JP4984400B2 - 固体撮像素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図2及び図3を参照して、本実施例に係る固体撮像素子の製造方法について説明する。
図2及び図5を参照して、本実施例に係る固体撮像素子の製造方法について説明する。
Claims (13)
- 半導体基板に2次元的に配置された光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに対応して前記半導体基板上に配設された、複数色の色フィルターパターンを有するカラーフィルターと、該半導体基板上の一部または全部に形成された平坦化層を具備する固体撮像素子の製造方法であって、
前記複数色の色フィルターパターンは、所定の色フィルター層をドライエッチングによりパターニングする形成工法と、他の色フィルター層をフォトリソグラフィーによりパターニングする形成工法とによって形成され、
前記複数色の色フィルターパターンのうち少なくとも最初に形成される色フィルターパターンを、色フィルター層の不要部とその下層の平坦化層をドライエッチングすることにより形成する工程、及び
他の色フィルターパターンをフォトリソグラフィーによりパターニングして形成する工程を有し、
前記ドライエッチングにより形成された色フィルターパターンと前記フォトリソグラフィーにより形成された他の色フィルターパターンとが接していることを特徴とする固体撮像素子の製造方法。 - 前記所定の色フィルターをドライエッチングによりパターニングする形成工法は、該所定の色フィルター層の不要部とその下層の平坦化層を半導体基板に到達するまでドライエッチングする工法であることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記複数色のフィルターパターンのうち最も面積の広い色フィルターパターンをドライエッチングによりパターニングすることを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記複数色のフィルターパターンはグリーンフィルターパターン、レッドフィルターパターン、ブルーフィルターパターンを含み、該グリーンフィルター及びレッドフィルターのいずれかあるいは両方を前記ドライエッチングによりパターニングすることを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記ドライエッチングによりパターニングされる色フィルター層は少なくとも熱硬化性を有する樹脂を含み、前記フォトリソグラフィーによりパターニングされる色フィルター層は少なくとも光硬化性を有する樹脂を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の固体撮像素子の製造方法。
- 半導体基板に2次元的に配置された光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに対応して前記半導体基板上に配設された、複数色の色フィルターパターンを有するカラーフィルターと、該半導体基板上の一部または全部に形成された平坦化層を具備する固体撮像素子であって、
前記複数色の色フィルターパターン下の平坦化層は、ドライエッチングによって形成されたある色フィルターパターンと、前記ドライエッチングによってある色フィルターパターンを形成した後にフォトリソグラフィーによって形成された他の色フィルターパターンとの間で厚みが異なり、
前記ドライエッチングにより形成された色フィルターパターンと前記フォトリソグラフィーにより形成された他の色フィルターパターンとが接していることを特徴とする固体撮像素子。 - 半導体基板に2次元的に配置された光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに対応して前記半導体基板上に配設された、複数色の色フィルターパターンを有するカラーフィルターと、該半導体基板上の一部または全部に形成された平坦化層を具備する固体撮像素子であって、
前記カラーフィルターは、前記半導体基板上に、平坦化層を介して形成されているドライエッチングによって形成された色フィルターパターンと、直接形成されている、前記ドライエッチングによって色フィルターパターンを形成した後にフォトリソグラフィーによって形成された他の色フィルターパターンの両方を有するカラーフィルタであり、
前記ドライエッチングにより形成された色フィルターパターンと前記フォトリソグラフィーにより形成された他の色フィルターパターンとが接していることを特徴とする固体撮像素子。 - 半導体基板に2次元的に配置された光電変換素子と、該光電変換素子のそれぞれに対応して前記半導体基板上に配設された、複数色の色フィルターパターンを有するカラーフィルターと、該半導体基板上の一部または全部に形成された平坦化層を具備する固体撮像素子であって、
前記複数色の色フィルターパターンのうち一部の色フィルターパターンは熱硬化性を有する樹脂を含み、前記熱硬化性を有する樹脂を含む色フィルターパターンを形成した後に形成された残りの色フィルターパターンは光硬化性を有する樹脂を含み、
前記熱硬化性を有する樹脂を含む色フィルターパターンと前記光硬化性を有する樹脂を含む色フィルターパターンとが接していることを特徴とする固体撮像素子。 - 前記複数色のフィルターパターンはグリーンフィルターパターンを含み、該グリーンフィルターパターンに含まれる樹脂は他の色フィルターパターンに含まれる樹脂よりも屈折率が高いことを特徴とする請求項6乃至8のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記カラーフィルター上に直接又は間接的に、前記光電変換素子のそれぞれに対応して配設されたマイクロレンズを更に具備し、当該マイクロレンズの周辺部は、前記カラーフィルターの一部により構成されていることを特徴とする請求項6乃至9のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記ドライエッチングによって形成された色フィルターパターンの膜厚は、前記フォトリソグラフィーによって形成された色フィルターパターンの膜厚より薄く、前記ドライエッチングによって形成された色フィルターパターンの下の平坦化層の膜厚は、前記フォトリソグラフィーによって形成された色フィルターパターンの下の平坦化層の膜厚より厚いことを特徴とする請求項6及び8乃至10のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記ドライエッチングによって形成された色フィルターパターンは、前記複数色のフィルターパターンのうち最も面積の広い色フィルターパターンであることを特徴とする請求項6乃至11のいずれかに記載の固体撮像素子。
- 前記複数色のフィルターパターンはグリーンフィルターパターン、レッドフィルターパターン、ブルーフィルターパターンを含み、前記ドライエッチングによって形成された色フィルターパターンは、該グリーンフィルター及びレッドフィルターのいずれかあるいは両方であることを特徴とする請求項6乃至12のいずれかに記載の固体撮像素子。
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