (en) | 2018-12-20 | 2020-06-25 | Avx Corporation | Multilayer filter including a return signal reducing protrusion |
JP7355827B2 (ja) | 2018-12-20 | 2023-10-03 | キョーセラ・エイブイエックス・コンポーネンツ・コーポレーション | 精密に制御された容量性エリアを有するコンデンサを備える多層電子デバイス |
GB201902046D0 (en) | 2019-02-14 | 2019-04-03 | Teledyne E2V Uk Ltd | Biased idf photodetector |
CN109901253B (zh) * | 2019-03-22 | 2020-06-09 | 江南大学 | 一种表面等离子体滤波器 |
CN110112156B (zh) * | 2019-04-23 | 2021-06-01 | Oppo广东移动通信有限公司 | 一种像素结构、cmos图像传感器和终端 |
CN109951660B (zh) * | 2019-04-23 | 2021-09-03 | Oppo广东移动通信有限公司 | 一种像素结构、cmos图像传感器、图像信号处理器和终端 |
CN110049261B (zh) * | 2019-04-23 | 2022-04-12 | Oppo广东移动通信有限公司 | 一种像素结构、图像传感器及终端 |
CN110324545B (zh) * | 2019-06-11 | 2022-01-28 | Oppo广东移动通信有限公司 | 一种像素结构、图像传感器及终端 |
CN110310969B (zh) * | 2019-07-08 | 2022-11-08 | Oppo广东移动通信有限公司 | 一种像素结构、cis和终端 |
CN110346313A (zh) * | 2019-07-31 | 2019-10-18 | 清华大学 | 一种光调制微纳结构、微集成光谱仪及光谱调制方法 |
JP2021107786A (ja) * | 2019-12-27 | 2021-07-29 | 富士通株式会社 | 光センサ |
CN111811651B (zh) * | 2020-07-23 | 2024-06-18 | 清华大学 | 光谱芯片、光谱仪及光谱芯片制备方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5973316A (en) | 1997-07-08 | 1999-10-26 | Nec Research Institute, Inc. | Sub-wavelength aperture arrays with enhanced light transmission |
US6236033B1 (en) * | 1998-12-09 | 2001-05-22 | Nec Research Institute, Inc. | Enhanced optical transmission apparatus utilizing metal films having apertures and periodic surface topography |
US6818907B2 (en) * | 2000-10-17 | 2004-11-16 | The President And Fellows Of Harvard College | Surface plasmon enhanced illumination system |
US7154820B2 (en) * | 2003-01-06 | 2006-12-26 | Nec Corporation | Optical element for enhanced transmission of light and suppressed increase in temperature |
KR20060130543A (ko) | 2003-08-06 | 2006-12-19 | 유니버시티 오브 피츠버그 오브 더 커먼웰쓰 시스템 오브 하이어 에듀케이션 | 표면 플라즈몬-강화 나노-광 소자 및 그의 제조 방법 |
EP1721194A4 (en) * | 2003-12-05 | 2010-01-13 | Univ Pittsburgh | NANO-OPTICAL METAL LENSES AND BEAMFORMING DEVICES |
US7110154B2 (en) * | 2004-06-10 | 2006-09-19 | Clemson University | Plasmon-photon coupled optical devices |
WO2006102275A2 (en) * | 2005-03-21 | 2006-09-28 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Multi-layer subwavelength structures for imparting controllable phase delay |
WO2007100112A1 (en) * | 2006-02-28 | 2007-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for designing light transmission device, optical element and sensor |
FR2900279B1 (fr) * | 2006-04-19 | 2008-06-06 | Commissariat Energie Atomique | Filtre spectral micro-structure et capteur d'images |
JP5300344B2 (ja) * | 2007-07-06 | 2013-09-25 | キヤノン株式会社 | 光検出素子及び撮像素子、光検出方法及び撮像方法 |
JP4621270B2 (ja) * | 2007-07-13 | 2011-01-26 | キヤノン株式会社 | 光学フィルタ |
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2012
- 2012-04-02 KR KR1020120033955A patent/KR101253006B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
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