JP4992911B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims description 90
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 67
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 67
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 58
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 51
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 51
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 10
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 174
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 13
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 9
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 241000345998 Calamus manan Species 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 1
- 235000012950 rattan cane Nutrition 0.000 description 1
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
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- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02551—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of quartz substrates
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- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02574—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of combined substrates, multilayered substrates, piezoelectrical layers on not-piezoelectrical substrate
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Description
「ZnO膜/水晶構造を用いた小型、低損失フィルタ」第31回EMシンポジウム、pp、87−94(2002/5)
=|ΔV/λ|/(V/λ)α|ΔF|/F…式(1)
上記比帯域幅0.85%を確保した上で、共振子型の弾性表面波フィルタ装置を小型化するには、IDT電極の電極指の反射係数を高めることが求められる。しかしながら、従来、共振子型の弾性表面波フィルタ装置において、反射係数を十分に高めることは困難であり、従って、上記のような要求に応える共振子型の弾性表面波フィルタ装置を実現することはできなかった。
2…圧電基板
3…IDT電極
4…圧電膜
5,6…反射器
Claims (7)
- オイラー角が(0°±5°,0°〜140°,0°±40°)である水晶からなる圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されており、かつ複数本の電極指を有するIDT電極と、
前記IDT電極を覆うように前記圧電基板上に形成されており、かつc軸配向のZnOからなる圧電膜とを備え、
前記圧電膜の表面に前記IDT電極の厚みに対応した凸部が形成されており、弾性表面波としてレイリー波が利用される弾性表面波装置において、
前記IDT電極が、Au、Ta、W、Pt、Cu、Ni及びMoからなる群から選択された少なくとも1種の金属を主体とする金属材料からなり、弾性表面波の波長λとした場合、前記IDT電極において主体となる金属と、前記IDT電極の弾性表面波の波長で規格化した規格化膜厚と、前記圧電膜の弾性表面波の波長で規格化した規格化膜厚とが、下記の表1で示す各組み合わせの範囲内とされていることを特徴とする、弾性表面波装置。
- 前記水晶からなる圧電基板のオイラー角が、(0°±5°,105°〜140°,0°±40°)の範囲内にある、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性表面波装置。
- 前記金属材料が、Au、Ta、W、Pt、Cu、Ni及びMoからなる群から選択した少なくとも1種の金属、または該金属を主成分とする合金である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性表面波装置。
- 前記金属材料が、複数の金属膜を積層した積層金属膜からなり、積層金属膜全体における主たる成分が、Au、Ta、W、Pt、Cu、Ni及びMoからなる群から選択された少なくとも1種の金属もしくは該金属を主成分とする合金である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性表面波装置。
- オイラー角が(0°±5°,105°〜140°,0°±40°)である水晶からなる圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されており、複数本の電極指を有するIDT電極と、
前記IDT電極を覆うように前記圧電基板上に形成されたc軸配向ZnOからなる圧電膜とを備え、
前記圧電膜の表面に前記IDT電極の厚みに対応した凸部が形成されており、
弾性表面波としてレイリー波が利用される弾性表面波装置において、
前記IDT電極がAu、Ta、W、Pt、Cu、Ni及びMoからなる群から選択された複数の金属の積層金属膜からなり、
前記積層金属膜を構成する各金属膜の膜厚Tと各金属膜を構成している金属の密度との積の総和を、前記積層金属膜を構成する各金属膜の膜厚Tの総和で除算した商を平均密度とし、弾性境界波波長をλとすると、前記平均密度、前記IDT電極の規格化膜厚及び前記ZnO膜の規格化膜厚が、下記の表4に示す各組み合わせの範囲内であることを特徴とする、弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008552078A JP4992911B2 (ja) | 2006-12-27 | 2007-12-13 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006352091 | 2006-12-27 | ||
JP2006352091 | 2006-12-27 | ||
PCT/JP2007/074018 WO2008081695A1 (ja) | 2006-12-27 | 2007-12-13 | 弾性表面波装置 |
JP2008552078A JP4992911B2 (ja) | 2006-12-27 | 2007-12-13 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008081695A1 JPWO2008081695A1 (ja) | 2010-04-30 |
JP4992911B2 true JP4992911B2 (ja) | 2012-08-08 |
Family
ID=39588379
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008552078A Active JP4992911B2 (ja) | 2006-12-27 | 2007-12-13 | 弾性表面波装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7626314B2 (ja) |
EP (1) | EP2099129A4 (ja) |
JP (1) | JP4992911B2 (ja) |
CN (1) | CN101584115B (ja) |
WO (1) | WO2008081695A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101534654B1 (ko) * | 2010-12-24 | 2015-07-07 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치 및 그 제조 방법 |
WO2016111262A1 (ja) * | 2015-01-07 | 2016-07-14 | 株式会社村田製作所 | 複合フィルタ装置 |
CN114665840A (zh) * | 2015-10-23 | 2022-06-24 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
JP6601503B2 (ja) * | 2015-10-23 | 2019-11-06 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
CN116599494A (zh) * | 2016-11-18 | 2023-08-15 | 株式会社村田制作所 | 声表面波滤波器以及多工器 |
KR101953219B1 (ko) * | 2016-11-24 | 2019-02-28 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치, 고주파 프론트 엔드 회로 및 통신 장치 |
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CN107041751A (zh) * | 2017-04-01 | 2017-08-15 | 浙江大学 | 一种呼吸状态检测***及无线无源的声表面波传感器 |
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JPH01292908A (ja) | 1988-05-20 | 1989-11-27 | Hitachi Ltd | 弾性表面波フィルタ |
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JP3301399B2 (ja) | 1998-02-16 | 2002-07-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
JP3568025B2 (ja) | 1999-05-14 | 2004-09-22 | 株式会社村田製作所 | 表面波装置及び通信機装置 |
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JP2005142629A (ja) | 2003-11-04 | 2005-06-02 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子およびその製造方法 |
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JP4548088B2 (ja) | 2004-10-20 | 2010-09-22 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波装置 |
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-
2007
- 2007-12-13 EP EP07850538.5A patent/EP2099129A4/en not_active Withdrawn
- 2007-12-13 WO PCT/JP2007/074018 patent/WO2008081695A1/ja active Application Filing
- 2007-12-13 JP JP2008552078A patent/JP4992911B2/ja active Active
- 2007-12-13 CN CN2007800479298A patent/CN101584115B/zh active Active
-
2009
- 2009-06-03 US US12/477,282 patent/US7626314B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2008081695A1 (ja) | 2010-04-30 |
WO2008081695A1 (ja) | 2008-07-10 |
EP2099129A4 (en) | 2014-03-26 |
CN101584115A (zh) | 2009-11-18 |
CN101584115B (zh) | 2012-09-05 |
EP2099129A1 (en) | 2009-09-09 |
US20090237181A1 (en) | 2009-09-24 |
US7626314B2 (en) | 2009-12-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110726 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110922 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20111206 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120302 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120423 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150518 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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